電阻應(yīng)變片式傳感器原理與應(yīng)用【演示文檔課件】_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

20XX/XX/XX電阻應(yīng)變片式傳感器原理與應(yīng)用匯報(bào)人:XXXCONTENTS目錄01

傳感器概述與基本概念02

電阻應(yīng)變效應(yīng)原理03

電阻應(yīng)變片結(jié)構(gòu)與類型04

傳感器核心組件設(shè)計(jì)CONTENTS目錄05

測(cè)量電路原理與設(shè)計(jì)06

誤差分析與補(bǔ)償技術(shù)07

典型應(yīng)用領(lǐng)域與案例01傳感器概述與基本概念電阻應(yīng)變片式傳感器定義與分類

核心定義:非電量-電阻-電信號(hào)的轉(zhuǎn)換電阻應(yīng)變片式傳感器是以電阻應(yīng)變片為敏感元件,將力、位移、壓力等被測(cè)非電量轉(zhuǎn)換為電阻值變化,再通過(guò)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的器件。其核心原理基于導(dǎo)體或半導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)。

按敏感材料分類:金屬與半導(dǎo)體金屬應(yīng)變片利用金屬的應(yīng)變效應(yīng),電阻變化主要源于幾何尺寸改變,靈敏系數(shù)K約2~5,如絲式、箔式、薄膜式;半導(dǎo)體應(yīng)變片利用壓阻效應(yīng),電阻變化主要源于電阻率改變,靈敏系數(shù)K可達(dá)100~200,靈敏度更高但溫度穩(wěn)定性較差。

金屬應(yīng)變片結(jié)構(gòu)類型:絲式、箔式與薄膜式絲式應(yīng)變片由直徑約0.025mm電阻絲繞成柵狀;箔式應(yīng)變片采用光刻腐蝕工藝制成,具有散熱好、橫向效應(yīng)小、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn);薄膜應(yīng)變片通過(guò)真空蒸鍍技術(shù)制備,靈敏度高、性能穩(wěn)定。

按應(yīng)用功能分類:力、壓力、位移等傳感器根據(jù)被測(cè)物理量不同,可分為測(cè)力傳感器(如電子秤)、壓力傳感器(如管道壓力監(jiān)測(cè))、位移傳感器(如自動(dòng)化生產(chǎn)線定位)、加速度傳感器(如汽車碰撞測(cè)試)等多種類型,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天、醫(yī)療等領(lǐng)域。傳感器在現(xiàn)代工業(yè)中的地位與作用工業(yè)自動(dòng)化的神經(jīng)末梢

傳感器是現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化系統(tǒng)的核心感知元件,能將溫度、壓力、力、位移等非電量轉(zhuǎn)化為可測(cè)電信號(hào),為生產(chǎn)過(guò)程控制提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)支撐,是實(shí)現(xiàn)智能制造的基礎(chǔ)。質(zhì)量控制的關(guān)鍵保障

在汽車制造、精密加工等領(lǐng)域,傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)產(chǎn)品尺寸、應(yīng)力、振動(dòng)等參數(shù),確保生產(chǎn)精度,如電子皮帶秤利用應(yīng)變片傳感器實(shí)現(xiàn)物料重量的精準(zhǔn)計(jì)量,提升產(chǎn)品合格率。設(shè)備健康監(jiān)測(cè)的利器

通過(guò)安裝在關(guān)鍵設(shè)備上的傳感器,可監(jiān)測(cè)設(shè)備的振動(dòng)、溫度、應(yīng)變等狀態(tài)參數(shù),提前預(yù)警故障,如航空航天領(lǐng)域?qū)︼w機(jī)結(jié)構(gòu)的應(yīng)變監(jiān)測(cè),保障設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行,降低維護(hù)成本。能源優(yōu)化與節(jié)能減排的推手

