1、4.3.4 電渦流式傳感器,電渦流式傳感器是基于電渦流效應(yīng)工作的傳感器，優(yōu)點(diǎn)是可實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量。,若一金屬板置于一只線(xiàn)圈的附近，它們之間相互的間距為，當(dāng)線(xiàn)圈輸入一交變電流i 時(shí)，便產(chǎn)生交變磁通量，金屬板在此交變磁場(chǎng)中會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電流i，這種電流在金屬體內(nèi)是閉合的，所以稱(chēng)之為電渦流。,i,4.3.3 電渦流傳感器的種類(lèi),電渦流在金屬導(dǎo)體內(nèi)的滲透深度定義為電渦流強(qiáng)度減小到表面強(qiáng)度的1/e處的厚度:,可見(jiàn)電渦流在金屬導(dǎo)體內(nèi)的滲透深度與傳感器線(xiàn)圈的激勵(lì)信號(hào)頻率有關(guān)。故電渦流式傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類(lèi)。目前高頻反射式電渦流傳感器應(yīng)用較廣泛。,金屬板,高頻激勵(lì)電流產(chǎn)生的高頻磁場(chǎng)作用于金屬板的

2、表面，在金屬板表面將形成電渦流。該渦流產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)又反作用于線(xiàn)圈，引起線(xiàn)圈的Q 值、等效阻抗Z、電感L均發(fā)生變化。其變化與激勵(lì)電流i、角頻率，以及金屬板的電阻率、磁導(dǎo)率等有關(guān)，若只改變距離而保持其它參數(shù)不變，則可將位移的變化轉(zhuǎn)換為線(xiàn)圈自感的變化，通過(guò)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電壓輸出。 高頻反射式渦流傳感器多用于位移測(cè)量，或接近開(kāi)關(guān)。,高頻反射式渦流傳感器原理,反射式渦流傳感器的應(yīng)用 利用位移X作為變換量，可以測(cè)量位移、厚度、震動(dòng)、轉(zhuǎn)速等，也可以做成接近開(kāi)關(guān)、計(jì)數(shù)器等； 利用電阻率作為變換量，可以測(cè)量溫度、判別材質(zhì)； 利用磁導(dǎo)率作為變換量，可以測(cè)量應(yīng)力、硬度等； 利用變換量 、等綜合影響，可以做成探傷裝

3、置和金屬探測(cè)器等。,CZF1型電渦流傳感器 主要由一個(gè)安置在框架上的扁平圓形線(xiàn)圈構(gòu)成。此線(xiàn)圈可以粘貼于框架上，或在框架上開(kāi)一條槽溝，將導(dǎo)線(xiàn)繞在槽內(nèi)。,1 線(xiàn)圈 2 框架 3 襯套 4 支架 5 電纜 6 插頭,(a) 測(cè)量金屬的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)位移量，最大量程可到幾百毫米，分辨力為0.1%。 (b)測(cè)量汽輪機(jī)主軸或機(jī)床主軸的軸向串動(dòng)，金屬材料的熱膨脹系數(shù),鋼水的液位，等。量程范圍可以從0lmm到030mm，一般分辨力為滿(mǎn) 量程的0.1%。,高頻反射式電渦流傳感器應(yīng)用舉例,電渦流傳感器構(gòu)成的液位監(jiān)控系統(tǒng)。當(dāng)液位變化時(shí)，浮子與杠桿帶動(dòng)渦流板 上、下移動(dòng)，渦流板與傳感器之間的距離發(fā)生變化,導(dǎo)致傳感器的輸出

4、發(fā)生變化，系統(tǒng)根據(jù)傳感器的信號(hào)控制電動(dòng)泵的開(kāi)啟而使液位保持一定。,KD2306 電渦流位移傳感器：（0.1um分辨率，50kHz高響應(yīng)），可應(yīng)用于精密測(cè)量金屬材料的長(zhǎng)度、寬度、高度、厚度、圓度等尺寸，位移，變形，振動(dòng)等。,發(fā)射線(xiàn)圈L1和接收線(xiàn)圈L2分置于被測(cè)金屬板的上下方。由于低頻磁場(chǎng)集膚效應(yīng)小，滲透深，當(dāng)?shù)皖l電壓加到線(xiàn)圈L1的兩端后，所產(chǎn)生磁力線(xiàn)的一部分透過(guò)金屬板,使線(xiàn)圈L2產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)u2。 u2的大小與金屬板的厚度及材料的性質(zhì)有關(guān)，若金屬板材料的性質(zhì)一定，則利用u2的變化即可測(cè)金屬板厚度。,2. 低頻透射式電渦流傳感器,測(cè)量金屬板的厚度,線(xiàn)圈L2 的感應(yīng)電壓U2與被測(cè)厚度的增大按負(fù)冪指

5、數(shù)的規(guī)律減?。?：被測(cè)金屬板的厚度； h：電渦流貫穿金屬板深度。,電渦流傳感器測(cè)金屬厚度,測(cè)量厚度時(shí)，激勵(lì)頻率應(yīng)選得較低。頻率太高，貫穿深度小于被測(cè)厚度，不利于進(jìn)行厚度測(cè)量，通常選激勵(lì)頻率為1kHz左右。 測(cè)薄金屬板時(shí)，頻率一般應(yīng)略高些，測(cè)厚金屬板時(shí)，頻率應(yīng)低些。 從而保證在測(cè)量不同材料時(shí)能得到較好的線(xiàn)性和靈敏度。,4.3.4 電渦流傳感器的轉(zhuǎn)換電路,電渦流傳感器轉(zhuǎn)換電路的作用就是將Z、L或Q轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化。阻抗Z 的轉(zhuǎn)換電路一般用電橋。,交流電橋,將傳感器線(xiàn)圈的阻抗變化轉(zhuǎn)化為電壓或電流的變化。圖中L1 、L2是兩個(gè)傳感器線(xiàn)圈，它們與電容C1 、C2的并聯(lián)阻抗Z1 、Z2作為電橋的兩個(gè)橋臂.,電感式接近傳感器,1、生產(chǎn)中測(cè)量產(chǎn)