半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目五排氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法。對(duì)于含有酸性／堿性物質(zhì)的廢氣，半導(dǎo)體廠大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。基于液相化合反應(yīng)的原理，利用氫氧化鈉和稀硫酸分別作為吸收液，對(duì)酸堿性廢氣進(jìn)行噴淋處理。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)使用氫氧化鈉作為吸收液進(jìn)行噴淋。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)酸性廢氣（如氯化氫氣體HCl）與氫氧化鈉（NaOH）接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生酸堿中和反應(yīng)，其反應(yīng)方程式為：HCl+NaOH==NaCl+H2O。這一反應(yīng)原理正是噴淋洗滌法處理酸性廢氣的核心所在。酸排處理原理？任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排處理原理？洗滌塔（噴淋塔）是酸排系統(tǒng)的核心設(shè)備。廢氣經(jīng)由填充式洗滌塔和洗滌液進(jìn)行吸收中和。填充式洗滌塔，采用氣液逆向吸收方式處理以霧狀噴淋而下產(chǎn)生小水滴。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)堿排處理原理？使用稀硫酸作為吸收液進(jìn)行噴淋。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)堿性廢氣（如氨氣）與稀硫酸（H2SO4

）接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生酸堿中和反應(yīng)，其反應(yīng)方程式為：NH3+H2SO4==(NH4)2SO4這一反應(yīng)原理正是噴淋洗滌法處理堿性廢氣的核心所在。任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排/堿排設(shè)備洗滌塔塔體風(fēng)機(jī)系統(tǒng)循環(huán)水系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)酸排/堿排設(shè)備加藥系統(tǒng)儀控系統(tǒng)任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)使用經(jīng)驗(yàn)：酸堿液PH值的影響？PH值是越高越好/越低越好嗎？？？任務(wù)5-3酸堿性廢氣處理系統(tǒng)酸/堿廢氣處理系統(tǒng)通過(guò)廠務(wù)工程師多年的工作經(jīng)驗(yàn)，調(diào)整酸性排氣洗滌塔循環(huán)水的pH值，當(dāng)pH低于7時(shí)，系統(tǒng)處理效率不超過(guò)60%；當(dāng)pH值高于8時(shí)，系統(tǒng)處理效率通常高于90%；當(dāng)pH值達(dá)到10時(shí)，系統(tǒng)處理效率甚至超過(guò)99%。雖然酸性排氣洗滌塔，pH值越高處理效率越好，但實(shí)際運(yùn)行中pH過(guò)高會(huì)增加運(yùn)行成本，并會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶等問(wèn)題，危及生產(chǎn)安全，因此pH值通?？刂圃?0-12。堿性排氣洗滌塔，pH值通?？刂圃?～6