在工業(yè)生產(chǎn)中,傳感器用于監(jiān)測(cè)能耗、流量等數(shù)據(jù),為能源管理系統(tǒng)提供依據(jù),通過(guò)優(yōu)化工藝流程實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排,如管道壓力傳感器幫助控制流體輸送能耗,提升能源利用效率。技術(shù)發(fā)展歷程與趨勢(shì)01早期發(fā)展階段(20世紀(jì)30-60年代)1938年金屬絲式應(yīng)變片問(wèn)世,采用直徑約0.025mm電阻絲制作,奠定基礎(chǔ);1950年代箔式應(yīng)變片通過(guò)光刻工藝實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),提升穩(wěn)定性與靈敏度,K0值達(dá)1.7~4.6。02技術(shù)成熟階段(20世紀(jì)70-90年代)半導(dǎo)體應(yīng)變片出現(xiàn),靈敏度系數(shù)提升至100~200;全橋測(cè)量電路普及,誤差控制在0.01%~0.1%;高溫、耐腐蝕特種應(yīng)變片研發(fā),適應(yīng)極端環(huán)境應(yīng)用。03智能化發(fā)展階段(21世紀(jì)以來(lái))集成MEMS技術(shù),實(shí)現(xiàn)微型化與低功耗;數(shù)字補(bǔ)償算法優(yōu)化,溫度漂移降低至±0.05%FS/℃;無(wú)線傳輸模塊集成,支持物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè),響應(yīng)速度達(dá)微秒級(jí)。04未來(lái)趨勢(shì)展望新材料應(yīng)用:石墨烯應(yīng)變片靈敏度突破500,耐溫范圍擴(kuò)展至-270~1500℃;AI融合:自適應(yīng)補(bǔ)償技術(shù)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)誤差修正,測(cè)量精度提升至0.001%FS;多功能集成:與壓力、溫度傳感單元一體化設(shè)計(jì),滿足復(fù)雜場(chǎng)景多參數(shù)監(jiān)測(cè)需求。02電阻應(yīng)變效應(yīng)原理金屬電阻應(yīng)變效應(yīng)的物理本質(zhì)金屬電阻應(yīng)變效應(yīng)的定義金屬電阻應(yīng)變效應(yīng)是指導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外界力作用下產(chǎn)生機(jī)械變形時(shí),其電阻值發(fā)生相應(yīng)變化的現(xiàn)象。電阻變化的幾何尺寸因素當(dāng)金屬絲受外力拉伸時(shí),長(zhǎng)度增加ΔL,截面積減小ΔS(圓形截面時(shí)ΔS/S=-2μΔL/L,μ為泊松系數(shù)),導(dǎo)致電阻值增大;壓縮時(shí)則相反。電阻變化的電阻率因素金屬受力變形時(shí),其內(nèi)部晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,可能引起電阻率ρ的微小改變,對(duì)電阻變化產(chǎn)生附加貢獻(xiàn),通常小于幾何尺寸變化的影響。靈敏系數(shù)的物理意義靈敏系數(shù)K?是單位應(yīng)變引起的電阻相對(duì)變化,表達(dá)式為K?=(ΔR/R)/ε=1+2μ+Δρ/(ρε),綜合反映幾何尺寸和電阻率變化的影響,金屬材料K?通常為1.7~4.6。半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)特性分析

01壓阻效應(yīng)的物理本質(zhì)半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)是指半導(dǎo)體材料在受到外力作用時(shí),其電阻率發(fā)生顯著變化的現(xiàn)象。這一效應(yīng)主要源于載流子在晶格中運(yùn)動(dòng)的散射概率隨應(yīng)力改變而變化,與金屬應(yīng)變片主要依賴幾何尺寸變化的應(yīng)變效應(yīng)有本質(zhì)區(qū)別。

02靈敏度特性與數(shù)值范圍半導(dǎo)體應(yīng)變片的靈敏系數(shù)K通常為100~200,遠(yuǎn)高于金屬應(yīng)變片的1.7~4.6。例如,單晶硅半導(dǎo)體應(yīng)變片在較小應(yīng)力下即可產(chǎn)生顯著電阻變化,適用于高精度微小形變測(cè)量場(chǎng)景。

03溫度特性與非線性問(wèn)題半導(dǎo)體材料的電阻率對(duì)溫度變化敏感,導(dǎo)致其溫度系數(shù)較大,易產(chǎn)生測(cè)量誤差。同時(shí),電阻與應(yīng)變間的非線性關(guān)系較明顯,在使用中需采用溫度補(bǔ)償及非線性補(bǔ)償措施以確保測(cè)量精度。

04典型材料與應(yīng)用特點(diǎn)常用半導(dǎo)體應(yīng)變片材料為單晶硅,通過(guò)擴(kuò)散技術(shù)制成敏感柵。其具有體積小、響應(yīng)速度快、易于集成等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于加速度、壓力和振動(dòng)等動(dòng)態(tài)物理量的高精度測(cè)量領(lǐng)域。應(yīng)變靈敏度系數(shù)K的物理意義

定義:?jiǎn)挝粦?yīng)變的電阻相對(duì)變化應(yīng)變靈敏度系數(shù)K表示單位應(yīng)變(ε)所引起的電阻值相對(duì)變化(ΔR/R),是衡量應(yīng)變片轉(zhuǎn)換效率的核心參數(shù),表達(dá)式為K=(ΔR/R)/ε。

