2025年企業(yè)半導(dǎo)體廠安全生產(chǎn)管理考試題庫(kù)(附答案)一、單項(xiàng)選擇題（共20題，每題2分，共40分）1.半導(dǎo)體廠潔凈室（Class1000）與非潔凈區(qū)的壓差應(yīng)保持在（）范圍內(nèi)，以防止外部污染物侵入。A.5-10PaB.10-15PaC.15-20PaD.20-25Pa答案：B2.半導(dǎo)體生產(chǎn)中常用的特種氣體（如SiH?、NF?）儲(chǔ)存時(shí)，應(yīng)與以下哪類(lèi)物質(zhì)分開(kāi)存放？（）A.惰性氣體（如N?）B.氧化性氣體（如O?）C.壓縮空氣D.去離子水答案：B（注：硅烷（SiH?）為易燃?xì)怏w，需與氧化性氣體隔離儲(chǔ)存）3.半導(dǎo)體廠超純水系統(tǒng)（UPW）管道檢修時(shí)，作業(yè)人員必須佩戴的防護(hù)裝備是（）。A.防酸堿手套B.防塵口罩C.絕緣靴D.護(hù)目鏡答案：A（超純水管道可能殘留酸性或堿性清洗劑）4.光刻機(jī)（Scanner）運(yùn)行時(shí)，操作人員嚴(yán)禁觸碰的部位是（）。A.設(shè)備散熱風(fēng)扇B.激光發(fā)射窗口C.晶圓傳輸機(jī)械臂D.操作面板按鈕答案：B（激光屬于高能輻射，直接接觸可能導(dǎo)致眼部損傷）5.半導(dǎo)體廠化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)的溫濕度監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)中，易燃液體（如丙酮）的儲(chǔ)存溫度應(yīng)不超過(guò)（）。A.25℃B.30℃C.35℃D.40℃答案：B6.靜電敏感（ESD）元件在拆封時(shí)，操作臺(tái)面的接地電阻應(yīng)小于等于（）。A.100ΩB.1MΩC.10MΩD.100MΩ答案：B（ESD防護(hù)要求臺(tái)面接地電阻≤1MΩ）7.半導(dǎo)體廠廢氣處理系統(tǒng)（Scrubber）故障報(bào)警時(shí)，第一響應(yīng)措施是（）。A.立即關(guān)閉生產(chǎn)設(shè)備B.檢查廢氣管道泄漏點(diǎn)C.啟動(dòng)備用ScrubberD.疏散附近作業(yè)人員答案：A（防止未處理廢氣直接排放）8.潔凈室人員準(zhǔn)入前需經(jīng)過(guò)“三脫三穿”流程，其中“三脫”不包括（）。A.脫外衣B.脫鞋子C.脫首飾D.脫工牌答案：D（工牌需保留以確認(rèn)身份）9.半導(dǎo)體廠特氣柜（GasCabinet）的緊急切斷閥（ESDValve）應(yīng)在（）觸發(fā)時(shí)自動(dòng)關(guān)閉。A.溫濕度超標(biāo)B.氣體泄漏報(bào)警C.設(shè)備故障停機(jī)D.人員誤觸按鈕答案：B（泄漏報(bào)警是觸發(fā)切斷的核心條件）10.晶圓減薄工序中，使用的金剛線切割機(jī)必須配置的安全裝置是（）。A.防飛濺護(hù)罩B.急停按鈕C.過(guò)載保護(hù)D.以上均是答案：D（三者均為基本安全要求）11.半導(dǎo)體廠危險(xiǎn)化學(xué)品（如HF）的MSDS（材料安全數(shù)據(jù)表）應(yīng)至少包含（）項(xiàng)關(guān)鍵信息。A.8B.10C.12D.16答案：D（根據(jù)GB/T16483-2008，MSDS需包含16項(xiàng)內(nèi)容）12.