半導(dǎo)體氣體特性介紹1.BulkGas大宗氣體2.SpecialtyGas特氣,一.大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)-BulkGasSupplySystem,1.什麼是大宗氣體:一般指用量較大的氣體,無(wú)色無(wú)味無(wú)臭,但仍有潛在的危險(xiǎn)(部分具窒息性).*CDA(UCCA)/IA壓縮乾燥空氣/儀器推動(dòng)空氣/呼吸用空氣*HPCDA(HCDA)高壓壓縮乾燥空氣*GN2-一般氮?dú)?PN2-純化氮?dú)?PHE-純化氦氣*PAR-純化氬氣*PO2-純化氧氣*PH2-純化氫氣,2.主要用途介紹:*CDA作為Fab中氣動(dòng)設(shè)備(如Pump)的氣源及吹淨(jìng)(Purge)作為L(zhǎng)ocalScrubber助燃的氣源*IA作為廠務(wù)系統(tǒng)氣動(dòng)設(shè)備的氣源及吹淨(jìng)(Purge)*HPCDA黃光區(qū)Scanner機(jī)臺(tái)專用(移動(dòng)平臺(tái)/使Filter緊靠)*GN2/PN2-作為部分氣動(dòng)設(shè)備氣源及提供惰性的氣體環(huán)境Pn2主要的功能為吹淨(jìng)(Purge)*PO2-提供製程中氧化的作用*PAR作為製程中濺渡的傳導(dǎo)介質(zhì)*PHE-作為製程中冷卻晶片的氣源*PH2-提供燃燒,烘烤的作用及其他反應(yīng),二.特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)-SpecialtyGasSupplySystem,1.什麼是特殊氣體:一般指用量小,極少用量便會(huì)對(duì)人體造成生命威脅的氣體特殊氣體分類大致如下*易燃性氣體FlammableGas*毒性氣體ToxicGas*腐蝕性氣體CorrosiveGas*低壓性/保溫氣體HeatGas*惰性氣體InertGas,3.氣體標(biāo)簽的顏色簡(jiǎn)介:*CDA白色*GN2PN2橘紅色*PO2黑色*PHePAr綠色*PH2紅色*氧化性氣體:黑色如O3*易燃性氣體:紅色如SIH4,PH3,H2,.*毒性氣體:紅色如CO,NO,CLF3,.*腐蝕性氣體:如NH3,SIF4,CL2,.*惰性氣體:綠色如SF6,C4F8,N2O,.,2.特殊氣體特性簡(jiǎn)介:*易燃性氣體:燃點(diǎn)低,一洩漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒如SIH4,PH3,H2,.*毒性氣體:反應(yīng)性極強(qiáng),強(qiáng)烈危害人體功能,如CO,NO,CLF3,.*腐蝕性氣體:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì),有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險(xiǎn)性如NH3,SIF4,CL2,.*低壓性/保溫氣體:屬黏稠性液態(tài)氣體,需包加熱線及保溫棉,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化,才能充分供應(yīng)氣體,如WF6,BCL3,DCS,.*惰性氣體:又稱窒息性氣體,當(dāng)洩漏出的量使空氣中含氧量減少至16%6%以下時(shí),便會(huì)影響人體,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,.,標(biāo)簽的粘貼方式,氣體標(biāo)簽,氣體標(biāo)簽內(nèi)容要與管道內(nèi)氣體一致；氣體標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；氣體標(biāo)簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1）在直管段每2米一個(gè);2）彎頭兩頭應(yīng)貼標(biāo)簽；3）與原有系統(tǒng)的標(biāo)簽位置平齊；4）在機(jī)臺(tái)POU處、閥箱進(jìn)口、VMB出口、VMP出口、閥前和閥后、上IC洞口處要有氣體標(biāo)簽;5)粘貼氣體標(biāo)簽要以易看見為標(biāo)準(zhǔn)；如：在高處水平管道的標(biāo)簽應(yīng)貼在管道下半圓兩側(cè)90度范圍內(nèi)。6)粘貼標(biāo)簽要美觀,保證標(biāo)簽與管道平行,居中,無(wú)殘缺,褶皺,翹曲,機(jī)臺(tái)名標(biāo)簽,機(jī)臺(tái)名標(biāo)簽內(nèi)容要與管道所屬機(jī)臺(tái)一致；機(jī)臺(tái)名標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；機(jī)臺(tái)名簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1）在連接takeoffpiont水平管道正下部、VMB,Takeoffpiont號(hào)碼標(biāo)簽,Takeoffpiont號(hào)碼標(biāo)簽內(nèi)容要與管道所屬Takeoffpiont一致；Takeoffpiont號(hào)碼標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；Takeoffpiont號(hào)碼標(biāo)簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1）在進(jìn)泵的閥組的閥前,在Fab地板下盤面上,在Fab地板下閥箱內(nèi),在Fab地板下無(wú)盤面的管道閥前,要有Takeoffpiont號(hào)碼標(biāo)