1、SUB：堿性蝕刻測(cè)試報(bào)告一、試驗(yàn)?zāi)康模簽榱蓑?yàn)證堿性蝕刻線的均勻性與蝕刻因子，是否滿足公司生產(chǎn)要求， 制作樣板進(jìn)行測(cè)試。二、試驗(yàn)的要求：1、板材要求：FR4板料，板厚1.5MM ,銅厚分為1/30Z, H/HOZ, 1/10Z三種。三、試驗(yàn)的流程：1、開(kāi)料一鉆孔一沉銅一板電（58微米）一線路一圖電一蝕刻一切片檢測(cè)2、參數(shù)控制：缸名控制要求實(shí)測(cè)溫度備注膨松缸48±2°C47.8°C合格退膜缸48±2°C48. 2 °C合格蝕刻缸50±2°C48. 9 °C合格退錫缸28-32°C30. 2 

2、6;C合格3.新蝕刻液化驗(yàn)測(cè)結(jié)果:分析項(xiàng)LI控制范圍1. 15白班1.15晚班1. 16白班1.16晚班1.17白班1. 17晚班CL-175±15(g/L)188. 86187. 44186. 02188. 86186. 02188. 86CL140±20(g/L)138. 51143.6141. 05139. 15143. 60141.05PH8. 3±38. 368.428. 388. 348. 358. 29分析項(xiàng)目控制范圍1. 18白班1. 18晚班1. 19 口班1. 19晚班1.20白班1. 20晚班CL-175±15(g/L)187. 4

3、4190. 00188. 86188. 86187. 44190CL140±20(g/L)141. 05142.0139. 78138. 51143.6143. 6PH8 3±38. 388. 22& 328.48. 38. 3結(jié)論：從以上化驗(yàn)分析結(jié)果看藥水穩(wěn)定無(wú)異常。4.蝕刻因子測(cè)試結(jié)果：蝕刻因子要求：22冷” p r：前左角：l/3oz底銅蝕刻因子為15. 96前右角：l/3oz底銅蝕刻因子為15. 96后左角：l/3oz底銅蝕刻因子為11. 48后右角：l/3oz底銅蝕刻因子為9. 79板中：l/3oz底銅蝕刻因子為9. 79小結(jié)：l/3oz底銅蝕刻因子9.

4、79-15. 96合格。前左角：H/Hoz底銅蝕刻因子為5. 36前右角：H/Hoz底銅蝕刻因子為6. 2后左角：H/Hoz底銅蝕刻因子為5. 39后右角：H/Hoz底銅蝕刻因子為4. 85板中：H/Hoz底銅蝕刻因子為6. 88小結(jié)：H/Hoz底銅蝕刻因子4. 85-6.88合格。前左角：1/loz底銅蝕刻因子為5. 31前右角：1/loz底銅蝕刻因子為5. 03后左角:1/loz底銅蝕刻因子為503后右角：1/loz底銅蝕刻因子為5. 18板中：1/loz底銅蝕刻因子為5. 29小結(jié)：1/loz底銅蝕刻因子5. 03-5. 31合格。5、蝕刻均勻性測(cè)試：（1）蝕刻上噴：（C0V要求W8%）

5、蝕刻上噴潢向分布圖蝕刻上噴縱向分布圖上噴（um）編號(hào)：12345678910AVEA27.129. 2727. 1626. 9426. 762& 3427.827.8129. 129. 127. 94B29. 4629. 3727. 6826. 9927. 8628. 2428. 452& 9530. 5930. 592& 82C28727. 3226. 8226. 1726. 0227.3629. 2427. 929. 6729.6727. 89D30. 8628. 9626. 6627. 1627. 6528. 8428. 1929. 1231.0131.0128.

6、 95E30. 4528. 8827. 3128. 5528. 6227. 8727. 212& 7230. 0630. 062& 77F30. 4828. 5627. 482& 9727. 6627.4127. 3528 4229. 8729. 122& 53G30. 032& 0227. 3727. 8126. 1427.427. 4727. 8828. 1528. 1527. 84H30. 0328. 272& 1328. 8227. 6128. 4427. 7727. 3728.8228.822& 41AVE29. 642&

7、; 5827. 3327. 6827. 2927. 9927. 942& 2729. 6629. 57MAX31.01AVE28. 39R值4.99MIN26. 02STDEV1. 19cov4. 19%小結(jié)：蝕刻上噴平均蝕銅量28. 39um, R值：4. 99, C0V： 4. 19 %合格;（2）蝕刻下噴：（COV要求W10%）下噴（um）編號(hào):1231567S910AVEA30. 5428. 0928.427. 9229. 5628 4628. 472& 5728. 129. 062& 75B30. 3528. 372& 2827. 7829. 7129

8、. 0728.6929. 6330. 9730. 8129. 37C29. 2327. 7726. 7729. 3528. 662& 8528. 5729. 3529.929. 8928. 83D30. 3427. 8828. 5229. 3627. 6629. 1827. 3128529. 1229. 772& 76E29. 1327.1228. 162& 1127. 932927. 2328. 0129. 0429. 652& 34F25.8126. 5727. 2326. 3827. 2627. 3426. 1725. 9127. 7127. 8226.

9、82G25.4127. 2427. 0527. 0427. 2327.527. 3126. 9428. 2728. 3727. 24H25. 2729. 0829. 2330. 1129.5129.4129. 2126. 8927.2425.928. 19AVE28 2627. 7727. 962& 2628 4428 6027.8727. 9828.8328.91MAX30. 97AVE2& 29R值5.7MIN25. 27STDEV1.28COV4.51%小結(jié)：蝕刻下噴平均蝕銅量28. 29um, R值:5.7, COV： 4.51 %合格；四、測(cè)試結(jié)果：1、跟進(jìn)化驗(yàn)分析結(jié)果，藥水穩(wěn)定無(wú)異常。2、l/3oz底銅蝕刻因子要求：2,實(shí)測(cè)：9. 79-15. 96合格。3、H/Hoz底銅蝕刻因子要求：$2,實(shí)測(cè)：4. 85-6. 88合格。4、1/loz底銅蝕刻因子要求：2,實(shí)測(cè)：5. 03-5.