1、圖4JSM-6390LV掃描電子顯微鏡操作規(guī)范一、開機(jī).打開SEM總電源電閘（穩(wěn)壓器、UPS電源），打開冷卻水總電閘如圖1箭頭所示打開冷卻水電等大約二十分鐘后，觀察并準(zhǔn)認(rèn)冷卻水溫度為20C2C把鑰鍉插入主電源開關(guān)，并轉(zhuǎn)到START,然后松手，這時(shí)鑰匙自行轉(zhuǎn)到ON,電源供給真空pump系統(tǒng)，啟動(dòng)機(jī)器，如圖2所顯示.圖2等大約10秒后，打開個(gè)人計(jì)算機(jī)并運(yùn)行Windows點(diǎn)擊計(jì)算機(jī)桌面上的JEOL-6390LVMainMenu.如圖3所示RecycleBinSEMControlUserInterfaceVersion8.24Cop5mght(C)2005,2007JEOLTECHNICSLTD.Al

2、lRightsReserved.SEMpictureShortcuttoEvacMonHdEOL圖3二、SEM樣品的放入和更換注意！樣品放入和更換時(shí)Stage高度大于251.如圖4所示執(zhí)行以下兩步操作1步：點(diǎn)擊工具欄上的Sample后界面會(huì)彈出SpecimenExchange對(duì)話框2步：點(diǎn)擊對(duì)話框中的Ven進(jìn)行放真空。等界面中的Redy變成Vent時(shí)表示放真空0K2.更換樣品（注意帶手套小心碰傷探頭）圖 2.1確認(rèn)放好真空后如圖5所示慢慢打開樣品室門確認(rèn)放真空后方可執(zhí)行該動(dòng)作。并帶好手套2.2將底座反過來看，底座是一邊是方的，一邊是圓的。在放樣品時(shí)應(yīng)由方的這頭由里輕輕推。如圖6所示圖62.3關(guān)

3、樣品室門及抽真空分別如圖7,圖8微扶樣品室門，并按圖8EVAC進(jìn)行抽真空！三、操縱桿功能介紹（如圖9）Z-axisknob:調(diào)整目鏡至樣品的距離，即調(diào)整WD（注意：Z=W+樣品高度）T-axisknob用于設(shè)定觀察物之傾斜影像，一定的WD對(duì)應(yīng)于一定的旋轉(zhuǎn)角度X-axisknob:在水平面X方向移動(dòng)樣品，選擇觀察區(qū)域.Y-axisknob:在水平面Y方向移動(dòng)樣品，選擇觀察區(qū)域.R-axisknob:在水平面旋轉(zhuǎn)樣品.knob圖 四、人工操作按鈕圖標(biāo)及功能介紹（如圖10）人工操作按鈕的功能與GUIOFSEM窗口中的相對(duì)應(yīng)的條目是相同的Fineshift:對(duì)觀察的區(qū)域的微細(xì)的移動(dòng)（高倍率下使用;50

4、00X）Selectscanningmode:A:VIEWswitch:觀察整個(gè)樣品，放大倍率相應(yīng)于所使用的WD是最小的.B:SCAN1:用于調(diào)整圖像質(zhì)量.C:SCAN2:用于選擇觀察的區(qū)域，進(jìn)行聚焦及明亮對(duì)比設(shè)定.D:SCAN3:用于選擇觀區(qū)域之后對(duì)樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)的確證，是一種實(shí)時(shí)掃描.F:SCAN4:用于檢查圖像的情況，對(duì)圖像進(jìn)行精細(xì)掃描，只掃描一遍.G:FREEZE:用于凍結(jié)圖像，對(duì)圖像進(jìn)行存貯等操作.Foucsingcontrast/brightnessadjustment.A:Focusing:旋轉(zhuǎn)FOCUS或按下AUTOFOCUS作手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)焦動(dòng)作.B:Contrast/brig

5、htness:旋轉(zhuǎn)CONT及BRT或按下AUTOSTIG作手動(dòng)或自動(dòng)作明亮對(duì)比設(shè)定.ChangingmagnificationA:MAGNIFICATION:用于調(diào)整放大或縮小的倍率.B:INSTMAG:當(dāng)改按鈕處于ON狀態(tài)時(shí)，只能使用目錄欄的PresetMag進(jìn)行倍率調(diào)整.Automaticbutton:A:ACB:用于自動(dòng)調(diào)整圖像的亮度/對(duì)比度.B:AUTOSTIG:用于自動(dòng)調(diào)整圖像的象散.C:AUTOFOCUS:用于自動(dòng)聚焦.SMAGITIONSCANNINGMODE匚FOCUSSCAN2jSCAN3|tJ|viewj|SCAW舉例說明：如果當(dāng)我們?cè)谡{(diào)整過程中發(fā)現(xiàn)圖片的亮度和對(duì)比度無法調(diào)

