TRDL-800型軟軸單晶爐維護(hù)手冊

文件編號：受控狀態(tài)：發(fā)放編號：

劉磊龐志剛徐濤楊樂

批準(zhǔn)：閻偉

日期：2022.05.01

一、概述

TRDL-800型單晶爐，是軟軸提拉型單晶爐。在以惰性氣體為根底的環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅材料熔化用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。它可生產(chǎn)大規(guī)模集成電路所需的高質(zhì)量單晶。并承受18”熱系統(tǒng)，以投料為60KG為標(biāo)準(zhǔn)的根底下拉制6-8寸的單晶。其爐體構(gòu)架包括：提拉系統(tǒng)，液壓系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及水系統(tǒng)。在機械構(gòu)造方面承受了先進(jìn)的磁流體密封技術(shù)、型翻板閥結(jié)構(gòu)、拱形封頭式爐蓋構(gòu)造及合理的主、副室提升機構(gòu)。副室及爐蓋都是應(yīng)用浮動式提升機構(gòu)，避開了因熱變形及抽真空變形引起的卡死現(xiàn)象。單晶的提升承受的是承受170Kg的不銹鋼絲編織的軟軸。爐室構(gòu)造為頂開式，主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實現(xiàn)上移，上升到位后對稱旋出，保證主機穩(wěn)定牢靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。主爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動式翻板閥，可在熱場維持工藝溫度的狀況下取出晶體，更換籽晶，連續(xù)拉晶。電把握系統(tǒng)承受微機把握，功能全、精度高、穩(wěn)定性好。堝升、堝轉(zhuǎn)、晶升、晶轉(zhuǎn)均承受性能穩(wěn)定牢靠的進(jìn)口電機系統(tǒng)。并承受了多楔帶傳動，這樣既可傳大扭矩，又運動平穩(wěn)無震動。其設(shè)備主要組成局部和參數(shù)如下：

序號

工程

參數(shù)

1

型號

JRDL-800CCD

2

名稱

單晶硅爐

3

電源電壓

380V

4

電源頻率

50Hz

5

電源相數(shù)

3相

6

加熱方式、加熱元件

電阻加熱、石墨加熱器

7

主變壓器容量

190KVA

8

主加熱器最大功率

140KW

9

主加熱器最高加熱電壓

60V

10

整機功率

≤150KW

11

爐內(nèi)最高溫度

1600℃

12

冷態(tài)爐內(nèi)極限真空度

﹤3Pa

13

冷態(tài)真空泄漏率

﹤1Pa/5min

14

副室翻開時主爐室真空度

﹤3Pa

15

生長晶體的直徑范圍

6″—8″

16

熔料重量

60kg

17

原料

多晶硅原料

18

硅單晶等徑長度

≥500㎜

19

等徑精度

±2.5mm

CCD把握系統(tǒng)±1mm

20

單晶硅生長時間/爐

≈30h

21

主爐時尺寸

Ф800×1150㎜

22

中爐室尺寸

Ф800×800㎜

23

下爐室尺寸

Ф800×350㎜

24

翻板閥通徑

Ф260

25

副室內(nèi)尺寸

Ф260×2220㎜

26

兩電極間距

436㎜

27

機械泵配置

副室配用TR-24直連泵，主室配用2H—70滑閥泵

28

籽晶拉速范圍

0.1—10㎜/min

29

籽晶快速

≥160㎜/min

30

籽晶轉(zhuǎn)速范圍

2—40rmp

31

坩堝升速范圍

0.02—1㎜/min

32

坩堝轉(zhuǎn)速范圍

1—30rmp

33

坩堝在爐內(nèi)有效行程

≥350㎜

34

籽晶在副室內(nèi)有效行程

1400㎜

35

水爐系統(tǒng)回水點最高溫度

40℃，在50℃時報警

36

主機總高

6320㎜

37

要求廠房高度

﹥7600㎜

38

主機重量

≈4000㎏

39

主機占地面積

2800㎜×2022㎜

40

整機占地面積

5000㎜×3000㎜

41

防震溝要求

機械泵與主室之間要有防震溝，并且距離≥3m

42

設(shè)備相互之間距離

≈2m

43

進(jìn)水量的要求〔壓力、流量〕

壓力0.15—0.2Mpa，流量20立方米/h

44

冷卻水進(jìn)水口溫度

﹤25℃

45

冷卻水用量/臺

≥15立方米/h

46

氬氣用量/臺

3000L/h

二、根本級維護(hù)

