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文檔簡介
1.0目的建立一個良好的ESD控制工作環(huán)境,減少或消除ESD對電性產(chǎn)品的破壞。提高產(chǎn)品在客戶端的信賴性,維護公司在客戶端的信譽,保證產(chǎn)品的品質(zhì)。維護公司員工的身體健康。2.0范圍適用于XXX事業(yè)部,保護ESD敏感性電子元件及產(chǎn)品之全過程,具體包括材料或產(chǎn)品之來料檢查、制造、測試、組裝、包裝、檢查、運輸及存儲等。3.0權(quán)責工程部:負責公司ESD控制之技術(shù)標準的建立,并針對重大ESD事件進行追蹤,同時提出改善措施,負責員工的ESD培訓。質(zhì)量部:負責對ESD控制之執(zhí)行品質(zhì)進行督導及稽核。計劃部:負責在倉儲期間及發(fā)料過程對ESD敏感性元器件進行重點防護以及防靜電輔材(7.4.2.5中規(guī)定)的來料檢查與管控。生產(chǎn)部:負責ESD控制標準的執(zhí)行及日常點檢與測量。企管部:負責安排ESD人員培訓和認證考核,及相關(guān)資料歸檔。4.0參考文件ANSI/ESDS20.20-2007IEC61340ANSI/EIA-6255.0定義及相關(guān)術(shù)語ESD(ElectrostaticDischarge):靜電放電由于電子不均勻分布使電荷在不同電位物體間相互轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。EOS(ElectricalOverStress):電壓過應力即當外加電壓超過零件所能承受的電壓范圍時,造成零件的崩潰。導電材料:材料表面電阻率低于1.0x105Q/SQ或體電阻系數(shù)低于1.0x105Q/CM的材料。絕緣材料:材質(zhì)表面阻值至少是1.0x1012Q/SQ或電阻系數(shù)至少是1.0x1012Q/CM的材料。靜電耗散材料:一個材料其表面電阻率大于1.0x106Q/SQ,小于1.0x109Q/SQ.(如防靜電手套、防靜電工作臺等)??轨o電材料:指表面電阻率大于1.0x109Q/SQ,小于1.0x1011Q/SQ的材質(zhì)。CPG(CommonGroundPoint)共同接地點EPA(ESDProtectedArea)靜電防護區(qū)域ESD接地:靜電充電物(人)經(jīng)由匯流排、金屬支板或系統(tǒng)傳導至地面。設(shè)備接地:從電子設(shè)備到硬接地電極之低阻抗路徑。6.0流程圖《靜電防護管理程序流程圖》7.0內(nèi)容長城電腦電源事業(yè)部ESD組織結(jié)構(gòu)主要職責解決本公司重要的ESD事件,對ESD執(zhí)行進行技術(shù)性指導。每月對本公司ESD控制環(huán)境進行考核評估。按國際標準和客戶要求,保證ESD防護設(shè)施的導入。定期對本公司員工進行ESD教育訓練和考核,加強員工的ESD意識。組織結(jié)構(gòu)ESD管控區(qū)域分布ESD管控區(qū)域分布7.1.2.2ESDteam組織圖4S10FGR14S10FGR1露11.伸PCB1,X13ESD教育培訓所有從事處理或接觸靜電敏感器件的工作人員,都必須接收ESD培訓,并經(jīng)檢定考試合格者方可從事該項工作。認證共分為A,B,C三級A級-公司培訓講師,稽核員及各工作區(qū)主管級以上干部皆屬之。B級-工作區(qū)之工程師,技術(shù)員,領(lǐng)班,線組長,QC人員需具備之。C級-一般作業(yè)人員及新進人員。培訓計劃的安排及每次個人培訓檔案的收集,匯總將由企管部做統(tǒng)一統(tǒng)籌。