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）的高效過(guò)濾器（HEPA）更換周期通常為（）。A.3-6個(gè)月B.6-12個(gè)月C.12-18個(gè)月D.18-24個(gè)月答案：B（根據(jù)潔凈度要求定期更換）13.半導(dǎo)體廠叉車(chē)作業(yè)時(shí)，貨物堆放高度不得超過(guò)駕駛員（），以保證視線清晰。A.肩部B.頭頂C.眼部D.胸部答案：C（貨物高度需低于眼部，避免盲區(qū)）14.光刻膠（Photoresist）儲(chǔ)存時(shí)，需避光且溫度控制在（），防止聚合反應(yīng)。A.0-5℃B.5-10℃C.10-15℃D.15-20℃答案：D（多數(shù)光刻膠儲(chǔ)存溫度為15-20℃）15.半導(dǎo)體廠變配電室的絕緣工具（如驗(yàn)電器、絕緣手套）應(yīng)每（）進(jìn)行一次耐壓試驗(yàn)。A.3個(gè)月B.6個(gè)月C.12個(gè)月D.24個(gè)月答案：B（高壓絕緣工具需每6個(gè)月檢測(cè)）16.潔凈室人員行走時(shí)，應(yīng)遵循“慢步輕聲”原則，步行速度不得超過(guò)（）。A.1m/sB.1.5m/sC.2m/sD.2.5m/s答案：A（過(guò)快會(huì)產(chǎn)生氣流擾動(dòng)，影響潔凈度）17.半導(dǎo)體廠液氧（LOX）儲(chǔ)罐與可燃?xì)怏w儲(chǔ)罐的安全距離應(yīng)不小于（）。A.5mB.10mC.15mD.20m答案：C（根據(jù)GB50030-2013，液氧與可燃?xì)怏w間距≥15m）18.等離子體蝕刻機(jī)（PlasmaEtcher）運(yùn)行時(shí)，腔室內(nèi)的射頻（RF）電場(chǎng)可能導(dǎo)致（）風(fēng)險(xiǎn)。A.電磁輻射B.高溫燙傷C.化學(xué)腐蝕D.機(jī)械傷害答案：A（射頻電場(chǎng)屬于非電離輻射，需控制暴露量）19.半導(dǎo)體廠應(yīng)急照明系統(tǒng)的持續(xù)供電時(shí)間應(yīng)不低于（），確保人員疏散。A.15分鐘B.30分鐘C.45分鐘D.60分鐘答案：B（GB51309-2018要求應(yīng)急照明≥30分鐘）20.新入職員工的三級(jí)安全教育中，車(chē)間級(jí)教育時(shí)長(zhǎng)不得少于（）學(xué)時(shí)。A.8B.16C.24D.32答案：B（根據(jù)《生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)單位安全培訓(xùn)規(guī)定》，車(chē)間級(jí)≥16學(xué)時(shí)）二、多項(xiàng)選擇題（共15題，每題3分，共45分，錯(cuò)選、漏選均不得分）1.半導(dǎo)體廠潔凈室的“三不”原則包括（）。A.不攜帶非潔凈物品B.不做劇烈運(yùn)動(dòng)C.不隨意開(kāi)啟門(mén)窗D.不使用手機(jī)答案：ABC（手機(jī)需經(jīng)特殊封裝后可使用）2.特種氣體（如NH?、Cl?）泄漏時(shí)，應(yīng)急處置措施包括（）。A.佩戴正壓式空氣呼吸器B.向上風(fēng)方向疏散C.使用中和劑（如酸泄漏用堿液）D.直接關(guān)閉泄漏閥門(mén)答案：ABC（直接關(guān)閉閥門(mén)可能導(dǎo)致二次傷害，需評(píng)估后操作）3.