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兩探針法檢測主講教師：目錄CONTENTS01.查詢國家檢測標準02.檢測原理及方案03.檢測組織實施04.檢測結(jié)果分析查詢國家檢測標準PART01一、查詢國家檢測標準檢測原理及方案PART02二、檢測原理及方案（一）電阻率測量的基本方法電阻率是半導(dǎo)體單晶重要電學(xué)參數(shù)之一，它反映了補償后的雜質(zhì)濃度，與半導(dǎo)體中的載流子濃度有直接關(guān)系。例如，N型材料的室溫電阻率可以表示如下：式中：ND是施主雜質(zhì)濃度。NA是受主雜質(zhì)濃度。μn是電子遷移率。q是電子電荷量。

二、檢測原理及方案（二）兩探針法基本原理金屬材料測電阻方法。

式中S是樣品的截面積。L是樣品的長度。二、檢測原理及方案（二）兩探針法基本原理由于金屬與半導(dǎo)體相接觸的地方有很大的接觸電阻。u表=uc1+uc2+ub=uc+ub因為uc>>ub所以u表>>ub二、檢測原理及方案（二）兩探針法基本原理只能用體電阻上的壓降Ub才能計算出半導(dǎo)體樣品的電阻率，如果用U表來計算樣品的電阻率，結(jié)果就要偏高很多。所以不能直接測量半導(dǎo)體的電阻率，在測量中必須抵銷或避免接觸電阻。檢測組織實施PART03三、檢測組織實施半導(dǎo)體兩端引線只作為接通電流之用，另用一對探針壓在樣品表面上測量電壓降。兩根探針測所在的兩個垂直于電流方向的橫截面之間的電壓降。這時兩根探針與半導(dǎo)體樣品之間的接觸電阻仍然存在，但由于應(yīng)用了電位差計，避免了接觸電阻引起的問題。三、檢測組織實施兩探針法測量圖及等效電路三、檢測組織實施于是可以得到等效電路，由于外電路的分流作用，樣品中的電流在流過探針A所在的截面后，分別為I1和I2，I1繼續(xù)通過樣品，I2分流到外電路中，并且：I=I1+I2

三、檢測組織實施當電位差計處于平衡的時候，流經(jīng)電位差計被測電路接線端的電流為零。即：I2=0所以：V=ub

樣品表面要經(jīng)過噴砂或研磨處理。通電流的兩個端面接觸應(yīng)為歐姆接觸，為此可鍍鎳、鍍銅或用超聲焊接。樣品電流不宜太大，應(yīng)保證樣品中電場強度不大于1V/cm，測低阻單晶時，更應(yīng)注意用盡量小的電流，避免電流的熱效應(yīng)。檢測結(jié)果分析PART04四、檢測結(jié)果分析撰寫檢測報告書小結(jié)SUMMARY01金屬材料電阻檢測的基本原理；02兩探針改進測試的基本原理。思考

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