重新培訓認證:凡經(jīng)認定為認證資格已失效者(違反ESD規(guī)定二次以上者)及所有人員每年都必須接收一次重新培訓及認證(公司內(nèi)部講師每年不需要重新受訓一次)ESD、設(shè)備接地之要求靜電ESD接地采用2mm*4cm的扁鐵埋入地表面以下0.8m深度,接地極與接地線必須用高溫熔接保證電性連接良好,且用50mm2的電線接出引至廠房各控制區(qū)域,再用6mm2的電線連接至各線體;設(shè)備接地線由三相五線制的保護地線引出,連接至各區(qū)域線體作為設(shè)備接地使用,起到雙重接地保護作用。為確保人員的安全性,車間設(shè)備地線必須為獨立,不可與ESD地線共用。工程部ME組技術(shù)員須每半年對廠區(qū)設(shè)備地進行全規(guī)模檢測,用一根6m2電纜線一端牢固接在廠房配電箱主設(shè)備地,一端接在萬用表一端,萬用表另一端接在各線體設(shè)備地末端進行檢測,此時用萬用表“Q”檔位進行測量,測量阻值應<4Q;ESD接地需ME技術(shù)員每半年檢查一次,用一根6m2電纜線一端牢固接在靜電接地主線,一端接在萬用表一端,萬用表的另一端接在各線體ESD接地末端檢測點進行檢測,此時用萬用表“Q”檔位進行測量,測量阻值應<10Q。檢測結(jié)果記錄于《接地線點檢記錄表》中。生產(chǎn)線的ESD、設(shè)備接地末端接地電阻均需小于10Q,此設(shè)備接地與ESD接地狀況的檢測由使用部門各負責人每月自行測量一次,并分別記錄于《ESD接地檢測記錄》和《設(shè)備接地檢測記錄》中。為避免ESD/EOS的發(fā)生,所有設(shè)備(AI/RI/SMD,加工成型機、測試設(shè)備、錫爐、烙鐵電動起子等)請一律使用美式或歐式三芯電源插頭,確保設(shè)備工具良好接地,同時,為了確保設(shè)備的接地可靠性與避免EOS的發(fā)生,所有的帶電儀器設(shè)備與電動治工具都需連接設(shè)備接地線。所有測試治具(ICT、INT與保護站)需采用抗靜電材料如電木制成,外加工治具一律用防靜電或抗靜電材料制成,且機臺需做好接地處理。ESD接地主線尾端需貼ESD共同接地測試點標簽見標識圖C。ESD防護區(qū)域及ESD防護工作站要求ESD防護區(qū)域的要求:凡是有對半導體材料進行存放、加工、組裝、包裝與檢驗的區(qū)域均為ESD防護區(qū)域,包括:IQC、IC倉、AI、HI、T/H段、組裝段與維修站等。ESD防護區(qū)域內(nèi)如有鋪設(shè)導電地板,其接地阻抗需保持在2.5x104Q/SQ至1.0x106/SQ之間;且需每月對其進行清潔及檢測,并落實填寫記錄于《導電地板檢測記錄表》上。所有人員(包括間接人員、來賓)進入鋪設(shè)導電地板之ESD防護區(qū)時,必須穿靜電鞋,且經(jīng)檢測合格后,方可進入。所有人員(包括間接人員、來賓)進入£50防護區(qū)時應依靜電環(huán)點檢說明書自覺點檢,并落實填寫點檢記錄表。為避免檢測儀器不良引起人員誤測,故各部門負責人應每日對儀器進行檢查,使其處于設(shè)備良好狀態(tài)。(如接法是否良好,電量是否足夠)所有人員進入生產(chǎn)線之ESD管制區(qū)域時頭發(fā)過肩的人員必須將其放入靜電帽內(nèi),頭發(fā)過腰的人員可將頭發(fā)盤起或放入靜電衣內(nèi),否則嚴禁進入生產(chǎn)區(qū)。所有需穿靜電衣的人員(包括間接人員、廠商及參觀者)在穿靜電衣時其袖子嚴禁挽起,靜電衣之扣子或拉鏈必須系好,且所穿的便裝之衣領(lǐng)/衣帽嚴禁外露。靜電衣清洗時需使用小于30℃的中性水配合中性洗潔劑輕揉后晾干即可;其標準阻抗值為106Q?109Q之間;需每月抽檢一次并記錄于《靜電衣檢測記錄》上。ESD防護工作站要求:ESD防護工作站指ESD防護區(qū)域內(nèi)所有具有防靜電功效之工作站。