6、整到最佳狀態(tài)（偏暗），但通過手動(dòng)調(diào)整又不太好找到最佳亮度，這時(shí)我們可以點(diǎn)擊操作面板上ACB（此時(shí)ACB會(huì)點(diǎn)亮變綠）。這時(shí)我們就通過了自動(dòng)調(diào)整找到了個(gè)比較好的狀態(tài)，如不滿意過再手動(dòng)微調(diào)。五、圖像觀察（如圖11所示）1.在GUIOFSEM窗口，點(diǎn)擊AccV30kV,彈出對(duì)話框，從列表中選擇所需的數(shù)值并雙擊，則Acc,V變化之后對(duì)話框關(guān)閉.一般選擇30kV.圖112.點(diǎn)擊人工控制按鈕SpotSize然后上下拖動(dòng)鼠標(biāo)右鍵（用于粗調(diào)）或鼠標(biāo)左鍵（用于細(xì)調(diào)）.對(duì)于常規(guī)觀察，一般設(shè)置spotsize大約為50;對(duì)于高分辨率，設(shè)置spotsize的數(shù)值小于503.調(diào)整Focus（聚焦）,contrast（對(duì)比

7、）,brightness（明亮度）,andstigmatism（折光）.3.1點(diǎn)擊TEXTICONS中AFD按鈕，幾秒之后屏幕出現(xiàn)高度聚焦的圖像.3.2點(diǎn)擊TEXTICONS中ACB按鈕，幾秒之后屏幕出現(xiàn)具有選擇性對(duì)比度和亮度的圖像.3.3點(diǎn)擊TEXTICONS中ASD按鈕，幾秒之后屏幕出現(xiàn)具有選擇性的修正后的折光圖像.3.4點(diǎn)擊Manualoperationbuttons中的Focus,Brightness,Contrast任何一個(gè)按鈕，上下拖動(dòng)鼠標(biāo)右鍵（用于粗調(diào)）和左鍵（用于細(xì)調(diào)）同樣也可以調(diào)整所選項(xiàng)目.4Imagemovement（圖像的移動(dòng)）在圖像演示區(qū)域,可以用鼠標(biāo)移動(dòng)圖像,暫存至圖

8、12右側(cè)兩個(gè)暫存區(qū).在圖像演示區(qū)域點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵,彈出功能目錄框,并可執(zhí)行下列功能:將鼠標(biāo)移至?xí)捍鎱^(qū)，按住右鍵，點(diǎn)選Snapshot即可.圖12ClickCenter:將鼠標(biāo)放置于Monitor影像上，點(diǎn)擊右鍵選擇選擇CenterZoomON/OFF可移動(dòng)checkmark,然后在合適的位置雙擊鼠標(biāo)左鍵，則圖像移動(dòng)置屏幕中央.CenterZoom（中心放大）:CheckCenterZoomON/OFF，然后在任何位置雙擊鼠標(biāo)左鍵，則可以使圖像位于屏幕中央并自動(dòng)以15steps的觀察倍數(shù)放大.5Settingthemagnification（設(shè)置放大倍數(shù)）Texticons:點(diǎn)擊Mag-用于縮小倍

9、數(shù),Mag+用于放大倍數(shù).Activedatadisplay:點(diǎn)擊x100,0000.1um附近，出現(xiàn)對(duì)話框.或使用鼠標(biāo)左鍵雙擊Magnification,則當(dāng)前的Magnification欄目轉(zhuǎn)變成選擇的放大欄目，雙擊所要放大倍數(shù).SettingafocusingcurrentthatcorrespondstotheWD（設(shè)置相應(yīng)于WD的聚焦電流）:點(diǎn)擊activedatadisplay中的WD10mm,出現(xiàn)一系列WD數(shù)值對(duì)話框，雙擊所要選擇的WD數(shù)值.6.Selectionofliveimage（實(shí)時(shí)圖像的選擇）:A:View:用于瀏覽整個(gè)樣品.B:SCAN1:用于調(diào)整圖像質(zhì)量.C:SCAN2:用于選擇瀏覽的區(qū)域.D:SCAN3:選擇瀏覽區(qū)域后,用于確證樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu),是實(shí)時(shí)掃描.E:SCAN4:用于核對(duì)照片情況，只掃描一遍，分辨率高.F:Displayingthefrozenimage（演示凍結(jié)的圖像）:點(diǎn)擊Freeze,窗口出現(xiàn)一個(gè)凍結(jié)的畫面并顯示一系列