PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程葛成林12/8/202211安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險嚴(yán)禁無關(guān)人員和小孩進入機器黃色區(qū)域機器運行時，嚴(yán)禁拔出微波銅天線，嚴(yán)禁拆設(shè)備任何部件。否則可能帶來微波輻射和高壓電擊等危險未經(jīng)培訓(xùn)和許可嚴(yán)禁操作設(shè)備，不正確操作設(shè)備可能損壞設(shè)備，嚴(yán)禁亂操作計算機12/8/202222安全與標(biāo)識威脅人身傷亡或健康微波輻射危險微波泄露限制：根據(jù)最新科學(xué)研究和世界許多國家執(zhí)行規(guī)定，距易接近設(shè)備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面12/8/20223

觸電危險戴防護眼鏡戴防護手套12/8/202243開機開總電源啟動計算機檢查冷卻水檢查氣源啟動“system”程序12/8/202253.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復(fù)位，如末復(fù)位拉出復(fù)位12/8/20226

向右轉(zhuǎn)動主電源斷路器手柄復(fù)位，然后向左轉(zhuǎn)動手柄，主電源合閘機器上指示燈、溫控儀表點亮可確認(rèn)總電源已開啟12/8/202273.2啟動計算機輕壓一下工控機主機上“POWER”按鈕，計算機啟動WIN-NT12/8/202283.3檢查冷卻水冷卻水壓力應(yīng)在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內(nèi)先打開冷卻水出水閥，然后打開進水閥12/8/20229