半導(dǎo)體廠設(shè)備檢修的“上鎖掛牌（LOTO）”流程需包含（）。A.切斷能源（電、氣、液）B.驗(yàn)證設(shè)備已停機(jī)C.懸掛警示標(biāo)識(shí)D.專(zhuān)人保管鑰匙答案：ABCD（均為L(zhǎng)OTO核心步驟）4.潔凈室人員著裝要求包括（）。A.全身覆蓋（無(wú)皮膚外露）B.穿戴防靜電鞋套C.發(fā)網(wǎng)完全包裹頭發(fā)D.佩戴金屬飾品答案：ABC（金屬飾品可能產(chǎn)生顆粒污染或ESD風(fēng)險(xiǎn)）5.半導(dǎo)體廠化學(xué)品運(yùn)輸?shù)陌踩笥校ǎ?。A.分類(lèi)裝載（酸、堿分開(kāi)）B.固定容器防止傾倒C.使用專(zhuān)用推車(chē)（非叉車(chē)）D.運(yùn)輸時(shí)保持勻速答案：ABD（腐蝕性化學(xué)品可用叉車(chē)運(yùn)輸，但需固定）6.光刻機(jī)維護(hù)時(shí)的安全注意事項(xiàng)包括（）。A.關(guān)閉激光源B.佩戴防激光護(hù)目鏡C.檢查真空系統(tǒng)密封性D.直接觸碰光學(xué)鏡片答案：ABC（光學(xué)鏡片需用專(zhuān)用工具清潔，禁止直接觸碰）7.半導(dǎo)體廠火災(zāi)的特點(diǎn)包括（）。A.特種氣體燃燒速度快B.化學(xué)品燃燒產(chǎn)生有毒煙霧C.電氣設(shè)備火災(zāi)比例高D.潔凈室密閉導(dǎo)致散熱困難答案：ABCD（均為半導(dǎo)體廠火災(zāi)典型特征）8.超純水系統(tǒng)（UPW）的安全風(fēng)險(xiǎn)有（）。A.高壓管道爆裂B.殺菌劑（如O?）泄漏C.電阻率異常導(dǎo)致設(shè)備短路D.水溫過(guò)高燙傷答案：ABD（UPW電阻率高，不易導(dǎo)致短路）9.半導(dǎo)體廠職業(yè)健康危害因素包括（）。A.噪聲（如真空泵運(yùn)行）B.有機(jī)溶劑（如IPA）揮發(fā)C.離子注入機(jī)的電離輻射D.潔凈室低氧環(huán)境答案：ABC（潔凈室通風(fēng)良好，低氧風(fēng)險(xiǎn)極低）10.特氣柜（GasCabinet）的安全設(shè)計(jì)要求包括（）。A.雙路供氣（主路+備用）B.泄漏檢測(cè)傳感器（LEL/有毒氣體）C.自動(dòng)滅火裝置（如CO?）D.防爆電氣設(shè)備答案：ABCD（均為特氣柜基本安全配置）11.半導(dǎo)體廠應(yīng)急演練的類(lèi)型包括（）。A.化學(xué)品泄漏演練B.火災(zāi)逃生演練C.地震應(yīng)急演練D.停電停機(jī)演練答案：ABCD（需覆蓋常見(jiàn)突發(fā)場(chǎng)景）12.潔凈室壓差異常的可能原因有（）。A.高效過(guò)濾器堵塞B.人員頻繁進(jìn)出C.HVAC風(fēng)機(jī)故障D.工藝設(shè)備排風(fēng)量變化答案：ABCD（均會(huì)影響壓差平衡）13.半導(dǎo)體廠電氣安全“五防”措施包括（）。A.防止誤分/合斷路器B.防止帶負(fù)荷拉/合隔離開(kāi)關(guān)C.防止帶電掛接地線D.防止人員誤觸帶電體答案：ABC（“五防”指電氣操作防誤，D為通用防護(hù)）14.晶圓搬運(yùn)（FOUP）時(shí)的安全要求有（）。A.雙手托底搬運(yùn)B.避免碰撞設(shè)備C.檢查FOUP密封狀態(tài)D.佩戴防割手套答案：ABC（FOUP材質(zhì)較軟，無(wú)需防割手套）15.