1、真空系統(tǒng)：

真空系統(tǒng)由主爐室與副爐室真空系統(tǒng)組成。

真空泵：

電路把握原理圖：

H102

H707 H708 H491

H492 H113

H104

H70K9

2H710

H49C38H494

主

H114室

Y101Y451Y452

變壓器36V

M401

M419

H106

H711 H712

H495

H496

泵

H115

Y10Y0453Y454H416

C8

H41M5420

真空泵

工

工作原理：

按鈕按下以后C8接觸器吸合，主室泵在三相電下開頭啟動。啟動前，檢查皮帶松緊程度，啟動前可以松一些，啟動后調(diào)節(jié)油箱上的調(diào)整螺栓，漸漸拉緊，以削減啟動力矩。檢查各部位有無松動現(xiàn)象，接線是否正確，電機轉(zhuǎn)向是否同泵的要求符合。檢查油箱內(nèi)的油位是否出于油鏡的允許位置〔油面

一般在油鏡中間〕。檢查轉(zhuǎn)動是否機敏，并將真空油排至油箱，以防啟動時負(fù)載過大而影響使用壽命。翻開冷卻水閥。冬季如室溫過低，應(yīng)把泵加溫后在啟動泵，因低溫時油粘度大，如突然啟動，會使電機超負(fù)荷和損壞泵的零件，一般使用時室溫不低于5℃。如油鏡油位與停車時油位有顯著差異時。必需用手轉(zhuǎn)動泵皮帶輪。使泵腔內(nèi)的存油排入油箱后才可啟動。在真空狀態(tài)下，同時較多的油存留在泵腔內(nèi)時，本泵不允許啟動。

備注：對泵的維護(hù)工作必需在確保泵的空開K2手動斷開的狀況下進(jìn)展，以免員工對泵的貿(mào)然啟動，損傷設(shè)備修理人員。一級保養(yǎng)：

電磁閥

1、電機維護(hù)：定期檢查電機工作狀況，有無異響，外表

溫度是否超溫+40℃～+80℃。檢查皮帶是否有老化、裂紋等特別狀況。

2、電磁閥維護(hù)：檢查器外表溫度+10℃～+40℃，清理其內(nèi)部淤泥。、檢查電磁閥工作是否正常,能夠正常的吸合,是否漏氣,如工作不正常,檢查保險及整流橋是否被擊穿。

3、油位檢查：真空泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)

根本布滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透亮的假設(shè)顏色昏暗，請換油。

3拆上蓋

5拆分別器并清理

6拆濾芯并清理

4、換泵油：如圖：

1斷k2

2放油

備注：在放完油后，從注油口參加適量廢油，開啟真空泵10秒以內(nèi)，關(guān)閉并斷k2，然后再次放出廢油，以便讓廢油帶出大量油濁物。清理濾芯時，將放入容器中用無水乙醇清理。然后裝回。最終將泵依次裝好，閉合k2.

二級保養(yǎng)：

應(yīng)當(dāng)常留意油位及油的清潔，視油器內(nèi)有足量的油，泵工作150小時后換油一次，以后每2～3個月?lián)Q油一次。如使用條件不好，真空度下降時，可以縮短換油時間。

應(yīng)當(dāng)常保持泵及四周環(huán)境的枯燥清潔。c．經(jīng)常留意泵溫及冷卻水和油的溫度，泵溫以測量油溫為準(zhǔn)，最高不得超過85℃，

冷卻水進(jìn)水溫度不超過30℃，出水溫度不超過40℃，并且水質(zhì)應(yīng)保持清潔。d．依據(jù)泵使用條件，應(yīng)拆卸油箱蓋定期清洗低缸油池內(nèi)過濾器和拆卸高缸油池罩，

清洗高缸油池。

e．管道的維護(hù)：

真空管道是連接主機與真空泵的通道，真空管道能否完好工作直接影響著設(shè)備的正常工作。因此，也應(yīng)重視這方面的維護(hù)。

除塵器中的過濾網(wǎng)每2～3爐清理一次，抽氣管道每20～30爐清理一次。管道的溫升直接影響著泵的壽命、抽氣速度及密封圈的壽命，應(yīng)當(dāng)經(jīng)常檢查管道的冷卻水，保證暢通。

副室泵的維護(hù)使用：電路把握原理圖：

H102H713

K3

H714

H441 H442 H116C3

H104

H715

H716

H443 H444

H117副

Y101Y451 Y452M401

36V

變壓器

Y10Y045Y3454H406

M413

H40M5414

K3 C3 室

泵

H106

H717 H718

H445

H446

H118

K3 C3

工作原理：

按鈕按下以后C3接觸器吸合，主室泵在三相電下開頭啟動。本泵可單獨使用，亦可作為各種分子泵、集中泵、羅茨泵等高真空、超高真空系統(tǒng)的前級泵，與之配套使用。本泵不得用于抽除塵埃及腐蝕性、易爆性氣體；并不得作為壓縮泵或輸送泵使用。本泵具有極限真空度高、噪音低、不

