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1、AEFT3101 Rev1,Probe Card機(jī)臺(tái)良率分析,Owner: Reviewer: Approver : Date:2009-03-04 Version:01,所有字體:宋體+Arial,AEFT3101 Rev1,Revision History文件修正一覽表,AEFT3101 Rev1,1.廠內(nèi)良率針對(duì)P/C的判斷標(biāo)準(zhǔn): 參照Probe Card驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):Pass Yield Gap0.3%,單一bin rate Gap0.15% W10MT049-019 Rev1Probe card 驗(yàn)收表:,AEFT3101 Rev1,2.實(shí)例講解 例1:P/C固定機(jī)臺(tái)測(cè)試 根據(jù)P/C的測(cè)
2、試的pass rate,前三大defect bin rate做分析和層別,判斷是否異常,從圖中可以清楚看到,#01的P/C,pass rate和bin12 rate均偏高,接下來只需要交叉驗(yàn)證來判斷是機(jī)臺(tái)異常,還是P/C異常,AEFT3101 Rev1,例2:P/C和機(jī)臺(tái)的搭配不固定 這類情況,需要層別機(jī)臺(tái)和P/C來找到異常的真因,圖1By P/C做層別,可以看出#01,#05的O/S rate都偏高,但#01在FT-17和FT-33都有做測(cè)試,而#05只在FT-33做測(cè)試; 進(jìn)一步By機(jī)臺(tái)做分析,發(fā)現(xiàn)#01在FT-17的O/S rate較低,而在FT-33較高,說明#01 卡片O/S rate偏高的問題,是在FT-33上引起的,而#05在FT-33的
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