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炬光科技研究:深耕激光上游元器件,激光雷達(dá)應(yīng)用打開成長(zhǎng)空間一、深耕高功率半導(dǎo)體激光元器件,拓展布局應(yīng)用模塊與系統(tǒng)1、十余年激光技術(shù)積淀,成就國(guó)產(chǎn)激光元器件先行者炬光科技主營(yíng)高功率半導(dǎo)體激光元器件、激光光學(xué)元器件,憑借技術(shù)研發(fā)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)成為國(guó)內(nèi)激光行業(yè)品牌高科技企

業(yè)。公司創(chuàng)始人劉興勝具有博士研究生學(xué)歷,2001-2015

年先后任美國(guó)康寧公司高級(jí)研究科學(xué)家、美國(guó)相干公司高

級(jí)資深工程師、美國(guó)恩耐公司工藝工程技術(shù)總監(jiān)、任中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所研究員(博士生導(dǎo)師),

2008

年至今任炬光科技董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理,具有豐富的激光行業(yè)知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)。自

2007

年成立以來(lái)不斷奮斗于做好產(chǎn)品研發(fā),擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)規(guī)模,為客戶提供高質(zhì)量的解決方案。成立之初炬光科技主

產(chǎn)高功率半導(dǎo)體功率器;于

2008

年發(fā)布首款

QCW250W單巴和

5000W疊陣產(chǎn)品;在

2009

年成功交付千瓦級(jí)面

陣半導(dǎo)體激光器;2010

年批量投產(chǎn)自主研發(fā)無(wú)銦化硬焊料,并投產(chǎn)首款耦合模塊產(chǎn)品;2017

年炬光科技成功收購(gòu)

全球微光學(xué)領(lǐng)域領(lǐng)具有先進(jìn)技術(shù)的德國(guó)

LIMO,之后致力于拓展激光光學(xué)元器件新興應(yīng)用領(lǐng)域。目前,公司擁有半導(dǎo)體激光、激光光學(xué)、車用激光雷達(dá)、光學(xué)系統(tǒng)四大業(yè)務(wù),在中國(guó)西安、東莞、海寧、德國(guó)多特

蒙德?lián)碛猩a(chǎn)基地和核心技術(shù)團(tuán)隊(duì),已通過(guò)

ISO14001、ISO45001、ISO9001:2015

IATF16949

等質(zhì)量管理體

系認(rèn)證,是一家具有高研發(fā)創(chuàng)新能力的高科技企業(yè)。公司創(chuàng)始人劉興勝通過(guò)直接持有和一致行動(dòng)協(xié)議約定擁有

31.99%的表決權(quán),為炬光科技實(shí)際控制人,現(xiàn)任董事長(zhǎng)

兼總經(jīng)理。上市后公司股東現(xiàn)有持股比例均降低,但劉興勝仍擁有多數(shù)表決權(quán),劉興勝在上市前后分別直接持股

11,953,400

股、11,953,400

股,對(duì)應(yīng)

17.72%、13.29%股份。公司擁有

6

家全資子公司和

2

家控股子公司,開展技術(shù)研發(fā)、拓展業(yè)務(wù)、推廣銷售等活動(dòng),包括香港炬光、LIMO、

歐洲炬光、域視炬光、美國(guó)炬光、東莞炬光

6

家全資子公司,公司通過(guò)香港炬光持有

LIMO100%股份;通過(guò)

LIMO和東莞炬光開展激光光學(xué)業(yè)務(wù);通過(guò)歐洲炬光和美國(guó)炬光開展產(chǎn)品推廣和銷售業(yè)務(wù);通過(guò)域視炬光開展半導(dǎo)體激光

業(yè)務(wù)。炬光科技持海寧炬光

65%股份,是海寧炬光的實(shí)際控股股東,通過(guò)海寧炬光持有

LIMODisplay股份,并通過(guò)

海寧炬光和

LIMODisplay開展光學(xué)系統(tǒng)業(yè)務(wù)。2、傳統(tǒng)激光元器件業(yè)務(wù)穩(wěn)中有升,激光雷達(dá)或打開新增長(zhǎng)曲線2018-2020

年公司營(yíng)收

3.55

億/3.35

億/3.60

億元,復(fù)合增速

0.71%,歸母凈利潤(rùn)

1867

萬(wàn)/-8043

萬(wàn)/3487

萬(wàn)元,復(fù)

合增速

36.68%,2020

年公司半導(dǎo)體激光業(yè)務(wù)/激光光學(xué)業(yè)務(wù)/汽車應(yīng)用業(yè)務(wù)/光學(xué)系統(tǒng)業(yè)務(wù)分別營(yíng)收

1.40

億/1.82

0.29

億/0.04

億元,預(yù)告

2021

年歸母凈利潤(rùn)

