晶體硅制備技術(shù)單晶爐常見(jiàn)設(shè)備故障處理流程主講教師：引言與任務(wù)目標(biāo)01機(jī)械結(jié)構(gòu)故障處理02電氣結(jié)構(gòu)故障處理03熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)故障處理04水冷系統(tǒng)故障處理05真空及氬氣系統(tǒng)故障處理06課堂總結(jié)07Part01引言與任務(wù)目標(biāo)一、引言與任務(wù)目標(biāo)（一）課程引言設(shè)備故障的影響單晶爐設(shè)備故障會(huì)嚴(yán)重影響單晶硅生產(chǎn)，如提拉頭故障使籽晶提拉不穩(wěn)，影響晶體生長(zhǎng)。學(xué)習(xí)故障處理流程的重要性掌握故障處理流程，能讓大家在實(shí)際生產(chǎn)中快速解決問(wèn)題，保障單晶硅生產(chǎn)順利進(jìn)行。一、引言與任務(wù)目標(biāo)（二）任務(wù)目標(biāo)

準(zhǔn)確判斷處理流程要能清晰判斷機(jī)械、電氣、熱場(chǎng)等不同類型設(shè)備故障對(duì)應(yīng)的處理流程。

掌握具體操作方法熟練掌握更換損壞部件、調(diào)整參數(shù)等針對(duì)各類故障的具體操作方法。

具備獨(dú)立處理能力通過(guò)學(xué)習(xí)，具備獨(dú)立處理單晶爐常見(jiàn)設(shè)備故障的能力，為工作打下基礎(chǔ)。Part02機(jī)械結(jié)構(gòu)故障處理二、機(jī)械結(jié)構(gòu)故障處理（一）提拉頭故障處理故障現(xiàn)象提拉頭故障會(huì)導(dǎo)致籽晶提拉不穩(wěn)定，如減速機(jī)故障時(shí)，籽晶提拉速度不均勻，影響晶體生長(zhǎng)。安全操作發(fā)現(xiàn)故障后，先停機(jī)并切斷電源，確保操作安全，避免意外發(fā)生。檢查維修打開(kāi)防護(hù)蓋，檢查減速機(jī)潤(rùn)滑油是否不足，若零件磨損，按手冊(cè)型號(hào)更換新零件。測(cè)試恢復(fù)重新安裝防護(hù)蓋，接通電源啟動(dòng)設(shè)備，測(cè)試籽晶提拉是否恢復(fù)正常。二、機(jī)械結(jié)構(gòu)故障處理（二）坩堝下傳動(dòng)裝置故障處理

故障表現(xiàn)坩堝下傳動(dòng)裝置故障會(huì)使坩堝升降和旋轉(zhuǎn)異常，如升降不穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)有問(wèn)題。

清潔潤(rùn)滑若因絲杠、螺母有污物導(dǎo)致升降不穩(wěn)，停機(jī)冷卻后，擦凈污物并涂抹潤(rùn)滑油。

間隙調(diào)整電磁離合器工作不良影響旋轉(zhuǎn)時(shí)，調(diào)整其間隙至0.4-0.6mm合適范圍。

效果測(cè)試完成操作后進(jìn)行測(cè)試，查看坩堝的升降和旋轉(zhuǎn)是否恢復(fù)正常。Part03電氣結(jié)構(gòu)故障處理三、電氣結(jié)構(gòu)故障處理（一）電源及控制柜故障處理停電處理：斷開(kāi)負(fù)載設(shè)備突然停電，需先斷開(kāi)所有設(shè)備負(fù)載，再檢查電源柜開(kāi)關(guān)是否跳閘，若跳閘則合上開(kāi)關(guān)。檢查元件若控制柜控制板故障致參數(shù)無(wú)法設(shè)置，對(duì)照說(shuō)明書(shū)檢查控制板元件是否損壞。更換維修發(fā)現(xiàn)損壞元件，拆下后換上同型號(hào)新元件；找出短路或過(guò)載設(shè)備進(jìn)行維修或更換。參數(shù)重置測(cè)試換好元件后重新設(shè)置參數(shù)，測(cè)試設(shè)備能否正常運(yùn)行，保障單晶爐正常工作。三、電氣結(jié)構(gòu)故障處理（二）電機(jī)故障處理