進(jìn)氣口

排氣口

注油塞

放油塞

漏油、不噴油等特點，承受防返油止逆閥系統(tǒng)、壓力油循環(huán)系統(tǒng)，便利的氣鎮(zhèn)閥把握等構(gòu)造。泵的排氣口必需暢通，嚴(yán)禁在封堵排氣口的狀態(tài)下啟動泵。通過油箱的油標(biāo)檢查油量。當(dāng)接線轉(zhuǎn)變后

肯定要先檢查泵的電機轉(zhuǎn)向。換油或長時間停泵后重啟動泵時，應(yīng)蓋住泵的吸氣口啟動泵，以便把泵油中的氣體排出去。

備注：對泵的維護(hù)工作必需在確保泵的空開K3手動斷開的。狀況下進(jìn)展，

一級保養(yǎng)：

a、電機維護(hù)：定期檢查電機工作狀況，有無異響，漏油等特別狀況。外表溫度是否超溫+40℃～+80℃。

b、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)根本布滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透亮的假設(shè)顏色昏暗，請換油。

c、清理進(jìn)氣口過濾網(wǎng)：過濾網(wǎng)可防止微粒狀物質(zhì)進(jìn)入泵腔，需要清理時，將過濾網(wǎng)拆下后，放入容器中用無水乙醇清理。然后裝回。

二級保養(yǎng)：

假設(shè)油被污染，需準(zhǔn)時更換。泵初次使用，換油時間可適當(dāng)縮短。泵的真空度隨著時間不斷下降時，需換油。

泵在連續(xù)工作中，翻開氣鎮(zhèn)閥，可抽除被抽系統(tǒng)中可凝性蒸汽，待被抽系統(tǒng)壓力降低到肯定數(shù)值時，在關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，進(jìn)展抽氣。

長時間不用泵時，應(yīng)密封泵的進(jìn)氣口和排氣口，以防灰塵、污物污染泵體。假設(shè)長時間沒有使用泵，氣體會吸附在泵及密封部件上，當(dāng)再次使用泵時，可適當(dāng)延長抽氣時間，待被吸附氣體解析、排解后，即可恢復(fù)泵的正常使用。

翻板閥的拆裝：

拆卸閥蓋及轉(zhuǎn)軸〔勿傷閥蓋密封面〕

①拆開聯(lián)接閥蓋與轉(zhuǎn)軸間的水管。

②拆下連接桿與轉(zhuǎn)軸間的連接板。

〔拆換轉(zhuǎn)軸間的密封圈時，可不必進(jìn)展以上兩步〕

③松開左邊軸端螺釘，拆下支承彎板。

④松開左邊壓緊螺母。

⑤拆去右端水嘴座及轉(zhuǎn)臂。

⑥松開右端蓋緊螺釘。

⑦將轉(zhuǎn)軸從右端軸抽出即可。裝配時逆操作。

2、液壓系統(tǒng)：電路把握原理圖：

啟/停

Y101Y451M131M132M135

M136

H437 C2

H438

變壓器

36V

Y100Y453Y454H406H404

H403

H701

K1

H703

H702

H719

H720

H431 H432H119

H704K1

H706

H721

K4

K4

H722

H433

C2H434H120

H705

K1

H723

H724

H435

H436H121

液

壓

泵

K4

H102H104H106

H105 K1H705H108H126

K4H706H723

H724H623F12

H624

H531 H532C10

H537 H538

C11H543 H544

C12H549 H550

C13

工作原理：

H122 蓋升

壓力表

油標(biāo)

H123

筒升

H124 蓋降

H125 筒降

啟/停按鈕按下以后,點擊卸荷按鈕，C2接觸器吸合，液壓電機在三相電下開頭啟動。

主副室及爐蓋的升降操作：主室升降操作：

主爐室提升時，只有爐蓋上升碰限位后向左側(cè)旋轉(zhuǎn)偏離主爐室后，才可上升。主爐室和爐蓋互鎖，主爐室升到極限位置并停留后，然后向右旋出，進(jìn)展清理和擦拭。合爐時，逆操作。

副爐室及爐蓋升降操作：

副爐室及爐蓋提升用一個液壓缸，該缸裝在下立柱的左側(cè)上方，用支承臂將副爐室和爐蓋先后升降，先將副爐室上升40mm自動限位，向左旋轉(zhuǎn)副爐室后再可升爐蓋。