ESD安全工作站之靜電環(huán)、靜電桌墊接地方式必須并聯(lián),絕不能串聯(lián)于ESD主線上。且必須接到ESD接地線上,不可夾在設(shè)備接地線或各種被誤認為已接地設(shè)備上。靜電桌墊需經(jīng)串聯(lián)1MQ電阻的接地扣接至ESD地,而非設(shè)備地;且接地采用之鱷魚夾與香蕉插頭不能混合使用。防靜電桌墊需每月進行點檢一次,貼點檢標簽如標識圖D,并將檢測結(jié)果記錄于《防靜電桌墊點檢記錄》中;標簽應橫向貼在工作臺靠近靜電接地扣處。公司所有新購之防靜電輔材(防/抗靜電袋、靜電手腕帶、靜電手套、靜電衣/鞋/帽、導電桌墊、靜電車、靜電盒/箱/框、PCB掛籃、靜電泡棉、靜電毛刷、導電鑷子、防靜電溶劑瓶等)進廠或鋪設(shè)時,必須經(jīng)由倉庫ESD人員對來料進行抽檢(抽檢比例:樣品數(shù)N<100時,抽檢20%;100WN<500時,抽檢10%;NN500時,抽檢5%),待檢驗合格后,方可導入使用,檢測報告記錄于《防靜電材料來料檢測記錄表》中,且所有防靜電材料在使用前由各使用部門負責全檢。靜電安全工作站30cm以內(nèi)的所有物體、材料表面及人體所帶靜電量(即放電模式)應小于100V。對于生產(chǎn)線上具有靜電發(fā)生源之工位(如:撕貼膠紙、HI處物料之絕緣包裝盒)等,應增設(shè)離子風扇有效中和靜電。針對已組裝好外殼的成品所進行的操作,原則上操作人員不需要佩戴靜電環(huán);但針對個別使用高靜電物料的工位(如包裝塑料袋等),需要用離子風機對吹,以消除靜電。離子風機每班巡檢一次,結(jié)果記錄于《離子風扇巡檢記錄表》中;領(lǐng)班應每周對離子風機平衡電壓進行檢測,平衡電壓應小于100V,檢測結(jié)果記錄于《離子風機平衡電壓測試記錄表》中,同時,為保證離子風扇使用之可靠性應每兩個月進行一次校準,校準結(jié)果記錄于《離子風扇校準記錄表》中。工作站使用之測試治具、電動工具需每班在上班前對其進行設(shè)備接地電阻及EOS對地電壓檢測,結(jié)果分別記錄于《EOS檢測記錄表》及《機器設(shè)備/電動治工具接地檢測記錄表》中。工作現(xiàn)場ESD之要求靜電環(huán)佩戴須知作業(yè)員在作業(yè)時必須依MOI要求佩戴靜電環(huán)、靜電手套或靜電手指套,且靜電環(huán)腕帶之金屬片必須與手腕皮膚緊密接觸,不可松脫或套于衣袖上。為確保1MQ電阻之有效性,嚴禁用力拉扯靜電環(huán)的導線。所有人員(含間接人員、流動員)接觸ESD敏感性零組件時均須佩戴靜電環(huán),且靜電環(huán)須處于接地良好狀態(tài)。所有人員每日上班前應主動檢測靜電環(huán)/鞋接地狀況,每日點檢兩次,加班需另進行點檢一次,點檢完畢后如實記錄點檢結(jié)果于《靜電環(huán)點檢記錄》和《靜電鞋點檢記錄》上,且由各區(qū)域線長或區(qū)域ESD負責人簽字確認;如點檢失敗,應及時找線長更換新的靜電環(huán),并重新點檢合格方可上線作業(yè)。使用靜電環(huán)自動測試儀的工位,采用自主點檢和線長檢查的方式,自主點檢方法為:不戴靜電環(huán),打開電源開關(guān),此時測試儀上紅燈亮,蜂鳴器叫;佩戴靜電環(huán)后,只有綠燈亮。以上測試結(jié)果符合,表示靜電環(huán)自動測試儀處于良好的實時監(jiān)控狀態(tài),人員可靠接地。每日三次(上午、下午、晚上)需要點檢,員工在自主點檢的同時,線長進行確認,并填寫《靜電環(huán)點檢記錄》。未使用靜電環(huán)自動測試儀的工位,由線長使用靜電環(huán)測試儀器逐工位進行點檢,點檢方法為:先將靜電環(huán)測試儀器的接地線接地,讓員工用手觸摸靜電環(huán)測試儀器的金屬面蓋,如綠色燈持續(xù)亮,表示人員可靠接地;其它燈亮表示接地不良。