.一、蝕刻機品質性能驗證的方法及過程1. 蝕刻均勻性測試1.1 板件選?。河玫足~厚度2OZ(面銅儀測量62um)，板厚1.6mm，尺寸：500mm*600mm板件為實驗板件。1.2 測試前，蝕刻藥水調整蝕刻藥水到工藝控制范圍分析項目要求范圍實測Cu2+125-150g/L142 g/LCl-170-200g/L180 g/LPH8.3-8.78.471.3蝕刻生產參數蝕刻速度壓力溫度4 m/min上壓：2.2下壓：2.0501.4 測試方法與取點規(guī)則，見附件：1.5 蝕刻均勻性計算方法與判定標準：、蝕刻均勻度C.O.V.=(1-S/Th) 100% 其中：th（蝕銅量）=原始銅厚-剩余銅厚Th（平均蝕銅量）=（th1+th2+thN）/N （N=121）S（標準差）= (th-th1)2+(th-th2)2+(th-thN)2/ （N-1） 、判定標準：COV92%為合格；2. 蝕刻能力2.1 板件選取：用底銅厚度1OZ(面銅儀測量35um)，板厚1.6mm，尺寸：500mm*600mm板件為實驗板件。2.2 測試方法工程部制作線寬線距為3mil/3mil、4mil/4mil、5mil/5mil、6mil/6mil、7mil/7mil、8mil/8mil的菲林資料 通過圖形轉移來測試新蝕刻機的最小線寬線距蝕刻能力3. 蝕刻因子3.1板件選?。喝〉足~1.0OZ板件為實驗板件；3.2 測試取點，分別打密集線路和孤立線路的表面銅厚和線寬測定切片。 X1h X23.3測量方法線路銅厚為h，讀取切片線寬上底為X1，與此同時線寬下底記錄為X2，蝕刻因子計算公式為：蝕刻因子（A）= h/( X2- X1)3.4蝕刻因子的判定標準：1OZ的板件24.蝕刻機的規(guī)格4.1蝕刻機的流程是蝕刻 氨水洗 兩道水洗4.2蝕刻段為3段，總共3米。二、測試結果1.蝕刻線均勻性測試結果：蝕刻均勻性有效長度600*500mm具體數據上噴92%下噴96.24%整體94.12%2. 蝕刻能力測試結果板厚為1.6mm，底銅厚度為1OZ的板件最小線寬線距的蝕刻能力是5mil/5mil3. 蝕刻因子測試結果上噴速度銅厚（h）上底（X1）下底（X2）偏差蝕刻因子5mil4m/min0.0320.0520.0650.0132.466mil0.0320.0810.0940.0132.467mil0.0320.1100.1220.0122.668mil0.0320.1720.1840.0122.66 平均值2.56下噴速度銅厚（h）上底（X1）下底（X2）偏差蝕刻因子5mil4m/min0.0320.0580.0710.0132.466mil0.0320.0830.0950.0122.667mil0.0320.1130.1240.0112.98mil0.0320.1750.1860.0112.9 平均值2.73三、結論通過以上數據可得出初步結論1. XX蝕刻機的蝕刻均勻性能適應公司后續(xù)難度板件的要求，但是從結果來看上噴與下噴的蝕刻均勻性相差較大,這與蝕刻生產時的壓力有很大關系；2. XX蝕刻機的最小線寬線距的蝕刻能力為5mil/5mil，基本