副室、爐蓋、主爐室的操作，把握面板上有相對應(yīng)的按鈕。操作留意事項：

a、 在需要進(jìn)展副室、爐蓋、主爐室提升操作時，按下相應(yīng)按鈕，副室、爐蓋升起100mm后必需旋出，主爐室才可升起，以防爐蓋和主爐室相碰撞。

b、 合爐時首先將上爐筒旋轉(zhuǎn)至導(dǎo)向桿處，然后對正導(dǎo)向套下降，再上爐筒下降至下爐筒上密封接觸時，應(yīng)點動慢降，直到自由壓緊為止。

c、 合完上爐筒后，方可合爐蓋，首先將爐蓋降至距上爐筒上面40mm處，然后將爐蓋對正導(dǎo)向套，下降爐蓋，應(yīng)點動慢降，對正止口，直到自由

壓緊為止。啟動過程中應(yīng)隨時檢查電機、油泵的溫升，隨時觀看系統(tǒng)的工作壓力，隨時檢查各高壓連接處是否有松動，以免發(fā)生特別事故。

一級保養(yǎng)：

1、電機檢查：定期檢查電機工作狀況，有無異響，漏油等特別狀況。外表溫度是否超溫+40℃～+80℃。

2、油位檢查：副室泵正常使用狀態(tài)下，下油缸油位應(yīng)根本布滿油鏡。上油缸油位應(yīng)在油鏡的1/3-1/2之間。正常的泵油是清潔透亮的假設(shè)顏色昏暗，請換油。

3、壓力調(diào)整：液壓泵的正常工作壓力為3.0Mpa～3.5Mpa。在壓力表顯示低于3.0Mpa時，液壓系統(tǒng)在升

降爐體時會有停滯的現(xiàn)象，此時需要調(diào)整壓力，在確認(rèn)油箱內(nèi)油量適宜的狀況下，啟動電機，向右旋轉(zhuǎn)此旋鈕，可以適當(dāng)調(diào)大壓力。

二級保養(yǎng)：

調(diào)壓旋鈕

電機

液壓泵初次使用半年后應(yīng)更換一次液壓油，以后每隔一年更換一次，以保證系統(tǒng)的正常運行。

液壓系統(tǒng)在運行過程中，應(yīng)隨時檢查濾油器堵塞狀況并準(zhǔn)時清洗或更換。c．液壓系統(tǒng)尋常應(yīng)常備易損件及元、輔件備件，以便準(zhǔn)時處理故障。

3加熱系統(tǒng):

電路把握原理圖:

380v

外

部電源

D130

D131D132

50v

D108

可

控

硅D109

水冷 石墨加熱

Y482 Y459M425

M426 Y439

Z107 Y466 H502 H501 Y417

C9

PLC

電纜 器

F9

H104H703 H704H421 H422H617

H618H529 H530 H201 Y366 觸

K1

H110

C1

H202

C9 發(fā)

Y367 板

工作原理：

加熱系統(tǒng)：加熱系統(tǒng)包括濾波柜，變壓器，水冷電纜，熱場。變壓器將經(jīng)濾波柜濾除諧波之后的380V電源轉(zhuǎn)化為50V，由可控硅把握其輸出量后經(jīng)水冷電纜傳輸給電極。其把握局部由把握柜的歐陸表，電壓反響板、觸發(fā)板來實現(xiàn)。熱場包括加熱器、石墨電極、電極螺栓、爐底護(hù)盤、石英護(hù)套、電極護(hù)套、堝桿護(hù)套、排氣口

護(hù)套、堝桿、堝托、石墨坩堝、下保溫罩、上保溫罩、上保溫蓋、下保溫蓋、導(dǎo)流筒。其中，加熱器，電極，電極螺栓是加熱裝置，其他為保溫裝置。

可控硅

把握系統(tǒng)：把握柜主要是通過工控機，驅(qū)動器、編碼器、PLC等對晶體生長及其生長環(huán)境進(jìn)展監(jiān)視和把握，以便使晶體按工藝要求生長。為操作者供給了一個人機交互的界面，便利操作者對晶體生長過程的把握。

水冷電纜

水冷電纜

機床變壓器

直流互感器

固體電容

功率把握按鈕

JRDL－800的溫度把握系統(tǒng)承受英國歐陸公司的P818溫度自動把握儀作為系統(tǒng)的溫度把握器。其把握原理：由熱電堆檢測的溫度信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷盒盘査椭罰818溫度自動把握儀，與設(shè)定的溫度信號進(jìn)展比較、運算，然后將偏差纖毫送至數(shù)字觸發(fā)器把握加熱功率，另一路由負(fù)載引起變化的電壓波動經(jīng)過霍爾變換后送至反響接口電路用于穩(wěn)定輸出功率，使加熱器上的電壓更加穩(wěn)定。