半導(dǎo)體廠安全標(biāo)識(shí)的類(lèi)型包括（）。A.禁止標(biāo)識(shí)（如“禁止吸煙”）B.警告標(biāo)識(shí)（如“高壓危險(xiǎn)”）C.指令標(biāo)識(shí)（如“必須戴護(hù)目鏡”）D.提示標(biāo)識(shí)（如“安全出口”）答案：ABCD（符合GB13495.1-2015要求）三、判斷題（共15題，每題1分，共15分，正確打“√”，錯(cuò)誤打“×”）1.潔凈室可以使用普通紙張記錄數(shù)據(jù)，只需表面清潔即可。（）答案：×（普通紙張易產(chǎn)塵，需使用無(wú)塵紙）2.特種氣體鋼瓶剩余壓力低于0.1MPa時(shí)，可直接更換空瓶。（）答案：×（需保留≥0.05MPa余壓，防止空氣倒灌）3.設(shè)備檢修時(shí)，若班長(zhǎng)確認(rèn)已斷電，可無(wú)需執(zhí)行“上鎖掛牌”。（）答案：×（LOTO為強(qiáng)制流程，與人員職級(jí)無(wú)關(guān)）4.光刻膠濺到皮膚上，應(yīng)立即用去離子水沖洗15分鐘以上。（）答案：×（光刻膠多為有機(jī)溶劑，需用專(zhuān)用清洗劑擦拭后再?zèng)_洗）5.潔凈室空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）停機(jī)后，人員可立即進(jìn)入維修。（）答案：×（需等待氣流穩(wěn)定，避免顆粒沉降）6.液氨（NH?）泄漏時(shí)，可用大量水稀釋?zhuān)驗(yàn)榘币兹苡谒?。（）答案：√（氨溶解度高，水稀釋是有效措施?.新員工參加廠級(jí)安全教育后，可直接進(jìn)入車(chē)間實(shí)習(xí)。（）答案：×（需完成車(chē)間級(jí)、班組級(jí)教育并考核合格）8.半導(dǎo)體廠變配電室的門(mén)應(yīng)向外開(kāi)啟，且與相鄰區(qū)域保持正壓。（）答案：√（符合防火和防小動(dòng)物要求）9.靜電手環(huán)（WristStrap）只需佩戴一只即可滿足ESD防護(hù)要求。（）答案：×（需同時(shí)佩戴雙手環(huán)，確保全身接地）10.化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)的滅火器配置應(yīng)根據(jù)存儲(chǔ)物質(zhì)的火災(zāi)類(lèi)別（如A類(lèi)、B類(lèi)）選擇。（）答案：√（不同化學(xué)品需匹配對(duì)應(yīng)類(lèi)型滅火器）11.潔凈室人員可以佩戴隱形眼鏡，只要外部佩戴護(hù)目鏡。（）答案：×（隱形眼鏡可能吸附污染物，禁止佩戴）12.設(shè)備運(yùn)行時(shí)，操作人員可以通過(guò)觀察窗直接查看等離子體蝕刻過(guò)程，無(wú)需額外防護(hù)。（）答案：×（等離子體可能產(chǎn)生紫外線，需佩戴防紫外線護(hù)目鏡）13.叉車(chē)作業(yè)時(shí)，貨物重心應(yīng)盡量降低，且不得超過(guò)貨叉長(zhǎng)度的2/3。（）答案：√（符合叉車(chē)安全操作規(guī)范）14.超純水系統(tǒng)的反滲透膜（RO膜）更換時(shí)，需佩戴防酸堿手套，因?yàn)槟ぴ赡軞埩羟逑磩?。（）答案：√（RO膜清洗常用酸/堿，需防護(hù)）15.半導(dǎo)體廠應(yīng)急物資（如滅火器、急救箱）的檢查記錄需保存至少1年。（）答案：×（需保存至少3年，便于追溯）四、簡(jiǎn)答題（共10題，每題5分，共50分）1.