0.6-0.7

億元,同比增長(zhǎng)

72.07%-100.75%,扣非凈利

0.44-0.54

億元,

同比增長(zhǎng)

125.21%-176.39%。2)激光光學(xué)領(lǐng)域,公司產(chǎn)品主要服務(wù)于光學(xué)整形及場(chǎng)強(qiáng)勻化,可應(yīng)用于激光雷達(dá)模組、3D成像等領(lǐng)域。如光場(chǎng)勻

化器通過(guò)對(duì)激光光斑進(jìn)行勻化,可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓表面均勻曝光,提升良率,應(yīng)用于光刻機(jī)曝光系統(tǒng)。微透鏡陣列

及廣角光束擴(kuò)散器分別通過(guò)將激光均勻投射在較小、較大的視場(chǎng)角范圍,實(shí)現(xiàn)將光強(qiáng)在整個(gè)視場(chǎng)角范圍按照一定曲

線函數(shù)分布,應(yīng)用于激光雷達(dá)、3D成像、機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)等領(lǐng)域。3)近年來(lái)公司向激光產(chǎn)業(yè)鏈中游延伸,開拓了汽車激光雷達(dá)(LiDAR)及智能艙內(nèi)駕駛員監(jiān)控系統(tǒng)(DMS)市場(chǎng)。

其中

AL01

系列光源模組可應(yīng)用于智能駕駛純固態(tài)閃光式激光雷達(dá);VCSEL激光器與車規(guī)級(jí)光束擴(kuò)散器集成封裝而

成的光源模組可通過(guò)更有效精確地識(shí)別、監(jiān)控駕駛員行為,提高駕駛過(guò)程中的安全性。4)光學(xué)系統(tǒng)業(yè)務(wù)也為公司正在擴(kuò)展的領(lǐng)域,下游主要應(yīng)用于手機(jī)等電子設(shè)備顯示面板。激光剝離可利用激光能量實(shí)

現(xiàn)剝離基板與

OLED器件的分離,是柔性

OLED面板生產(chǎn)中的關(guān)鍵制程之一。激光退火是

OLED和

LCD生產(chǎn)中的

關(guān)鍵制程之一,是顯示屏實(shí)現(xiàn)高清分辨率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。公司產(chǎn)品包括固體激光剝離(LLO)線光斑系統(tǒng)及固體激光

退火(SLA)線光斑系統(tǒng),其中前者已取得國(guó)際主流面板廠商生產(chǎn)線初步市場(chǎng)份額,包括韓國(guó)

LG、京東方、日本夏

普。公司毛利率過(guò)去幾年總體穩(wěn)定,其中激光光學(xué)和半導(dǎo)體激光器兩項(xiàng)業(yè)務(wù)毛利率有所增長(zhǎng)。按業(yè)務(wù)看,1)半導(dǎo)體激光

器的毛利率持續(xù)提升,2021H1

50%。2)激光光學(xué)毛利率

2021H1

62%,居各類業(yè)務(wù)之首,這一方面得益于

公司對(duì)

LIMO的收購(gòu)整合,東莞炬光新增光束準(zhǔn)直轉(zhuǎn)換系列產(chǎn)品的后端生產(chǎn)線;另一方面由于

LIMO自身業(yè)務(wù)水平

提升,生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)效率不斷優(yōu)化,協(xié)同效應(yīng)逐漸顯現(xiàn)。3)汽車應(yīng)用業(yè)務(wù)毛利率近幾年維持

45%以上。4)光學(xué)系統(tǒng)毛

利率與其他三項(xiàng)業(yè)務(wù)相比波動(dòng)大。2017-2019

年公司歸母凈利潤(rùn)較低,2019

年因減值、整合

LIMO等原因虧損,2020

年后隨著前期儲(chǔ)備業(yè)務(wù)的放量、

行業(yè)景氣度的回暖,疊加產(chǎn)能的釋放作用,公司歸母凈利潤(rùn)回歸積極走向,2021Q3

實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)

5690

萬(wàn)元,同

比增長(zhǎng)

122%。公司管理層具有豐富研發(fā)經(jīng)驗(yàn),深度把握產(chǎn)研方向。截至

2012

12

月,公司董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理劉興勝,獲美國(guó)弗吉

尼亞理工大學(xué)電子封裝專業(yè)博士學(xué)位,具有激光行業(yè)著名企業(yè)美國(guó)康寧、相干、恩耐研發(fā)與管理經(jīng)驗(yàn),任中國(guó)科學(xué)

院研究院博士研究生導(dǎo)師,發(fā)表激光行業(yè)相關(guān)學(xué)術(shù)論文

100

余篇,申請(qǐng)專利

100

多項(xiàng),并作

30

多篇國(guó)際受邀報(bào)告,

任中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)理事、中國(guó)激光加工專業(yè)委員會(huì)常務(wù)委員、SPIE和