當(dāng)開頭加熱時，可編程把握器檢測冷卻水及壓力，當(dāng)水壓到達(dá)要求時可以啟動加熱。當(dāng)無水或壓力不夠時則加熱不動作，需檢查供水狀況。一旦加熱后中途因故

停水或水壓低于設(shè)定水壓以下時，面板上水壓報警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫，但加熱不停頓，提示檢修人員準(zhǔn)時排解故障。加熱中途遇到電流過大及爐內(nèi)打火或負(fù)載短路時，從主加熱變壓器檢測到過流信號通過把握器停頓加熱，同時面板上過流報警燈亮啟，蜂鳴器鳴叫。待故障消退后，將溫度把握器的OP值降到零，重開啟一次，面板上的加熱開關(guān)可連續(xù)加熱。但要留意此時坩堝中的硅料不要結(jié)晶，否則應(yīng)停頓加熱，清理爐膛后重裝料再加熱。

熱場

堝桿護(hù)套

φ134*138

石墨/國產(chǎn)細(xì)

料

電極護(hù)套

φ136*105

石墨/國產(chǎn)細(xì)

料

排氣護(hù)套

φ60*84

石墨/GSK

上保溫罩

φ630*183

石墨/GSK

下保溫罩

φ630*600

石墨/GSK

石墨堝托

φ442*70

石墨/CG-12

石墨件名稱：

石英環(huán)

石英環(huán)

φ110*120mm

φ94*140mm

石英

石英

電極螺栓

φ70*110

石墨/IG-70

石墨電極

φ89*190

石墨/IG-70

爐底護(hù)盤

φ660*200

石墨/GSK

加熱器

φ580*600

石墨/CG-12

上蓋

石墨坩堝

φ494*342

石墨/CG-12

導(dǎo)流筒外

φ470*295

石墨/IG-12

導(dǎo)流筒內(nèi)

φ470*279.5

石墨/IG-12

石墨堝桿

φ270*735

石墨/GSK

上保溫蓋

外φ780*32

石墨/GSK

下保溫蓋

內(nèi)φ724*32

石墨/GSK

石墨紙

厚度1mm

爐底護(hù)盤

銅電極

石墨電極

石英護(hù)套

排氣護(hù)套

中罩

加熱器

上罩

石墨電極

坩堝護(hù)套

石英護(hù)套

電極螺栓

導(dǎo)流筒

熱場的安裝：

a、安裝熱場元件之前先確認(rèn)銅電極與爐體絕緣。

b、將預(yù)備好的碳?xì)咒伻氩讳P鋼爐體。c、將剪好的碳膜紙穿入銅電極。

d、將石英護(hù)套穿入銅電極，擺放適當(dāng)。e、安裝爐底護(hù)盤放入排氣孔護(hù)套、

電極護(hù)套、坩堝護(hù)套。

f、將石墨電極擰固在銅電極上并在石墨電極上部擺放剪好的碳膜紙。

g、安裝加熱器，使加熱器電極孔與石墨電極孔重合。

h、將石墨螺絲穿上碳膜紙，緊固加熱器電極腿。

i、裝入中罩、上罩。

j、安裝堝桿、堝托、三瓣堝。

k、測量加熱器與爐體是否絕緣。

l、裝好大蓋固定導(dǎo)流筒，安裝完成。拆卸時，進(jìn)展逆操作即可。

電極的拆裝與維護(hù)：拆卸：

由于電極材料為紫銅，因此裝時應(yīng)特別留神，切勿重?fù)?。拆卸電極時，首先

a、卸掉水冷電纜及銅夾子。b、然后拆下水嘴座。

c、松開壓緊螺母。

d、移去上部石英保護(hù)套。

e、將電極從上部抽出即可。裝配時，進(jìn)展逆操作即可。

變壓器的維護(hù)：

a、定期檢查絕緣子、繞組的底部和端部進(jìn)展檢查看有無積塵現(xiàn)象。

b、尋常運行巡察檢查中制止觸摸，留意觀看緊固部件有無松動現(xiàn)象。繞組絕緣外表有無龜裂、碳化痕跡，聲音是否正常。

c、運行中留意溫升變化，切忌因溫升過高而損壞絕緣。

d、每次運行前，檢查水溫報警器工作是否正常，有無漏水痕跡。

歐陸表使用：

第一顯示是顯示從溫度傳感輸入的溫度毫伏信號，單位為毫伏。

按鈕A/MAN打算這歐陸表的來回交替的工作

第一顯示

其次顯示

方式，即當(dāng)處于MAN狀態(tài)時，按下A/MAN按鈕后，歐陸表將轉(zhuǎn)換為WSP的工作方式，在MAN的狀態(tài)下，熱場以固定的電壓電流來為熱場供給熱量，當(dāng)在WSP的狀態(tài)下工作時，熱場系統(tǒng)將通過不斷的微調(diào)輸入輸出的電壓電流來穩(wěn)定當(dāng)前的溫度。在WSP狀態(tài)下，第一顯示為當(dāng)前熱場溫度值，其次顯示為熱場目標(biāo)值。當(dāng)處于MAN狀態(tài)時，熱場第一顯示值為當(dāng)前值，其次顯示值為熱場輸出百分比，以100%為極限值。

