標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJF 1306-2011 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范》是中國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范之一，主要針對(duì)X射線熒光鍍層測(cè)厚儀的校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)條件及校準(zhǔn)結(jié)果處理等方面進(jìn)行了詳細(xì)規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)適用于采用X射線熒光原理進(jìn)行測(cè)量的各種類(lèi)型的鍍層厚度測(cè)量?jī)x器。

根據(jù)此規(guī)范，首先明確了校準(zhǔn)過(guò)程中需要使用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)應(yīng)當(dāng)是經(jīng)過(guò)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品，這些樣品需覆蓋被測(cè)材料范圍，并且其證書(shū)應(yīng)包含不確定度信息。此外，對(duì)于不同材質(zhì)和厚度范圍的鍍層，推薦使用相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)樣品來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。

在校準(zhǔn)環(huán)境方面，要求溫度保持在(20±5)℃范圍內(nèi)，相對(duì)濕度不超過(guò)85%，并且避免強(qiáng)磁場(chǎng)干擾以及震動(dòng)影響。同時(shí)指出，在開(kāi)始正式校準(zhǔn)前，儀器應(yīng)先預(yù)熱至穩(wěn)定狀態(tài)。

關(guān)于校準(zhǔn)項(xiàng)目，主要包括但不限于：零點(diǎn)漂移、重復(fù)性誤差、示值誤差等關(guān)鍵性能指標(biāo)。其中，特別強(qiáng)調(diào)了對(duì)于多層鍍層結(jié)構(gòu)的測(cè)試時(shí)，要注意各層之間相互作用可能對(duì)結(jié)果造成的影響。


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中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范 JJF13062011 X 射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范 CalibrationSpecificationfor X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 2011-09-14發(fā)布 2011-12-14實(shí)施 國(guó) 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJF13062011 射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范 X CalibrationSecificationfor JJF13062011 p X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 本規(guī)范經(jīng)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于 年 月 日批準(zhǔn) 并自 2011 9 14 , 年 月 日起施行2011 12 14 。 歸 口 單 位 全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì) : 起 草 單 位 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 : 深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院 江蘇天瑞儀器股份有限公司 本規(guī)范委托全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋 JJF13062011本規(guī)范主要起草人 : 朱小平 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 王強(qiáng)兵 深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院 ( ) 李玉花 江蘇天瑞儀器股份有限公司 ( ) 參加起草人 : 杜 華 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 王蔚晨 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) JJF13062011 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻(xiàn)2 (1) 概述3 (1) 計(jì)量特性4 (1) 厚度測(cè)量重復(fù)性4.1 (1) 示值穩(wěn)定性4.2 (1) 厚度測(cè)量示值誤差4.3 (1) 校準(zhǔn)條件5 (2) 環(huán)境條件5.1 (2) 校準(zhǔn)所用標(biāo)準(zhǔn)器及配套設(shè)備5.2 (2) 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法6 (2) 校準(zhǔn)前準(zhǔn)備6.1 (2) 厚度測(cè)量重復(fù)性6.2 (2) 示值穩(wěn)定性6.3 (2) 厚度測(cè)量示值誤差6.4 (3) 校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)7 (3) 復(fù)校時(shí)間間隔8 (3)附錄 測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定 示例 A ( ) (4)附錄 厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的技術(shù)要求 B (7)附錄 常見(jiàn)典型鍍層材料的厚度范圍 C (9) JJF13062011 X 射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范1 范圍 本規(guī)范適用于 射線熒光鍍層測(cè)厚儀的校準(zhǔn) X 。2 引用文獻(xiàn) 本規(guī)范引用下列文獻(xiàn) : 通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義 JJF10011998 測(cè)量不確定度評(píng)定與表示 JJF10591999 測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定 JJF10942002 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測(cè)量 射線光譜方法 GB/T169212005 X 使用本規(guī)范時(shí) 應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 射線熒光鍍層測(cè)厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器 具有分 X ,析測(cè)量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能 廣泛應(yīng)用于電子 半導(dǎo)體 首飾 材 , 、 、 、料分析等行業(yè) 射線熒光鍍層測(cè)厚儀測(cè)量鍍層厚度的原理 射線管產(chǎn)生的 初 級(jí) 。X :X X射線照射在被分析的樣品上 樣品受激發(fā)而輻射出二次 射線被探測(cè)器接收 此二次 , X ,輻射具有該樣品材料的波長(zhǎng)和能量特征 鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系 經(jīng)多 , ,道分析器及計(jì)算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后 計(jì)算被測(cè)樣品的鍍層厚度 , 。 射線熒光鍍層測(cè)厚儀的工作原理示意圖見(jiàn)圖 X 1。 圖 射線熒光鍍層測(cè)厚儀工作原理示意圖 1 X4 計(jì)量特性 厚度測(cè)量重復(fù)性4.1 鍍層厚度測(cè)量重復(fù)性不超過(guò) 3%。 示值穩(wěn)定性4.2 在 內(nèi)其示值變化不大于儀器最大允許示值誤差 1h 。 厚度測(cè)量示值誤

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