金屬應(yīng)變片K值范圍及影響因素金屬應(yīng)變片的靈敏系數(shù)K恒小于其線材的靈敏系數(shù)K0(1.7~4.6),主要受膠層傳遞變形失真及橫向效應(yīng)影響,實(shí)際應(yīng)用中K值通常為2左右。

半導(dǎo)體應(yīng)變片的高靈敏度特性半導(dǎo)體應(yīng)變片基于壓阻效應(yīng),靈敏度系數(shù)顯著高于金屬應(yīng)變片,通常為100~200,但其靈敏度受溫度影響較大,需配合溫度補(bǔ)償措施使用。

物理意義:傳感器性能的核心指標(biāo)K值直接決定傳感器對(duì)微小應(yīng)變的感知能力,K值越大,單位應(yīng)變引起的電阻變化越顯著,傳感器靈敏度越高,適用于高精度測(cè)量場(chǎng)景。電阻變化量數(shù)學(xué)模型推導(dǎo)金屬電阻基本公式金屬電阻絲未受力時(shí)電阻值公式為\(R=\rho\frac{L}{S}\),其中\(zhòng)(\rho\)為電阻率,\(L\)為長(zhǎng)度,\(S\)為橫截面積。電阻相對(duì)變化量微分式對(duì)電阻公式求全微分得\(\frac{\DeltaR}{R}=\frac{\Delta\rho}{\rho}+\frac{\DeltaL}{L}-\frac{\DeltaS}{S}\),反映電阻率、長(zhǎng)度、截面積變化對(duì)電阻的綜合影響。幾何尺寸變化項(xiàng)推導(dǎo)軸向應(yīng)變?yōu)閈(\varepsilon=\frac{\DeltaL}{L}\),徑向應(yīng)變?yōu)閈(\frac{\Deltar}{r}=-\mu\varepsilon\)(\(\mu\)為泊松比),橫截面積變化\(\frac{\DeltaS}{S}=-2\mu\varepsilon\),代入得幾何項(xiàng)為\((1+2\mu)\varepsilon\)。靈敏系數(shù)與最終表達(dá)式金屬應(yīng)變片靈敏系數(shù)\(K_0=1+2\mu+\frac{\Delta\rho/\rho}{\varepsilon}\),通常金屬材料\(K_0=1.7\sim4.6\),簡(jiǎn)化公式為\(\frac{\DeltaR}{R}=K_0\varepsilon\),實(shí)現(xiàn)應(yīng)變到電阻變化的線性轉(zhuǎn)換。03電阻應(yīng)變片結(jié)構(gòu)與類型應(yīng)變片基本組成要素

敏感柵:核心轉(zhuǎn)換元件敏感柵是實(shí)現(xiàn)應(yīng)變-電阻轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵元件,由高電阻率合金材料(如銅鎳合金、鎳鉻合金)制成,其幾何形狀和材料特性直接決定應(yīng)變片的靈敏度系數(shù)K。

基底:支撐與絕緣載體基底用于固定敏感柵并實(shí)現(xiàn)與彈性元件的電絕緣,需薄且柔韌以確保應(yīng)變有效傳遞,常用材料有紙、膠膜和玻璃纖維布。

引線:信號(hào)傳輸通道引線連接敏感柵與測(cè)量電路,要求低電阻率和小電阻溫度系數(shù),通常為直徑0.15~0.3mm的鍍錫軟銅線或帶狀金屬導(dǎo)線。

覆蓋層:機(jī)械與環(huán)境防護(hù)覆蓋層位于敏感柵上方,用于保護(hù)其免受機(jī)械損傷和高溫氧化,通常由絕緣材料(如環(huán)氧樹(shù)脂)制成,確保應(yīng)變片長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

