半導體廠務項目工程管理項目六凈化室系統的設計與維護任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】為什么需要凈化室由于集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，在制造的過程中必須防止外界雜質污染源，這些污染源可能會造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】潔凈室定義與構成潔凈室，作為一種特殊設計的空間，其核心目標在于通過精密設計與嚴格的環(huán)境參數控制，最大限度地減少室內誘入、產生及滯留的粒子，并同時對溫度、濕度、壓力等關鍵參數進行精準調控，以滿足高品質工作環(huán)境的需求。任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成天花板系統任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成空調系統任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成隔墻板系統任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成地板系統任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成照明系統任務6-1凈化室系統介紹【任務背景】凈化室系統的組成潔凈室標準任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室標準】任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室標準】任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室標準】十級百級千級萬級十萬級百萬級任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室標準】潔凈室分類任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據潔凈的程度一般凈化，粗效過濾器中等凈化，粗、中效過濾器超凈凈化，粗、中、高三級過濾器半導體生產任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據潔凈室用途工業(yè)潔凈室，控制非生物微粒的污染生物潔凈室，控制生物微粒的污染任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據氣流流型單向流（層流式）非單向流（亂流式））混合流任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據氣流流型層流式任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據氣流流型亂流式任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室分類】根據氣流流型混合流任務6-1凈化室系統介紹潔凈室污染及其控制任務6-1凈化室系統介紹【潔凈室污染】污染來源人員活動污染擴散轉動設備未清潔物料80%~90%任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹任務6-1凈化室系統介紹半導體廠務項目工程管理項目六凈化室系統的設計與維護任務6-2凈化風系統任務6-2凈化風系統【全新風機組】全新風機組（Make-upAirUnit，MAU），是一種專為室內環(huán)境提供新鮮空氣的先進空氣調節(jié)設備。其核心功能在于根據具體使用環(huán)境的需求，實現空氣的恒溫恒濕控制或提供清新自然的室外空氣，從而有效提升室內空氣質量與舒適度。任務6-2凈化風系統【風機濾器機組】風機濾器機組（FanFilterUnits，FFU），是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。它巧妙地將風機與高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）相結合，形成了一個獨立且高效的空氣凈化單元，專為現代潔凈室及對環(huán)境要求極高的場所設計。任務6-2凈化風系統【干式冷卻盤管】干式冷卻盤管（DryCoolingCoil，DCC），也被稱為干盤管或干冷盤管，其主要功能是消除室內的熱。與傳統的濕式冷卻系統不同，DCC不依賴水分的蒸發(fā)來降溫，因此不會增加室內的濕度水平，這對于保護貴重設備免受濕度損害、維持穩(wěn)定的室內環(huán)境條件至關重要。任務6-2凈化風系統【空氣處理機組】空氣處理機組（AirHandlingUnits，AHU），也被稱作空調箱或風柜，是維持室內環(huán)境溫濕度和空氣潔凈度的關鍵設備。這些機組的核心功能是通過內置的風機驅動室內空氣與機組內部的盤管進行熱交換，同時對空氣中的雜質進行過濾，從而精確控制出風的溫度和風量。這一過程確保了潔凈室內的環(huán)境參數符合特定的工業(yè)或科研要求。任務6-2凈化風系統【凈化風系統】凈化風系統全新風機組（MAU）空氣處理機組（AHU）風機濾器機組（FFU）干式冷卻盤管（DCC）半導體廠務項目工程管理項目六凈化室系統的設計與維護任務6-3潔凈室環(huán)境檢測任務6-3潔凈室環(huán)境檢測【空態(tài)檢測】空態(tài)潔凈室是指已經建造完成并具備所有相關服務和功能的潔凈室，但尚未安裝或運行操作人員操作的設備。此時，潔凈室處于無人員、無生產活動干擾的初始狀態(tài)?？諝鉂崈舳葯z測（核心檢測）氣流組織檢測密封性檢測表面潔凈度檢測。。。。任務6-3潔凈室環(huán)境檢測【靜態(tài)檢測】靜態(tài)潔凈室是指功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室，但此時設施內沒有操作人員。這種狀態(tài)下，潔凈室已經配備了必要的設備和設施，但尚未開始生產活動。關注空氣的物理參數噪聲電磁輻射。。。。任務6-3潔凈室環(huán)境檢測【動態(tài)檢測】動態(tài)潔凈室是指處于正常使用的潔凈室，服務功能完善，有設備和人員操作，可以進行正常的生產活動。這是潔凈室最真實的運行狀態(tài)。實時監(jiān)測各項參數任務6-3潔凈室環(huán)境檢測【防靜電檢測】在有靜電防護要求的潔凈室（區(qū)）內，為了避免在潔凈室運行過程中由于靜電的產生影響產品生產或工作人員的正常作業(yè)，甚至造成設備、儀器或操作的中斷運行和人員傷害，應在潔凈室（區(qū)）內的防靜電設施建造過程和使用過程中進行防靜電檢測，以確保潔凈廠房的防靜電設施滿足產品生產工藝或使用的需求。通常檢測的內容有潔凈室（區(qū)）的接地系統、地面（地墊）、墻體和頂棚、工作臺、臺墊、工作椅、物料傳遞器具、人體靜電防護用品、靜電消除器等。靜電測量主要是靜電參數測量（如電壓、電量、電流、火花放電能量等）和材料電氣特性參數測量（如電阻率、介電常數、電阻、電容、半衰期等）。任務6-3潔凈室環(huán)境檢測【防靜電檢測】靜電測量的特點①靜電電流小。在靜電帶電情況下，物體的帶電量和儲存的能量通常是很小的，放電電流般在皮安和微安范圍內。為避免測量儀表的分流作用造成測量誤差，儀表的輸入阻抗要高。②靜電電壓高。一般在數百伏至數萬伏范圍。為此，測量儀表要滿足高電壓測量及其分擋的要求。③高絕緣材料容易產生和積累靜電。一般在