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1、表面粗糙度的檢測,0505309 張士強 0505345 楊 旭 0505342 梁桂平 0505315 解光勝,課件綜述：,一：引言 二：常用表面粗糙度的測量方法 三： 兩 種 典 型 的 測 量 方 法,一：引言,表面粗糙度是機械加工中描述表面微觀形貌最常用的參數(shù), 它反映的是機械零件表面的微觀幾何形狀誤差, 隨著機械加工行業(yè)的發(fā)展表面粗糙度測量技術也得到長足進步, 特別是 70 年代中后期, 隨著微電子計算機應用的逐步普及和現(xiàn)代光學技術、激光應用技術的發(fā)展, 使粗糙度測量技術在機械加工、光學加工、電子加工等精密加工行業(yè)中的地位顯得愈發(fā)重要。,二：常用表面粗糙度的測量方法,表面粗糙度的測量

2、方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類: 在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等; 非接觸測量方式中常用的有光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、渦流傳感器法等。下面就接觸式和非接觸式兩類測量方法分別作介紹與討論。,比較法: 一般只用于粗糙度評定參數(shù)值較大的情況下, 而且容易產(chǎn)生較大的誤差。 印模法: 對于某些大型零件的內表面不便使用儀器測量, 可用印模法來間接測量, 但這種方法的測量精度不高且過程繁瑣。 觸針法: 觸針法又稱針描法, 它是將一個很尖的觸針 (半徑可以做到微米量級的金剛石針尖) 垂直安置在被測表面上作橫向移動。觸針將隨著被測表面輪廓形狀作垂直起伏運動。將

3、這種微小位移通過電路轉換成電信號并加以放大和運算處理。,光切法: 光切法是利用光切原理來測量表面粗糙度的方法, 它將一束平行光帶以一定角度投射與被測表面上,光帶與表面輪廓相交的曲線影像即反映了被測表面的微觀幾何形狀, 解決了工件表面微小峰谷深度的測量問題, 避免了與被測表面的接觸。,散斑法：當相干性很好的激光照射光學粗糙表面時，會出現(xiàn)激光散斑。表面粗糙度必須是在照明光波波長同一數(shù)量級或略大一些。從任意適當遠處的點出發(fā)的光波構成了許多相干子波，每一子波都是由表面單元引起的，由表面粗糙度散射的子波不僅具有隨機相位，而且具有隨機實振幅。帶有相位差并且是相干的二次球面子波相遇產(chǎn)生了強度分布的顆粒的斑紋，稱為散斑。,三：

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