黏結(jié)劑:應(yīng)變傳遞媒介黏結(jié)劑用于將應(yīng)變片基底粘貼在試件表面,并固結(jié)敏感柵與覆蓋層,需具備高粘結(jié)強(qiáng)度和良好的應(yīng)變傳遞性能,分為有機(jī)(常溫)和無(wú)機(jī)(高溫)兩大類。金屬應(yīng)變片:絲式與箔式對(duì)比絲式應(yīng)變片:結(jié)構(gòu)與特性由直徑約0.025mm高電阻率電阻絲繞成柵狀,粘貼于絕緣基片上,覆蓋保護(hù)層并焊有引出線。其特點(diǎn)是歷史悠久,有紙基、膠基之分,但存在蠕動(dòng)性較大的問(wèn)題。箔式應(yīng)變片:工藝與優(yōu)勢(shì)采用光刻、腐蝕等工藝制成箔柵,厚度一般為0.003~0.01mm。具有散熱好、允許通過(guò)較大電流、橫向效應(yīng)小、疲勞壽命長(zhǎng)、柔性好,可做成基長(zhǎng)很短或任意形狀,適于大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。核心性能參數(shù)比較金屬絲式應(yīng)變片靈敏度系數(shù)K0約1.7~4.6;箔式應(yīng)變片靈敏度與絲式相近,但因工藝改善,橫向效應(yīng)更小,測(cè)量精度和穩(wěn)定性更優(yōu),是目前應(yīng)用的主流類型。薄膜應(yīng)變片制造工藝與特性核心制造工藝采用真空蒸鍍、濺射等薄膜技術(shù),在絕緣基片上形成金屬或合金薄膜敏感柵,結(jié)合光刻、腐蝕工藝實(shí)現(xiàn)高精度圖形化,膜厚通常為0.1μm至幾微米。結(jié)構(gòu)特性優(yōu)勢(shì)具有極小的橫向效應(yīng),因可通過(guò)工藝優(yōu)化設(shè)計(jì)敏感柵形狀,減少橫柵對(duì)縱向應(yīng)變的抵消;與基底結(jié)合緊密,應(yīng)變傳遞效率高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性優(yōu)異。性能參數(shù)特點(diǎn)靈敏度系數(shù)較高,一般優(yōu)于傳統(tǒng)絲式應(yīng)變片;電阻溫度系數(shù)小,穩(wěn)定性好,適用于高精度測(cè)量;允許通過(guò)較大電流,散熱性能良好,可提高輸出信號(hào)強(qiáng)度。典型應(yīng)用場(chǎng)景因其微型化、高靈敏度特性,廣泛應(yīng)用于航空航天高精度應(yīng)力監(jiān)測(cè)、微型傳感器陣列、醫(yī)療設(shè)備微小力測(cè)量等對(duì)尺寸和精度要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域。半導(dǎo)體應(yīng)變片材料與結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

核心材料與敏感效應(yīng)以單晶硅等半導(dǎo)體材料為核心,利用壓阻效應(yīng)實(shí)現(xiàn)電阻變化。其電阻變化率主要由材料電阻率變化決定,靈敏度系數(shù)可達(dá)100-200,遠(yuǎn)高于金屬應(yīng)變片的1.7-4.6。

典型結(jié)構(gòu)類型主要包括體型、薄膜型和擴(kuò)散型。體型半導(dǎo)體應(yīng)變片直接由半導(dǎo)體材料制成;薄膜型通過(guò)真空蒸鍍技術(shù)制備;擴(kuò)散型則采用集成電路工藝在硅片上擴(kuò)散形成敏感柵。

關(guān)鍵特性與局限具有高靈敏度、響應(yīng)迅速、易于集成等優(yōu)點(diǎn),但溫度系數(shù)較大,電阻與應(yīng)變間非線性較明顯,使用時(shí)需采取溫度補(bǔ)償及非線性補(bǔ)償措施以保證測(cè)量精度。特殊環(huán)境應(yīng)變片選型指南

高溫環(huán)境應(yīng)變片選型選用耐高溫合金材料敏感柵(如鎳鉻-鐵合金)及無(wú)機(jī)粘結(jié)劑,工作溫度可達(dá)-270℃~1000℃以上,適用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、核反應(yīng)堆等高溫場(chǎng)景。

腐蝕環(huán)境應(yīng)變片選型采用不銹鋼基底、聚酰亞胺覆蓋層及耐腐蝕引線,或選擇陶瓷電阻應(yīng)變片,具備耐酸堿、耐鹽霧特性,適用于海洋工程、化工管道監(jiān)測(cè)。

動(dòng)態(tài)高頻環(huán)境應(yīng)變片選型選擇箔式或薄膜應(yīng)變片,敏感柵柵長(zhǎng)較短(1~5mm),響應(yīng)頻率可達(dá)10kHz以上,搭配低慣性粘結(jié)劑,滿足振動(dòng)、沖擊等動(dòng)態(tài)測(cè)量需求。

強(qiáng)電磁干擾環(huán)境應(yīng)變片選型采用雙絞屏蔽電纜引線,敏感柵材料選用高絕緣電阻合金,或集成電磁屏蔽層,降低電磁耦合噪聲,適用于電力設(shè)備、電機(jī)監(jiān)測(cè)場(chǎng)景。04傳感器核心組件設(shè)計(jì)彈性敏感元件材料選擇原則