檢查、調(diào)節(jié)水流量計，ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min，ww7--12為2.5L/min(設(shè)備人員調(diào)節(jié))12/8/2022103.4檢查查氣源打開壓縮空氣氣閥，壓縮空空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮氣閥，，氮氣壓力小小于5kg/cm212/7/2022113.5啟啟動““system”程程序用鼠標(biāo)標(biāo)左鍵鍵雙擊擊Win-nt桌桌面““system”圖圖標(biāo)啟動后后登入入自己己使用用權(quán)限限帳號號12/7/2022124選選擇工工藝單單、生生產(chǎn)開真空空泵，，預(yù)加加熱啟動指指定工工藝檢查工工藝運運行情情況放置空空石墨墨框進進行傳傳動狀狀態(tài)測測試工藝調(diào)調(diào)試，，生產(chǎn)產(chǎn)12/7/2022134.1開開真空空泵，，預(yù)加加熱檢查機機器無無故障障顯示示后，，開真真空泵泵加熱腔腔和反反應(yīng)腔腔預(yù)加加熱當(dāng)反應(yīng)應(yīng)腔真真空壓壓力小小于1.0e-2mbar,溫度度達(dá)到到預(yù)設(shè)設(shè)定的的值，，方可可啟動動工藝藝12/7/2022144.2啟啟動指指定工工藝打開墻墻壁氣氣箱中中特氣氣閥點擊““control””控制制按鈕鈕，““technology””框框中選選擇規(guī)規(guī)定的的工藝藝單后后，加加載““l(fā)oad””,啟啟動工工藝““start””，在在“transp-ortation””框框啟動動傳動動12/7/2022154.3檢檢查工工藝運運行情情況過程狀狀態(tài)畫畫面框框顯示示過程程執(zhí)行行“processrunning”壓力控控制微波開開啟特氣開開啟以上條條件滿滿足方方可啟啟動工工藝12/7/2022164.4傳傳動動狀狀態(tài)態(tài)測測試試在機機器器裝裝載載口口平平穩(wěn)穩(wěn)放放置置空空石石墨墨框框進進行行傳傳動動狀狀態(tài)態(tài)測測試試12/7/2022174.5進進行行工工藝藝調(diào)調(diào)試試，，生生產(chǎn)產(chǎn)放入入裝裝有有需需加加工工硅硅片片的的石石墨墨框框進進行行工工藝藝調(diào)調(diào)試試，，生生產(chǎn)產(chǎn)在機機器器口口放放置置、、檢檢查查好好石石墨墨框框后后按按壓壓黑黑色色準(zhǔn)準(zhǔn)備備好好按按鈕鈕，，機機器器傳傳動動才才執(zhí)執(zhí)行行帶上上高高溫溫手手套套，，及及時時從從機機器器出出口口平平穩(wěn)穩(wěn)拿拿出出石石墨墨框框12/7/2022185停停機機停止止工工藝藝運運行行關(guān)墻墻壁壁氣氣箱箱中中特特氣氣閥閥,特特氣氣管管路路吹吹掃掃關(guān)掉掉真真空空泵泵,向向機機器器腔腔體體沖沖入入凈凈化化N2退出出控控制制程程序序““system””,關(guān)關(guān)主主電電源源關(guān)上上壓壓縮縮空空氣氣、、氮氮氣氣、、冷冷卻卻水水12/7/2022195.1停停止止工工藝藝運運行行鼠標(biāo)標(biāo)點點擊擊““control””按按鈕鈕，，彈彈出出下下拉拉菜菜單單點擊擊工工藝藝““stop””按按鈕鈕點擊傳動動“stop””按鈕12/7/2022205.2關(guān)關(guān)墻壁壁氣箱中中特氣閥閥，特氣氣管路吹吹掃關(guān)上位于于墻壁氣氣箱中特特氣閥通知經(jīng)過過培訓(xùn)的的設(shè)備人人員進行行特氣管管路吹掃掃12/7/2022215.3關(guān)關(guān)掉真真空泵泵，向向腔體體沖入入N2進入““system”狀狀態(tài)畫畫面，，點擊擊“pumps”控控制按按鈕，，彈出出下拉拉菜單單等待真真空泵泵凈化化N2氣閥閥關(guān)閉閉點擊三三個真真空空泵““pumpoff”控控制按按鈕關(guān)關(guān)掉真真空泵泵點擊反反應(yīng)腔腔“vent””控制制按鈕鈕,向向機器器腔體體沖入入凈化化N2，等等待沖沖好指指示燈燈點亮亮12/7/2022225.4退退出控控制程程序，，關(guān)主主電源源進入““service””狀態(tài)態(tài)畫面面，點點擊系系統(tǒng)中中“switchoff””控制制按鈕鈕，計計算機機顯示示回到到win-nt畫畫面進行正正常關(guān)關(guān)計算算機操操作用手按按壓一一下紅紅色急急停按按鈕，，關(guān)閉閉主電電源，，拉出出紅色色急停停按鈕鈕復(fù)位位12/7/2022235.5關(guān)關(guān)上壓壓縮空空氣、、氮氣氣、冷冷卻水水關(guān)上壓壓縮空空氣、、氮氣氣閥等十五五分鐘鐘后可可關(guān)閉閉冷卻卻水，，先關(guān)關(guān)進水水閥，，然后后關(guān)回回水閥閥12/7/20222412/7/20222512/7/202226Figure10:Processchamber12/7/202227Figure12:Gassystem12/7/20222812/7/20222912/7/20223012/7/20223112/7/20223212/7/20223312/7/20223412/7/20223512/7/202236PECVD生產(chǎn)產(chǎn)操作規(guī)規(guī)程完12/7/2022379、靜夜四無鄰鄰，荒居舊業(yè)業(yè)貧。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、雨中黃葉樹樹，燈下白頭頭人。。21:56:4121:56:4121:5612/7/20229:56:41PM11、以我我獨沈沈久，，愧君君相見見頻。。。12月月-2221:56:4121:56Dec-2207-Dec-2212、故人江江海別，，幾度隔隔山川。。。21:56:4121:56:4121:56Wednesday,December7,202213、乍見翻翻疑夢，，相悲各各問年。。。12月-2212月-2221:56:4221:56:42December7,202214、他鄉(xiāng)生白白發(fā)，舊國國見青山。。。07十二二月20229:56:42下下午21:56:4212月-2215、比不了得就就不比，得不不到的就不要要。。。十二月229:56下下午12月-2221:56December7,202216、行動出出成果，，工作出出財富。。。2022/12/721:56:4221:56:4207December202217、做前前，能能夠環(huán)環(huán)視四四周；；做時時，你你只能能或者者最好好沿著著以腳腳為起起點的的射線線向前前。。。9:56:42下下午9:56下下午午21:56:4212月月-229、沒有失敗敗，只有暫暫時停止成成功！。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、很多事情努努力了未必有有結(jié)果，但是是不努力卻什什么改變也沒沒有。。21:56:4221:56:4221:5612/7/20229:56:42PM11、成功功就是是日復(fù)復(fù)一日日那一一點點點小小小努力力的積積累。。。12月月-2221:56:4221:56Dec-2207-Dec-2212、世間間成事事，不不求其其絕對對圓滿滿，留留一份份不足足，可可得無無限完完美。。。21:56:4221:56:4221:56Wednesday,December7,202213、不知香積寺寺，數(shù)里入云云峰。。12月-2212月-2221:56:4221:56:42December7,202214、意志志堅強強的人人能把把世界界放在在手中中像泥泥塊一一樣任任意揉揉捏。。07十十二二月20229:56:42下下午21:56:4212月月-2215、楚塞塞三湘湘接，，荊門門九派派通。。。。十二月月229:56下下午午12月月-2221:56December7,202216、少年十十五二十十時，步步行奪得得胡馬騎騎。。2022/12/721:56:4221:56:4207December202217、空山新新雨后，，天氣晚晚來秋。。。9:56:42下午午9:56下午午21:56:4212月-229、楊柳散和和風(fēng)，青山山澹吾慮。。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、閱讀一切切好書如同同和過去最最杰出的人人談話。21:56:4221:56:4221:5612/7/20229:56:42PM11、越是沒有本本領(lǐng)的就越加加自命不凡。。12月-2221:56:4221:56Dec-2207-Dec-2212、越是是無能能的人人，越越喜歡歡挑剔剔別人人的錯錯兒。。21:56:4221:56:4221:56Wednesday,December7,202213、知人者智，，自知者明。。勝人者有力力，自勝者強強。12月-2212月-2221:56:4221:56:42December7,202214、意意志志堅堅強強的的人人能能把把世世界界放放在在手手中中像像泥泥塊塊一一樣樣任任意意揉揉捏捏。。07十十二二月月20229:56:42下下午午21:56:4212月月-2215、最具具挑戰(zhàn)戰(zhàn)性的的挑戰(zhàn)戰(zhàn)莫過過于提提升自自我。。。十二月月229:56下下午午12月月-2221:56December7,202216、業(yè)余生活活要有意義義，不要越越軌。2022/12/721:56:4221:56:4207December202217、一一個個人人即即使使已已登登上上頂頂峰峰，，也也仍仍要要自自強強不不息息。。9