線長對點檢結(jié)果作記錄并填寫《靜電環(huán)點檢記錄》。對于操作靜電敏感性零組件之工位除以上點檢外還應:所有ESD敏感零組件,應使用防靜電盒/框或防靜電容器盛裝。取放ESD敏感零件時,請使用防靜電手套/鑷子進行操作;對PCB清潔時必須使用防靜電刷方可;裝PCB清洗溶劑所使用的容器必須為防靜電容器;以上使用之治工具需每月對其ESD功能進行檢測并記錄于《ESD治工具點檢記錄》。防靜電盒/防靜電桌墊等各種ESD材料上必須有ESD點檢標簽存在。工作臺上嚴禁張貼膠帶或防止普通塑料盒、塑料袋等絕緣材料;生產(chǎn)線使用的絕緣廢棄物應及時清掃處理。ESD敏感性材料之來料檢驗、包裝、儲存、運輸搬運過程中ESD控制要求所有ESD敏感材料或產(chǎn)品在靜電防護區(qū)域外應完好封裝于靜電屏蔽IC管或靜電屏蔽袋內(nèi),不可打開包裝;不能使用易產(chǎn)生靜電和放電的物質(zhì)進行包裝和儲存。ESD敏感器件來料檢驗之ESD控制要求:檢驗靜電敏感器件的人員必須佩戴靜電環(huán),并由組長用靜電環(huán)測試儀器測試,每日三次(上午、下午、晚上加班),并填寫《靜電環(huán)點檢記錄》。檢驗治工具和設(shè)備(電烙鐵、電批等)必須接地,并用萬用表測試其接地電阻及EOS電壓,每日三次(上午、下午、晚上加班),接地電阻要小于10Q,EOS電壓要小于0.3V,并填寫《EOS檢測記錄表》與《機器設(shè)備/電動治工具接地檢測記錄表》。檢驗靜電敏感器件如有接觸IC、晶體管及PCB板時要戴防靜電手套,防止手汗中的有機物氧化元器件、PCB板等。ESD敏感性材料之包裝過程中ESD控制要求:ESD敏感元件的包裝材料應為抗靜電或靜電消散材質(zhì),包裝好的ESD敏感材料其靜電盒(袋)編號:WI-ED-001版本:編號:WI-ED-001版本:B第頁共10頁靜電防護管理程序編號:WI-ED-001編號:WI-ED-001靜電防護管理程序版本:B第6頁共1。頁應處于密封狀態(tài),同時包裝上應有靜電敏感性標識。拆裝過后的散裝ESD敏感材料需放于密閉的靜電料袋(IC管)內(nèi),不能放于普通塑料容器或保麗龍容器中。ESD敏感材料在進行包裝時,應排列整齊,不能堆積擺放,不允許有產(chǎn)生靜電的材料(泡沫、尼龍、帶狀物等)在包裝袋中。本廠常見的防靜電包裝容器及其要求:抗靜電(抗強化液處理)IC管、IC料盤、料盒、零件袋及靜電箱(通常為黑色、銀灰色)靜電屏蔽袋的表面電阻率在106?10iiQ/Square之間。靜電消散搬運箱表面電阻率需在106?109Q/Square之間。導電料盒/隔板表面阻抗需在106?109Q/Square之間則有效。導電容器需有靜電防護標簽做有效管控,且需每三個月進行全檢一次,并填寫《導電容器檢測記錄》。ESD敏感性材料儲存過程中的ESD控制要求:存放靜電敏感性材料的倉庫,需用溫濕度計進行監(jiān)控,檢查溫度應在5-28度,濕度應在40%-75%,每兩小時記錄一次(8:20-22:20),并填寫《庫房溫濕度記錄表》。公司ESD產(chǎn)品進行存放,應使用石墨型褐色導電盒/箱/隔板;其有廠商提供之品質(zhì)證明,具有永久性防靜電之功能。存放ESD敏感材料所使用之固定或移動的物料架須具備良好接地(如:使用接地鏈或?qū)щ娸啠εc晶體管、IC等具有ESD敏感之電子零件均需作好ESD防護動作(如擺放時的物料架鋪設(shè)防靜電桌墊)。ESD敏感性材料運輸搬運過程中ESD控制要求:靜電敏感性材料的運輸,必須使用用防靜電包裝袋或防靜電料盒盛裝,防靜電料盒必須每季度點檢一次,使用表面阻抗測試儀,表面阻抗為106?109Q,點檢結(jié)果記錄在標簽上并粘貼在對應的料盒上,并填寫《導電容器檢測記錄》。