高彈性極限與強(qiáng)度材料需具備高彈性極限,確保在受力范圍內(nèi)僅產(chǎn)生彈性形變,如35CrMnSiA合金、鈹青銅等,其彈性極限可達(dá)數(shù)百M(fèi)Pa,滿足傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定工作需求。

優(yōu)良的彈性滯后特性應(yīng)選擇彈性滯后小的材料,以減少卸載后殘余變形導(dǎo)致的測(cè)量誤差。金屬材料如彈簧鋼的彈性滯后通常小于0.1%,可通過(guò)預(yù)處理工藝進(jìn)一步降低滯后效應(yīng)。

溫度穩(wěn)定性與線膨脹系數(shù)匹配材料需具有低的線膨脹系數(shù)和穩(wěn)定的彈性模量溫度系數(shù),如不銹鋼的線膨脹系數(shù)約為1.7×10??/℃,可減小溫度變化對(duì)測(cè)量精度的影響,與應(yīng)變片材料膨脹特性匹配。

加工性能與經(jīng)濟(jì)性材料應(yīng)易于加工成型(如切削、焊接),且成本合理。工程中常用鋁合金(加工性好)、鈦合金(高強(qiáng)度但成本較高),需根據(jù)傳感器精度要求與應(yīng)用場(chǎng)景綜合選擇。補(bǔ)償電阻工作原理與參數(shù)設(shè)計(jì)

補(bǔ)償電阻的核心功能補(bǔ)償電阻用于抵消溫度、濕度等環(huán)境因素導(dǎo)致的電阻應(yīng)變片電阻值變化,提升傳感器測(cè)量精確度,是電阻應(yīng)變片傳感器的關(guān)鍵組成部分。

溫度誤差產(chǎn)生的主要因素一是電阻溫度系數(shù)的影響,溫度變化使電阻應(yīng)變片自身電阻改變;二是試件與電阻絲材料線膨脹系數(shù)差異,導(dǎo)致附加變形和電阻變化。

常見(jiàn)溫度補(bǔ)償方法電橋補(bǔ)償法:簡(jiǎn)單方便,常溫補(bǔ)償效果好,但溫度梯度大時(shí)補(bǔ)償效果受影響;應(yīng)變片自補(bǔ)償法:采用特殊應(yīng)變片,使溫度附加應(yīng)變?yōu)?或相互抵消。

參數(shù)設(shè)計(jì)關(guān)鍵考量需匹配應(yīng)變片電阻值(如120Ω、350Ω等常規(guī)規(guī)格),根據(jù)環(huán)境溫度范圍計(jì)算補(bǔ)償系數(shù),確保與測(cè)量電路(如惠斯通電橋)兼容,實(shí)現(xiàn)最小化溫度誤差。外殼防護(hù)等級(jí)與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

外殼防護(hù)等級(jí)的定義與意義外殼防護(hù)等級(jí)是衡量傳感器抵御固體異物侵入和液體滲透能力的重要指標(biāo),直接影響傳感器在不同環(huán)境下的可靠性和使用壽命,確保內(nèi)部核心元件免受機(jī)械損傷、腐蝕、灰塵等外界因素干擾。