堝轉(zhuǎn)電機

堝升電機

4、提拉系統(tǒng)：

晶升電機

諧波減速器

晶轉(zhuǎn)電機

電路把握原理圖:

晶

升小

盒

Y481

Y419

PL

C

Y426

拉

速

板

Y325

H903

H303

Y485

Y244

Y236

Y312

Y112

H913

電

源

H702 H725

H726Y130Y135

溝通37VY113

Y106

晶

升驅(qū)動

器

H919

A+

I+

H914

H915

M

H918

M

A-

K5

溝通220V

H107 H727 H728Y126Y127

溝通110V

Y107

I-

H916

H304

H904

電

源

H101 H701

H702K1

H729

K6

H730Y136

Y137

AC37

H107

H731K6H732

Y129

Y128

計

算

機

Y228

開

關(guān)

量

Y214Y431

PLC

Y402H815

H816

變

壓

器

Y110H933Y111H934Y108H935Y109H936

AC110

堝

升驅(qū)動器

H923

H939H305

H938

H924

H306

H307

A1

M M

A2

I1

I2

C26

H308

工作原理：

晶升、堝升系統(tǒng)由晶體生長拉速把握器和晶體生長跟蹤把握器組成。其附帶局部還包括上部的晶體上升快速升降把握和隨動快速升降把握。這兩局部均承受進(jìn)口電機及進(jìn)口把握器由接口把握電路把握其工作，并與晶體直徑把握器一起完成對晶體的生長把握及直徑進(jìn)展把握。電機的快速運動與正常速度的轉(zhuǎn)換由可編程把握器進(jìn)展規(guī)律運算后由電機執(zhí)行，可保證電機在運行中動作準(zhǔn)確，安全牢靠。電機的控速顯示和隨動電機的跟蹤速度顯示分別由面板上的兩塊數(shù)字顯示儀表顯示及其拉速和跟速，單位是mm。

籽晶提升機構(gòu)：

籽晶提升機構(gòu)有提升電機系統(tǒng)經(jīng)過周密的渦輪蝸桿減速器帶動卷絲輪。卷絲輪通過滾動花鍵傳遞扭矩并擔(dān)當(dāng)支承。卷絲輪由牽引螺紋螺母套實現(xiàn)平移，從而保證卷絲軟軸鋼絲始終在對中位置，卷絲的平移又帶動限位桿，實現(xiàn)軟軸的極限限位，以保護(hù)籽晶提升機構(gòu)不受損傷。卷絲輪聯(lián)接有光電編碼器，準(zhǔn)確顯示晶體長度〔或位置〕。為便于軟軸鋼絲繩的拆裝，在卷絲輪上開有裝拆槽。卸時只需將軟軸松開，順著孔槽移出即可，安裝時，應(yīng)將卷絲輪處在最右端，記清所剩繞韁圈數(shù)，然后順槽裝入軟軸，按原來圈數(shù)繞成即可。

一級保養(yǎng)：

1、電機檢查：定期檢查電機工作狀況，有無異響，漏油等特別狀況。外表溫度是否超溫+20℃～+40℃。

2、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤滑油。1、用無塵布將絲杠、導(dǎo)軌擦拭干凈用加滿酒精的噴壺將絲杠上面的雜質(zhì)沖洗干凈，反復(fù)升降幾次，查找最正確效果。在絲桿，導(dǎo)軌上面涂抹少量潤滑油。重復(fù)升降幾次，檢查效果。

注：確保絲杠、導(dǎo)軌沒有雜質(zhì)，否則影響運行。工具：噴壺、無塵布、潤滑油二級保養(yǎng)：

1、每次運行，校正對中。

2、定期校正運行速度與顯示速度，使其保持全都。

3、鋼絲繩的拆裝與維護(hù)：

聯(lián)軸節(jié)