簡(jiǎn)述半導(dǎo)體廠潔凈室“人員動(dòng)線”設(shè)計(jì)的核心原則。答案：①單向流動(dòng)（從低潔凈區(qū)到高潔凈區(qū)）；②避免交叉（生產(chǎn)人員與物料運(yùn)輸路線分離）；③縮短路徑（減少人員滯留產(chǎn)塵）；④明確標(biāo)識(shí)（區(qū)分進(jìn)入、退出通道）。2.列舉半導(dǎo)體廠常用的5類(lèi)危險(xiǎn)化學(xué)品及其主要風(fēng)險(xiǎn)。答案：①氫氟酸（HF）：強(qiáng)腐蝕性，接觸皮膚可致深部灼傷；②三氟化氮（NF?）：氧化性，高溫分解產(chǎn)生有毒氟化物；③異丙醇（IPA）：易燃，揮發(fā)可致中樞神經(jīng)抑制；④四甲基氫氧化銨（TMAH）：強(qiáng)堿性，刺激眼睛和呼吸道；⑤氯氣（Cl?）：劇毒，吸入可致肺水腫。3.說(shuō)明特種氣體鋼瓶“八大安全檢查項(xiàng)”。答案：①鋼瓶外觀無(wú)變形/腐蝕；②瓶閥密封良好無(wú)泄漏；③防震圈、瓶帽齊全；④檢驗(yàn)標(biāo)簽在有效期內(nèi)（一般每3年檢驗(yàn)）；⑤氣體標(biāo)識(shí)與內(nèi)容物一致；⑥壓力表量程匹配且校驗(yàn)合格；⑦連接軟管無(wú)老化/裂紋；⑧接地裝置可靠（防ESD）。4.半導(dǎo)體廠設(shè)備“試機(jī)”前需完成哪些安全確認(rèn)？答案：①能源隔離解除（LOTO掛牌已摘除）；②防護(hù)裝置復(fù)位（如護(hù)罩、急停按鈕）；③潤(rùn)滑/冷卻系統(tǒng)正常；④操作人員培訓(xùn)合格（熟悉操作手冊(cè)）；⑤周邊無(wú)無(wú)關(guān)人員；⑥報(bào)警系統(tǒng)測(cè)試（如溫度、壓力超限報(bào)警）。5.簡(jiǎn)述潔凈室“微環(huán)境控制”的主要措施。答案：①層流送風(fēng)（垂直/水平單向流）；②壓差梯度控制（≥10Pa）；③人員/物料清潔（風(fēng)淋室、傳遞窗）；④設(shè)備產(chǎn)塵控制（局部排風(fēng)罩）；⑤溫濕度穩(wěn)定（溫度22±2℃，濕度45±5%）。6.半導(dǎo)體廠發(fā)生電氣火災(zāi)時(shí)，應(yīng)如何正確滅火？答案：①立即切斷電源（使用絕緣工具操作）；②未斷電時(shí)，使用二氧化碳、干粉滅火器（禁止用水）；③已斷電時(shí)，可使用水基滅火器；④火勢(shì)蔓延時(shí)，啟動(dòng)自動(dòng)噴淋系統(tǒng)；⑤疏散人員至安全區(qū)域，撥打119并說(shuō)明“電氣火災(zāi)”。7.說(shuō)明“半導(dǎo)體廠危險(xiǎn)化學(xué)品臺(tái)賬”需包含的關(guān)鍵信息。答案：①化學(xué)品名稱(chēng)（通用名、CAS號(hào)）；②存儲(chǔ)位置（倉(cāng)庫(kù)/車(chē)間具體坐標(biāo)）；③最大存儲(chǔ)量（不超過(guò)設(shè)計(jì)容量）；④安全技術(shù)說(shuō)明書(shū)（MSDS）編號(hào)；⑤出入庫(kù)記錄（時(shí)間、數(shù)量、領(lǐng)用人）；⑥過(guò)期/廢棄處理記錄；⑦泄漏應(yīng)急措施；⑧管理人員聯(lián)系方式。8.列舉3種半導(dǎo)體廠常見(jiàn)的機(jī)械傷害風(fēng)險(xiǎn)及防護(hù)措施。