所有ESD敏感材料或產(chǎn)品必須用防靜電(導電)車來運送。導電車接地阻抗正常在106?109/SQ之間,需每月檢測一次貼上點檢標簽并記錄于《到電車檢測記錄表》或須有廠商提供材質(zhì)的有效性證明,以作時間管制。推車上之產(chǎn)品盡可能不要重疊放置,如需重疊放置時,層與層之間須使用靜電隔板隔開。推車進入非ESD區(qū)域進行產(chǎn)品零件的運輸時,需使用靜電防護罩(袋)做屏蔽。在使用普通紙箱包裝、儲存、運輸搬運ESD敏感性材料時,箱內(nèi)需設(shè)置防靜電防護(如鋪設(shè)抗靜電袋、靜電泡棉及靜電隔板)。所有人員在發(fā)料、點料、配料、包裝及取放ESD敏感性材料時均須佩戴靜電環(huán)并確保良好接地;在使用修理料時ESD敏感性材料應放于抗靜電料盒內(nèi)。7.7標識7.7.1靜電警示標簽說明:圖A為靜電敏感標識(ESDSusceptibilitySymbol),主要用于ESD敏感元件之外包裝及ESD敏感區(qū)。圖B為靜電防護標識(ESDProtectiveSymbol),用于靜電安全區(qū)域或ESD安全工作站。圖C為ESD共同接地測試點(ESDCommonGroundPointSymbol),用于ESD接地線末端。圖D為ESD點檢標簽,使用作為各種ESD材料檢測標識;標簽日期的填寫格式需均為:XX年XX月XX日,標簽統(tǒng)一為淺藍色底紙制作,并貼于ESD材料之顯眼處。圖E為靜電敏感區(qū)標識(ESDSusceptibleAreaSymbol),主要用于全廠各ESD敏感區(qū)域。ESD注意標識應明確標識于ESD防護區(qū)及工作站告知所有進入人員;一般視力下標識應在1米內(nèi)可讀見。在ESD敏感性零組件作業(yè)工位上,其防靜電零件盒和防靜電盒/板、晶體元件之料盒及MOI上都應由靜電敏感性標識。各種元器件的靜電敏感度(以人體模型HBM為例)器件類型砒ESD闕也器件類型時E加閾值30~1800ECL300-2500MOSFET1002200JFETH0~1000GLASFETl&023DUSOL6S0-L期。PROM100STTL3Q&7300CMOS250-20加DTL-7000HMflS50-村。為利基二板管300-3000E/DMOS200-1000城攝型晶體首380-700Q稽核每月內(nèi)部稽核稽核小組分別由AI、生產(chǎn)部、工程維修、售后、IC倉庫、質(zhì)量部&103與DQA各派一員組成,且ESD稽核人員須經(jīng)培訓考核并有ESD稽核經(jīng)驗?;藭r依據(jù)稽核計劃進行,稽核項目依在50內(nèi)部稽核查檢表》為參考依據(jù)。對稽核不符合項目由£50Team發(fā)出稽核不符合項目報告,請各責任部門及時提出整改措施,最后由部門ESD負責人報告,存檔保存。對ESD稽核過程中發(fā)現(xiàn)因人為因素違反ESD規(guī)定者,將按員工獎懲管理辦法對其責任人進行處罰。
7.10ESD規(guī)劃項目種類檢測周期檢測責任人標準范圍1靜電環(huán)每天所有人員萬用表測靜電環(huán)內(nèi)阻:1.0M±10%Q人體綜合測試儀:750K?10MQ2靜電鞋每天所有人員750KQ?35MQ3離子風機巡檢每天領(lǐng)班/全能員是否按文件要求正常使用4離子風扇平衡電壓每周領(lǐng)班/全能員平衡電壓:<±100V5離子風機校準每兩月工程部ME衰減時間:三3s平衡電壓:<±50V6EOS測量每天領(lǐng)班/全能員EOS電壓:<0.3V7機器設(shè)備/電動治工具接地每天領(lǐng)班/
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