卷絲輪

鋼絲繩

阻尼

側(cè)面圖

頂面圖

拆下：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對中工具、聚光燈

a:蓋好爐蓋，將鋼絲繩下降，卷絲輪上只纏繞2～3圈的時候。將鋼絲繩從重錘處剪斷，

b：翻開提拉頭的上蓋和側(cè)蓋視窗，松開壓線輪螺釘。c：松開連軸節(jié)上的螺釘，使卷絲輪能夠用手自由轉(zhuǎn)動。d:拽動鋼絲繩，使鋼絲繩從卷絲輪旋轉(zhuǎn)下來。

e:從阻尼上逐步的將鋼絲繩從末端拉出。

f:把電機和限位信號線拔出，將提拉頭拆下，將阻尼套取出。

安裝：所需工具：內(nèi)六角扳手一套、對中工具、聚光燈a:在卷絲輪上纏入的鋼絲繩，使鋼絲繩從底板穿出。b:將鋼絲繩壓入第一繞線槽內(nèi)并緊固壓線輪螺釘。

c:手動轉(zhuǎn)動卷絲輪使鋼絲繩多繞幾圈。d:將阻尼從鋼絲繩的另一端穿入

e:將阻尼套壓入底板孔

f;再次轉(zhuǎn)動卷絲輪檢查鋼絲繩是否順當(dāng)繞入。

g;最終，調(diào)整好連軸節(jié)和限位，裝好視窗玻璃。緊固螺絲釘。4、諧波減速器的維護(hù)：

諧波減速器是由波發(fā)生器所產(chǎn)生的機械波，通過柔性齒輪變形，從而產(chǎn)生齒間相對位移而到達(dá)傳動的目的的一種大減速比減速機構(gòu)。使用中一般不加油，不必拆卸。在必要時，拆后裝配務(wù)必將各零件清洗干凈。其軸承內(nèi)應(yīng)涂201潤滑脂，齒面應(yīng)加7011特種脂。

5、籽晶提拉部件的維護(hù)：

籽晶提拉部件也是單晶爐的關(guān)鍵部件，籽晶提拉部件運行的好壞，直接影響著單晶的生長。因此，也必需加以細(xì)心護(hù)理。

卷輪箱是其核心局部。上面設(shè)有觀看孔，用來觀看內(nèi)部卷輪及軟軸鋼絲繩的工作狀況，卷輪箱左端聯(lián)有超程限位箱，用來保護(hù)卷輪箱不會由于其超程而被損壞。卷輪箱的右端由雙極減速器傳遞轉(zhuǎn)矩。減速箱內(nèi)的渦輪蝸桿傳動件，每三個月加注適量潤滑油。不銹鋼軟軸定額承載100Kg，每次開爐后，檢查承重頭部鋼絲繩是否燒損，如有燒損應(yīng)將燒損局部準(zhǔn)時去掉，重用氬弧焊封頭，一根鋼絲繩可供幾次修正使用，但每次休整后，都應(yīng)核實所剩鋼絲繩長度是否滿足使用要求，否則應(yīng)更換的軟軸鋼絲繩。

卷輪箱內(nèi)的調(diào)整螺母〔銅螺母〕不得任憑拆動，以免影響軟軸的對中，假設(shè)必需要拆卸時，裝時肯定要認(rèn)真調(diào)整。最終保證軟軸對中。

軟軸鋼絲繩在保管、使用、修理安裝中不準(zhǔn)造成任何死彎現(xiàn)象，否則在運行中會引起抖動。籽晶旋轉(zhuǎn)電刷局部，運行一段時間后，要進(jìn)展清理，消滅碳粉積存以免影響信號傳輸，拆裝后，要調(diào)整好相對位置，不允許消滅電刷頭與絕緣環(huán)相摩擦的狀況。

6、卷絲輪的拆裝

卷絲輪的旋轉(zhuǎn)密封承受的是磁流體密封，拆裝卷絲輪時盡可能不要拆開磁流體密封組件。

a、拆去電機及減速箱〔拆時做上相對位置極好，復(fù)位時按記號找正〕b、拆下軟軸鋼絲繩壓輪。

c、卸下重錘及軟軸鋼絲繩。d、拆下卷輪箱左端限位箱。e、拆下左端蓋及限位桿。

f、拆下拖動限位桿的拖動圓盤。

g、松開右端蓋與卷論箱的連接螺釘。

h、將右端蓋與卷絲輪一起從右端旋出。裝配時逆操作。

5、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：

電路把握原理圖:

H702 H737

電

源

H738H957K8

濾H958H841C24H842H961

波

L1堝U

轉(zhuǎn)V M

H107

H739

K8

H740H959器H960H843

H844H962C24

L2驅(qū)W

動

計算機

Y227 開關(guān)量Y213Y436PLCY415H811 H812 器

C24

H702H733

H734H941

電 K7

源

濾

波

器

H942H837C23H839H945

L1晶U

轉(zhuǎn)V

M

H107

H735

K7

H736H943

H944H839

C23

H840H946

L2

C23

計算機

Y226

開關(guān)量Y212Y435

PLC

Y413H809

H810

驅(qū)W動

器

工作原理：

晶體旋轉(zhuǎn)分成兩局部，第一是籽晶旋轉(zhuǎn)局部，其次是坩堝旋轉(zhuǎn)局部。兩局部承受同一種進(jìn)口電機及把握器，旋轉(zhuǎn)的速度均由面板上的數(shù)字顯示儀表顯示，同生長運動一樣，其把握旋轉(zhuǎn)的規(guī)律功能均由可編程把握器進(jìn)展規(guī)律把握，籽晶及坩堝的旋轉(zhuǎn)方向互為逆向。正常使用時將轉(zhuǎn)速給定電位器調(diào)至零位，開啟晶、堝轉(zhuǎn)開關(guān)，分別旋轉(zhuǎn)各自的給定電位器，使其到達(dá)需要的轉(zhuǎn)速。

籽晶旋轉(zhuǎn)機構(gòu)有旋轉(zhuǎn)軸、支承座、電刷環(huán)組件、磁流體密封座及旋轉(zhuǎn)電機系統(tǒng)組成。旋轉(zhuǎn)電機系統(tǒng)通過楔形帶實現(xiàn)籽晶軸平穩(wěn)轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)密封為磁流體密封。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)有10道電刷環(huán)，用來供給籽晶提升機構(gòu)的電能及傳遞電信號。裝在過渡副室中的限位器，實現(xiàn)軟軸的上限位。

一級保養(yǎng)：

1、電機檢查：定期檢查電機工作狀況，有無異響，漏油等特別狀況。外表溫度是否超溫+20℃～+40℃。

2、每次大清，緊固聯(lián)軸節(jié)，清理絲杠并加潤滑油。二級保養(yǎng)：

1、每次運行，校正對中。

2、定期校正運行速度與顯示速度，使其保持全都。

3、坩堝軸旋轉(zhuǎn)密封和卷絲軸旋轉(zhuǎn)密封均承受磁流體密封。

4、坩堝軸驅(qū)動部件的修理：

坩堝軸驅(qū)動部件是設(shè)備的核心部件，要求各種精度都比較高，所以要加強維護(hù)。坩堝軸是多晶硅料的支承軸，其精度高，工藝簡單，應(yīng)重點維護(hù)。要經(jīng)常檢查其冷卻水的狀況，以免因冷卻不充分而被燒壞。拆下后需垂吊放置。坩堝軸驅(qū)動裝置的導(dǎo)柱及直線運動軸是關(guān)鍵的導(dǎo)向原件，應(yīng)妥當(dāng)維護(hù)。導(dǎo)柱需保持清潔，嚴(yán)禁灰塵、雜物附著。定期涂抹油脂，以防銹蝕。直線軸承出廠時已做充分潤滑，必要時可每隔一年加注鋰基潤滑脂一次。加油時，松開油蓋。提起油封，推出軸承，認(rèn)真清洗前方可注入油。覺察導(dǎo)柱與軸承間有研損時，應(yīng)將軸承微轉(zhuǎn)一角度，使?jié)L珠避開研損痕跡，以確保平衡運行。軸承與導(dǎo)柱是配套裝置的，請勿裝錯。周密絲杠、渦輪、齒輪等傳動部件，應(yīng)當(dāng)保持清潔、潤滑，嚴(yán)禁灰塵等贓物污染，以免零件損壞和失靈。坩堝軸快速升降傳動渦輪，每兩個月翻開潤滑孔在渦輪齒面上注鋰基潤滑脂一次。請定時去除下波浪管中的雜物。

水溫報警器

5、坩堝軸的拆裝：

拆卸坩堝軸時，應(yīng)先松開水套與水套固定座的連接螺釘，去掉軸擋圈，卸下水套固定，然后松開圓螺母，卸下帶輪，將磁流體密封部件整體取下，最終將坩堝軸上面整體抽出。裝入時逆操作。只是要留意軸承的潤滑承受真空脂潤滑，水套座內(nèi)的潤滑可用一般潤滑油即可。

5、水冷系統(tǒng)：

水報警電路：

水

壓

表

PL

C

H805

C21H806

觸

發(fā)Y354

板

H324

Y217

Y215H807

H324

開關(guān)量

水溫檢測器

C22

報警

工作原理：

JRDL-800的進(jìn)水共三路，一路冷卻主機下部各冷卻部位，管