常見(jiàn)防護(hù)等級(jí)及應(yīng)用場(chǎng)景傳感器外殼防護(hù)等級(jí)通常遵循IP編碼標(biāo)準(zhǔn),如IP67表示完全防止粉塵侵入且可在1米深水中短時(shí)浸泡。工業(yè)環(huán)境多選用IP65及以上等級(jí)以應(yīng)對(duì)粉塵和噴淋,醫(yī)療設(shè)備常需IP54級(jí)防護(hù)防止液體濺落,航空航天領(lǐng)域則可能采用更高定制化防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的核心考量因素外殼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需平衡防護(hù)性能與應(yīng)變傳遞效率,材料常選用金屬(如不銹鋼)或高強(qiáng)度塑料,具備足夠機(jī)械強(qiáng)度同時(shí)避免對(duì)彈性元件形變產(chǎn)生干擾。設(shè)計(jì)中還需考慮安裝接口兼容性、線纜引出方式的密封處理以及輕量化需求,確保傳感器在實(shí)現(xiàn)防護(hù)功能的同時(shí)不影響測(cè)量精度。引線連接技術(shù)與可靠性保障引線材料選擇標(biāo)準(zhǔn)引線需采用低電阻率、小電阻溫度系數(shù)材料,如鍍錫軟銅線(直徑0.15~0.3mm)或銀絲,確保信號(hào)傳輸穩(wěn)定,降低溫度漂移影響。連接工藝要求常用焊接(如錫焊、激光焊)或插接方式,需保證焊點(diǎn)牢固、無(wú)虛接;引出線與電纜連接處用膠布固定,避免擺動(dòng)折斷,提升機(jī)械強(qiáng)度??煽啃杂绊懸蛩厥芎附淤|(zhì)量、導(dǎo)線絕緣性、環(huán)境腐蝕影響,如潮濕環(huán)境易導(dǎo)致引線氧化,高溫環(huán)境加速材料老化,需結(jié)合防護(hù)措施提升穩(wěn)定性。防護(hù)與固定措施應(yīng)變片粘貼后涂覆環(huán)氧樹(shù)脂等保護(hù)層,隔絕水、灰塵;引線通過(guò)線槽或套管約束,減少機(jī)械應(yīng)力,確保長(zhǎng)期工作中連接可靠性。05測(cè)量電路原理與設(shè)計(jì)惠斯通電橋基本原理電橋的基本組成惠斯通電橋由四個(gè)電阻臂(R1、R2、R3、R4)、激勵(lì)電源(電壓或電流源)和輸出端組成。其中一個(gè)或多個(gè)橋臂可接入電阻應(yīng)變片,將應(yīng)變引起的微小電阻變化轉(zhuǎn)化為可測(cè)量的電信號(hào)。平衡條件與輸出特性電橋平衡時(shí),滿足相鄰兩臂電阻比值相等(R1/R2=R3/R4)或相對(duì)兩臂電阻乘積相等(R1×R4=R2×R3),此時(shí)輸出電壓為零。當(dāng)應(yīng)變片電阻變化打破平衡時(shí),輸出電壓與電阻變化量成正比。常見(jiàn)工作模式根據(jù)接入應(yīng)變片數(shù)量分為單臂橋(1個(gè)應(yīng)變片)、半橋(2個(gè)應(yīng)變片)和全橋(4個(gè)應(yīng)變片)。全橋模式靈敏度最高,可抵消溫度誤差,輸出電壓Uo=KEε(K為靈敏系數(shù),E為電源電壓,ε為應(yīng)變)。單臂/半橋/全橋電路性能對(duì)比單臂電橋:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,靈敏度較低單臂電橋僅一個(gè)橋臂接入應(yīng)變片,輸出電壓U01=EKε/4,靈敏度最低。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低;缺點(diǎn)是溫度誤差和非線性誤差較大,適用于精度要求不高的靜態(tài)測(cè)量。半橋電路:靈敏度提升,誤差改善半橋電路相鄰兩臂接入應(yīng)變片(一受拉一受壓),輸出電壓U02=EKε/2,靈敏度是單臂的2倍。能消除非線性誤差,溫度補(bǔ)償效果較好,兼顧精度與成本,應(yīng)用廣泛。全橋電路:性能最優(yōu),應(yīng)用廣泛全橋電路四個(gè)橋臂均接入應(yīng)變片(兩受拉兩受壓),輸出電壓U03=KEε,靈敏度是單臂的4倍、半橋的2倍。非線性誤差和溫度誤差最小,測(cè)量精度最高,適用于高精度動(dòng)態(tài)與靜態(tài)測(cè)量。差分放大電路設(shè)計(jì)要點(diǎn)

對(duì)稱性匹配要求電路中晶體管參數(shù)、電阻精度需嚴(yán)格匹配,共模抑制比(CMRR)通常需大于80dB,高精度應(yīng)用中建議選用0.1%精度電阻。

輸入輸出阻抗設(shè)計(jì)輸入阻抗應(yīng)根據(jù)信號(hào)源特性匹配,典型值為10kΩ~1MΩ;輸出阻抗需小于100Ω以驅(qū)動(dòng)后續(xù)電路,可通過(guò)射極跟隨器降低輸出阻抗。

增益與帶寬平衡閉環(huán)增益由反饋電阻比值確定,需兼顧增益穩(wěn)定性與帶寬,例如增益100倍時(shí)帶寬通??刂圃?0kHz~1MHz,避免自激振蕩。

共模電壓范圍需確保輸入共模電壓在運(yùn)放允許范圍內(nèi),例如±15V供電時(shí),共模輸入電壓典型范圍為±10V,超出范圍會(huì)導(dǎo)致輸出失真。

溫度漂移補(bǔ)償選用低溫漂運(yùn)放(如AD620,溫漂≤0.5μV/℃),并采用金屬膜電阻(溫漂≤25ppm/℃),必要時(shí)增加熱敏電阻補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)。信號(hào)濾波與整形技術(shù)