檢查電源線電機(jī)不轉(zhuǎn)或運(yùn)轉(zhuǎn)異常時(shí)，先檢查電源線是否松動(dòng)，若松動(dòng)則重新插緊。

測(cè)量繞組電阻電源線沒(méi)問(wèn)題，用萬(wàn)用表測(cè)量電機(jī)繞組電阻，判斷是否短路或斷路。

維修更換電機(jī)電機(jī)有問(wèn)題，將其拆下送專業(yè)部門維修或直接更換新電機(jī)。

調(diào)整安裝參數(shù)更換電機(jī)后，重新調(diào)整安裝位置和參數(shù)，確保電機(jī)正常帶動(dòng)相應(yīng)部件運(yùn)轉(zhuǎn)。Part04熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)故障處理四、熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)故障處理（一）石墨加熱器故障處理故障原因分析單晶爐設(shè)備故障會(huì)嚴(yán)重影響單晶硅生產(chǎn)，如提拉頭故障使籽晶提拉不穩(wěn)，影響晶體生長(zhǎng)。處理操作流程先停機(jī)，待爐體完全冷卻后打開(kāi)爐蓋，拆下?lián)p壞的加熱器；安裝新加熱器時(shí)注意位置和連接牢固性；關(guān)閉爐蓋重啟設(shè)備，測(cè)試溫度能否正常上升并穩(wěn)定。四、熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)故障處理（二）隔熱部件故障處理先停機(jī)冷卻，檢查并拆下破損或脫落的隔熱部件，換上新的同類型部件；重新啟動(dòng)設(shè)備，觀察爐體表面溫度恢復(fù)情況及爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。故障問(wèn)題表現(xiàn)爐體表面溫度過(guò)高，這很可能是隔熱部件如隔熱氈、保溫板等出現(xiàn)破損或脫落，導(dǎo)致?tīng)t內(nèi)熱損失增加。處理改善方法Part05水冷系統(tǒng)故障處理五、水冷系統(tǒng)故障處理（一）分水器及水路布置故障處理水流變小處理若發(fā)現(xiàn)冷卻水流變小，先停設(shè)備、關(guān)閉進(jìn)水閥門，找到堵塞位置，拆開(kāi)管道用清水沖洗，去除雜質(zhì)。漏水處理遇到水管漏水，先放掉水，清理漏水處管道，用密封膠或橡膠墊密封，再連接好管道。水流測(cè)試處理完堵塞或漏水問(wèn)題后，重新打開(kāi)進(jìn)水閥門，檢查水流是否恢復(fù)正常，有無(wú)漏水情況。五、水冷系統(tǒng)故障處理（二）冷卻水泵故障處理電機(jī)與葉輪檢查遇到水管漏水，先放掉水，清理漏水處管道，用密封膠或橡膠墊密封，再連接好管道。抽水測(cè)試處理完堵塞或漏水問(wèn)題后，重新打開(kāi)進(jìn)水閥門，檢查水流是否恢復(fù)正常，有無(wú)漏水情況。電源檢查若發(fā)現(xiàn)冷卻水流變小，先停設(shè)備、關(guān)閉進(jìn)水閥門，找到堵塞位置，拆開(kāi)管道用清水沖洗，去除雜質(zhì)。Part06真空及氬氣系統(tǒng)故障處理六、真空及氬氣系統(tǒng)故障處理（一）真空泵及真空除塵裝置故障處理檢查油位與堵塞若發(fā)現(xiàn)冷卻水流變小，先停設(shè)備、關(guān)閉進(jìn)水閥門，找到堵塞位置，拆開(kāi)管道用清水沖洗，去除雜質(zhì)。更換零件與清理濾芯若真空泵內(nèi)部零件損壞，如葉片磨損，需拆開(kāi)更換；若真空除塵裝置故障，清理灰塵，臟污或損壞的濾芯要換新。真空度測(cè)試維修好真空泵后，重新啟動(dòng)，用真空計(jì)測(cè)量真空度，確保達(dá)到設(shè)備要求。六、真空及氬氣系統(tǒng)故障處理（二）氬氣管道布置故障處理關(guān)閉閥門發(fā)現(xiàn)氬氣流量不穩(wěn)定或有泄漏，先關(guān)閉氬氣閥門，為后續(xù)處理做準(zhǔn)備。高壓吹氣清堵若管道堵塞，找到堵塞位置拆開(kāi)，用高壓氣體吹出管道內(nèi)雜質(zhì)。檢漏密封用專業(yè)檢漏儀找到泄漏點(diǎn)，清理周邊管道，用焊接或密封膠等方法密封。流量穩(wěn)定性測(cè)試處理好后打開(kāi)氬氣閥門，檢查氬氣流量是否恢復(fù)正常、有無(wú)泄漏，保證供應(yīng)穩(wěn)定。Part07課堂總結(jié)七、課堂總結(jié)（一）故障處理核心原則安全優(yōu)先處理故障時(shí)，務(wù)必先停機(jī)、切斷電源等，保證自身操作安全，如處理提