IEEE技術(shù)委員會(huì)委員,獲首批“全國(guó)創(chuàng)新爭(zhēng)先

獎(jiǎng)”。劉興勝曾帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì)撰寫高功率半導(dǎo)體激光器封裝專著《PackagingofHighPowerSemiconductorLasers》,

并由世界著名出版商

Springer(施普林格)出版發(fā)行。公司首席技術(shù)官石鐘恩博士,具有美國(guó)康寧、貝爾實(shí)驗(yàn)室

30

多年的研發(fā)與管理經(jīng)驗(yàn),發(fā)表學(xué)術(shù)論文

300

余篇,擁有光電子器件和光通信領(lǐng)域

54

項(xiàng)專利。2021H1,公司員工總?cè)藬?shù)為

668

人,其中研發(fā)人員

154

人,占比為

23.05%;研發(fā)人員中,擁有本科及以上學(xué)歷者

132

人,占比

86%,擁有碩士及以上學(xué)歷者共

76

人,占比

49%。截至

2021

6

30

日,公司在中國(guó)境內(nèi)依法

取得專利證書的專利共計(jì)

295

項(xiàng),其中發(fā)明專利

117

項(xiàng)、實(shí)用新型專利

150

項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)專利

28

項(xiàng),在中國(guó)境外

依法取得專利證書的專利共計(jì)

110

項(xiàng)。公司科技成果分別獲得陜西省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)、西安市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng),

2019

年被國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予“國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)”。二、產(chǎn)生光子+調(diào)控光子,產(chǎn)業(yè)鏈布局完善助力均衡增長(zhǎng)1、產(chǎn)生光子:國(guó)產(chǎn)替代+客戶拓展,半導(dǎo)體激光器及元件業(yè)務(wù)穩(wěn)健增長(zhǎng)激光器指可產(chǎn)生激光的自激振蕩器。根據(jù)光的受激輻射原理,若想要發(fā)光,物質(zhì)必須處于粒子數(shù)的反轉(zhuǎn)分布狀態(tài),

即高能級(jí)粒子數(shù)多于低能級(jí)粒子數(shù)(N2>N1),此時(shí)在外來(lái)光子的激發(fā)下,物質(zhì)中的受激輻射大于受激吸收,工作物

質(zhì)的原子發(fā)生能級(jí)躍遷,由基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)。由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定,原子會(huì)自發(fā)回歸基態(tài),并同步發(fā)射光子,此時(shí)

光得到放大。然后類比振蕩器的電路反饋概念,將已放大的光部分反饋,進(jìn)一步放大,產(chǎn)生振蕩,發(fā)出激光束。高功率半導(dǎo)體激光器具有效率、可靠性、成本、尺寸等方面的優(yōu)勢(shì),但由于其產(chǎn)生的光束質(zhì)量較差,目前主要用于

光纖激光器和固體激光器的泵浦源。但通過(guò)微光學(xué)透鏡對(duì)激光整形,滿足應(yīng)用的光斑形狀、功率密度和光強(qiáng)分布后,

可將高功率半導(dǎo)體激光器直接用于無(wú)需高質(zhì)量激光束的場(chǎng)景。激光產(chǎn)業(yè)鏈包括上游元器件和材料、中游激光設(shè)備、下游激光加工服務(wù)。目前激光最大的應(yīng)用市場(chǎng)為材料加工與光

刻,包括焊接、退火、切割等金屬加工場(chǎng)景;光刻、缺陷修復(fù)、鉆孔等半導(dǎo)體和微電子制造場(chǎng)景。之前先進(jìn)封裝技術(shù)一直由國(guó)外公司壟斷。在封裝環(huán)節(jié)會(huì)面臨銦熱疲勞、電熱遷移、形成氧化缺陷、可靠性穩(wěn)定性差

等問(wèn)題,針對(duì)這些問(wèn)題,目前公司經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期努力與投入已成功掌握或開發(fā)共晶鍵合、熱管理、熱應(yīng)力控制、界面材

料與表面工程和測(cè)試分析診斷

5

大核心技術(shù)。全球高功率半導(dǎo)體激光器按照應(yīng)用可分為直接應(yīng)用類器件/系統(tǒng),和作為固體激光器泵浦源以及作為光纖激光器核心

器件。高功率半導(dǎo)體激光器直接應(yīng)用時(shí),因其電光轉(zhuǎn)換效率高、體積小、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),應(yīng)用于醫(yī)療、工業(yè)、國(guó)防、

科研以及激光雷達(dá)等領(lǐng)域;作為固體激光器泵浦源以及光纖激光器核心器件時(shí),則以半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光,泵浦