01濾波技術(shù):消除噪聲干擾針對(duì)電阻應(yīng)變片傳感器輸出信號(hào)中的環(huán)境噪聲(如電磁干擾、熱噪聲),常采用低通濾波電路,通過(guò)RC濾波或有源濾波器(如二階巴特沃斯濾波器),截止頻率通常設(shè)置為傳感器工作頻率的10倍以上,可有效抑制高頻噪聲,信噪比提升可達(dá)20dB以上。

02整形技術(shù):優(yōu)化信號(hào)波形利用施密特觸發(fā)器或比較器對(duì)濾波后的信號(hào)進(jìn)行整形,將不規(guī)則的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)方波或脈沖信號(hào),消除信號(hào)中的毛刺和畸變,確保后續(xù)A/D轉(zhuǎn)換電路能準(zhǔn)確采集信號(hào),典型應(yīng)用于動(dòng)態(tài)應(yīng)變測(cè)量中,使信號(hào)邊沿陡峭度提升50%。

03差分放大與濾波結(jié)合采用儀表放大器構(gòu)成差分放大電路,抑制共模干擾(共模抑制比CMRR可達(dá)120dB),結(jié)合后置低通濾波網(wǎng)絡(luò),實(shí)現(xiàn)對(duì)微弱應(yīng)變信號(hào)(μV級(jí))的放大與噪聲過(guò)濾,輸出信號(hào)線性度誤差可控制在±0.1%以內(nèi),滿足高精度測(cè)量需求。06誤差分析與補(bǔ)償技術(shù)溫度誤差產(chǎn)生機(jī)理

電阻溫度系數(shù)的影響當(dāng)環(huán)境溫度變化?t時(shí),電阻絲電阻的變化值為?Rα=R0α0?t,其中α0為電阻絲材料的電阻溫度系數(shù),R0為初始電阻。這種純粹由溫度引起的電阻變化會(huì)直接疊加到應(yīng)變產(chǎn)生的電阻變化中,導(dǎo)致測(cè)量誤差。

線膨脹系數(shù)差異的影響設(shè)電阻絲和試件在0℃時(shí)長(zhǎng)度均為l0,線膨脹系數(shù)分別為βs(電阻絲)和βg(試件)。當(dāng)溫度變化?t時(shí),若兩者不粘貼,自由膨脹長(zhǎng)度分別為l0(1+βs?t)和l0(1+βg?t)。當(dāng)粘貼后,電阻絲會(huì)因與試件膨脹不一致而產(chǎn)生附加變形,進(jìn)而引起附加電阻變化,此為溫度誤差的另一重要來(lái)源。電橋補(bǔ)償法實(shí)現(xiàn)方案

電橋補(bǔ)償法基本原理電橋補(bǔ)償法通過(guò)在電橋相鄰臂接入與工作應(yīng)變片參數(shù)相同的補(bǔ)償片,當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí),工作片與補(bǔ)償片電阻變化相互抵消,使電橋輸出不受溫度干擾,從而消除溫度誤差。

補(bǔ)償片粘貼與橋路配置補(bǔ)償應(yīng)變片需粘貼在與被測(cè)構(gòu)件材料相同、溫度環(huán)境一致但不受力的補(bǔ)償塊上,與工作片分別接入電橋相鄰兩臂。全橋或半橋差動(dòng)電路中,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償和提高靈敏度。

優(yōu)勢(shì)與局限性分析優(yōu)點(diǎn):電路簡(jiǎn)單、成本低,常溫下補(bǔ)償效果可達(dá)0.1%FS以內(nèi);缺點(diǎn):在溫度梯度較大環(huán)境中,補(bǔ)償片與工作片難以保持溫度一致,補(bǔ)償精度下降,適用于溫度場(chǎng)均勻的靜態(tài)測(cè)量場(chǎng)景。應(yīng)變片自補(bǔ)償技術(shù)分類

選擇式自補(bǔ)償應(yīng)變片通過(guò)選擇特定材料和結(jié)構(gòu)參數(shù)的應(yīng)變片,使其在溫度變化時(shí)產(chǎn)生的附加應(yīng)變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒?,從而?shí)現(xiàn)溫度自補(bǔ)償。

雙金屬敏感柵自補(bǔ)償應(yīng)變片(組合式)采用兩種不同溫度系數(shù)的金屬材料制作敏感柵,利用它們的電阻溫度特性相互補(bǔ)償,以消除溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

熱敏電阻補(bǔ)償法在應(yīng)變測(cè)量電路中接入熱敏電阻,利用熱敏電阻的阻值隨溫度變化的特性,來(lái)抵消應(yīng)變片因溫度變化而產(chǎn)生的電阻變化,達(dá)到溫度補(bǔ)償?shù)哪康摹7蔷€性誤差修正方法