答案：①傳輸帶夾傷：安裝防護(hù)罩，設(shè)置急停按鈕；②機(jī)械臂碰撞：劃定安全操作區(qū)域，設(shè)置紅外感應(yīng)圍欄；③切割機(jī)飛濺：配置防飛濺護(hù)罩，操作人員佩戴護(hù)目鏡。9.簡(jiǎn)述“半導(dǎo)體廠新設(shè)備驗(yàn)收”的安全評(píng)估要點(diǎn)。答案：①安全設(shè)計(jì)符合性（如防護(hù)等級(jí)IP54以上）；②緊急停止功能有效性（響應(yīng)時(shí)間≤0.5秒）；③危險(xiǎn)部位標(biāo)識(shí)（如高壓、高溫警示）；④配套安全裝置（如聯(lián)鎖、過(guò)載保護(hù)）；⑤操作手冊(cè)完整性（含安全注意事項(xiàng)）；⑥供應(yīng)商安全培訓(xùn)記錄。10.說(shuō)明“半導(dǎo)體廠員工安全行為觀察（SBO）”的實(shí)施步驟。答案：①確定觀察對(duì)象（隨機(jī)選擇作業(yè)人員）；②隱蔽觀察（避免干擾正常操作）；③記錄行為（合規(guī)/違規(guī)具體表現(xiàn)）；④溝通反饋（肯定合規(guī)行為，糾正違規(guī)操作）；⑤分析統(tǒng)計(jì)（識(shí)別高頻風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)）；⑥制定改進(jìn)措施（培訓(xùn)、設(shè)備改造等）。五、案例分析題（共5題，每題10分，共50分）案例1：某半導(dǎo)體廠光刻車(chē)間，一名新員工在更換光刻膠時(shí)，未佩戴防滲透手套，導(dǎo)致少量光刻膠接觸皮膚。員工僅用紙巾擦拭后繼續(xù)作業(yè)，2小時(shí)后出現(xiàn)皮膚紅腫疼痛。問(wèn)題：①分析事故直接原因和間接原因；②提出整改措施。答案：①直接原因：新員工未按要求佩戴防滲透手套；間接原因：崗前培訓(xùn)未強(qiáng)調(diào)光刻膠的腐蝕性，班組長(zhǎng)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)督缺失。②整改措施：修訂光刻膠操作SOP（強(qiáng)制佩戴防化手套）；對(duì)新員工進(jìn)行專(zhuān)項(xiàng)安全培訓(xùn)（含應(yīng)急處置）；加強(qiáng)班組長(zhǎng)巡檢（檢查防護(hù)裝備佩戴）；在操作區(qū)張貼“必須佩戴防化手套”警示標(biāo)識(shí)。案例2：某半導(dǎo)體廠特氣間，檢測(cè)到硅烷（SiH?）濃度異常升高（LEL達(dá)15%），但特氣柜緊急切斷閥未自動(dòng)關(guān)閉，導(dǎo)致硅烷持續(xù)泄漏。問(wèn)題：①分析切斷閥未動(dòng)作的可能原因；②簡(jiǎn)述泄漏后的應(yīng)急處置流程。答案：①可能原因：氣體傳感器故障（未觸發(fā)信號(hào)）；切斷閥控制線路斷路；電磁閥卡阻（機(jī)械故障）；系統(tǒng)程序錯(cuò)誤（邏輯失效）。②應(yīng)急處置：立即啟動(dòng)手動(dòng)切斷閥；佩戴正壓式呼吸器進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)；用便攜式檢測(cè)儀確認(rèn)泄漏點(diǎn)（管道接口/鋼瓶閥）；使用專(zhuān)用堵漏工具（如管箍、密封膠）；開(kāi)啟事故排風(fēng)系統(tǒng)；疏散半徑50米內(nèi)人員；報(bào)告上級(jí)并聯(lián)系氣體供應(yīng)商支援。案例3：某半導(dǎo)體廠潔