半橋差動(dòng)電路修正法粘貼應(yīng)變片時(shí),使兩個(gè)應(yīng)變片一個(gè)受拉,一個(gè)受壓,應(yīng)變符號(hào)相反,將其接入電橋相鄰兩臂。此方法不僅能消除非線性誤差,還使電橋輸出靈敏度比單臂工作時(shí)提高一倍,同時(shí)兼具溫度補(bǔ)償作用。

全橋測(cè)量電路修正法將受力性質(zhì)相同的兩應(yīng)變片接入電橋?qū)?,不同的接入鄰邊。?dāng)應(yīng)變片初始阻值相等且變化值相同(R1=R2=R3=R4,ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4)時(shí),輸出靈敏度進(jìn)一步提升,非線性誤差顯著改善,是高精度測(cè)量中的常用方案。

電路補(bǔ)償與軟件修正結(jié)合法通過(guò)在測(cè)量電路中引入特定補(bǔ)償元件抵消部分非線性因素,同時(shí)利用數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對(duì)輸出信號(hào)進(jìn)行軟件算法修正,如多項(xiàng)式擬合等,可進(jìn)一步降低非線性誤差,滿足更高精度測(cè)量需求。07典型應(yīng)用領(lǐng)域與案例工業(yè)稱重系統(tǒng)應(yīng)用

電子秤核心組件電阻應(yīng)變片式傳感器是電子秤的核心部件,通過(guò)彈性體形變帶動(dòng)應(yīng)變片電阻變化,經(jīng)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為重量電信號(hào),實(shí)現(xiàn)高精度稱重,精度可達(dá)0.01%~0.1%。

自動(dòng)化生產(chǎn)線物料計(jì)量在自動(dòng)化生產(chǎn)線中,用于皮帶秤、料斗秤等設(shè)備,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物料重量,如電子皮帶秤通過(guò)力敏應(yīng)變片測(cè)量物料通過(guò)時(shí)的重量,實(shí)現(xiàn)物流和制造業(yè)的精準(zhǔn)計(jì)量與控制。

大型工業(yè)設(shè)備載荷監(jiān)測(cè)可應(yīng)用于水壩結(jié)構(gòu)載荷監(jiān)測(cè)、發(fā)動(dòng)機(jī)推力測(cè)試等大型工業(yè)場(chǎng)景,通過(guò)感知結(jié)構(gòu)應(yīng)變轉(zhuǎn)化為重量或力的信息,為設(shè)備安全運(yùn)行和工程設(shè)計(jì)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。航空航天結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè)案例

飛機(jī)機(jī)翼應(yīng)力實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)在飛機(jī)機(jī)翼關(guān)鍵部位粘貼箔式應(yīng)變片,實(shí)時(shí)檢測(cè)飛行過(guò)程中機(jī)翼的微小形變,將應(yīng)變信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào),通過(guò)數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)反饋至駕駛艙,確保機(jī)翼結(jié)構(gòu)在各種飛行姿態(tài)下的應(yīng)力處于安全范圍,為飛行安全提供數(shù)據(jù)支持。

火箭發(fā)動(dòng)機(jī)推力測(cè)試?yán)秒娮钁?yīng)變式傳感器測(cè)量火箭發(fā)動(dòng)機(jī)工作時(shí)的推力,傳感器安裝在發(fā)動(dòng)機(jī)與箭體連接部位,當(dāng)發(fā)動(dòng)機(jī)產(chǎn)生推力時(shí),彈性元件發(fā)生形變,帶動(dòng)應(yīng)變片電阻變化,經(jīng)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為推力數(shù)據(jù),為發(fā)動(dòng)機(jī)性能評(píng)估和火箭發(fā)射參數(shù)調(diào)整提供依據(jù)。

衛(wèi)星結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)衛(wèi)星在太空中會(huì)受到各種復(fù)雜力的作用,通過(guò)在衛(wèi)星主體結(jié)構(gòu)及關(guān)鍵部件粘貼應(yīng)變片,長(zhǎng)期監(jiān)測(cè)結(jié)構(gòu)的應(yīng)變情況。傳感器能適應(yīng)太空的極端環(huán)境,如高溫、低溫、強(qiáng)輻射等,及時(shí)發(fā)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可能出現(xiàn)的疲勞損傷或異常形變,保障衛(wèi)星在軌運(yùn)行的可靠性。醫(yī)療設(shè)備力反饋應(yīng)用

假肢關(guān)節(jié)力反饋控制在假肢關(guān)節(jié)中集成電阻應(yīng)變片傳感器,可實(shí)時(shí)感知患者行走或動(dòng)作時(shí)的關(guān)節(jié)受

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