增益介質(zhì)晶體或光纖產(chǎn)生光,以獲得更好的光束質(zhì)量,應(yīng)用于更廣泛的下游領(lǐng)域。公司產(chǎn)品目前兼顧上述兩種類型需求,客戶中銳科激光、創(chuàng)鑫激光等光纖激光器企業(yè)普遍購(gòu)買預(yù)制金錫材料(如預(yù)

制金錫薄膜陶瓷熱沉)、單(非)球面柱面透鏡(如快軸準(zhǔn)直鏡)等元器件自產(chǎn)通用、比較標(biāo)準(zhǔn)化的半導(dǎo)體激光器作

為光纖激光器泵浦源。中國(guó)科學(xué)院、D公司等固體激光器科研單位或企業(yè)會(huì)購(gòu)買上游企業(yè)專用、高度非標(biāo)準(zhǔn)化的半

導(dǎo)體激光器作為固體激光器泵浦源。A公司、德國(guó)大陸集團(tuán)、以色列飛頓等會(huì)購(gòu)買各類光學(xué)和激光元器件產(chǎn)品用于

光刻、激光雷達(dá)、醫(yī)療健康領(lǐng)域的直接應(yīng)用。激光行業(yè)上游規(guī)模較小,產(chǎn)值在產(chǎn)業(yè)鏈占比約

20%。在半導(dǎo)體激光加工應(yīng)用及中高功率光纖激光器差異化需求推動(dòng)

下,半導(dǎo)體激光器快速發(fā)展。1

萬(wàn)

W以上的高功率直接半導(dǎo)體激光器由于其使用維護(hù)費(fèi)用低、光強(qiáng)分布均勻、電光效率高的特點(diǎn),主要應(yīng)用于熔

覆。激光熔覆即為受損備件修復(fù)或表面改性的過(guò)程,是在

20

世紀(jì)

70

年代隨大功率激光器發(fā)展而興起的技術(shù)。通過(guò)

將涂層材料放置至被涂覆基體表面,經(jīng)激光輻照使之和基體表面薄層同時(shí)熔化,快速凝固后可形成冶金結(jié)合狀表面

涂層,得到新備件。與傳統(tǒng)電鍍方式相比,激光熔覆效率高、無(wú)重金屬、氰化物等污染排放。在激光器降價(jià)趨勢(shì)下,

激光熔覆有望替代傳統(tǒng)電鍍方式,成為廣泛使用的表面改性技術(shù)。公司基于高可靠性無(wú)銦化高功率半導(dǎo)體激光元器件,并通過(guò)結(jié)合激光光學(xué)勻化技術(shù),開發(fā)出

Dlight系列激光熔覆用

工業(yè)應(yīng)用模塊,大幅提高了高端裝備制造業(yè)的工業(yè)化效率和精細(xì)化水平,已與山東能源重型裝備制造集團(tuán)、必盛激

光等行業(yè)知名客戶保持合作。中低功率光纖激光器基本完成進(jìn)口替代,高功率激光器國(guó)產(chǎn)化比例逐年增長(zhǎng)。由于海外激光器企業(yè)起步較早,占據(jù)

技術(shù)優(yōu)勢(shì),以美國(guó)、德國(guó)、法國(guó)為首的國(guó)際巨頭企業(yè)如相干、通快等占據(jù)主要市場(chǎng)份額。比如成立于

1990

年、始終

堅(jiān)持垂直化生產(chǎn)的

IPG,最高曾占據(jù)全球

70%的市場(chǎng)份額,極大壓制了激光器零部件廠商的發(fā)展。隨國(guó)內(nèi)激光器制

造商技術(shù)水平提升,國(guó)產(chǎn)制造商與國(guó)際巨頭正面競(jìng)爭(zhēng),2017-2020

年行業(yè)陷入激烈價(jià)格戰(zhàn),國(guó)際企業(yè)在中國(guó)市場(chǎng)份

額逐年走低,IPG市場(chǎng)份額由

2017

年的

52.7%降至

2020

年的

34.6%。目前,中低功率光纖激光器基本完成國(guó)產(chǎn)化,

高功率激光器仍存降價(jià)空間,國(guó)產(chǎn)化比例穩(wěn)步增長(zhǎng)中。2、調(diào)控光子:收購(gòu)

LIMO向中游延伸,激光光學(xué)元件等業(yè)務(wù)有望提供增量自

2017

年收購(gòu)全球微光學(xué)領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)德國(guó)

LIMO后,公司業(yè)務(wù)覆蓋半導(dǎo)體激光器“產(chǎn)生光子”及激光光學(xué)“調(diào)控光

子”兩大領(lǐng)域。光子調(diào)控方面,公司目前已掌握線光束轉(zhuǎn)換、光場(chǎng)勻化、光斑整形技術(shù)、晶圓級(jí)同步結(jié)構(gòu)化激光光

學(xué)制造

4

項(xiàng)國(guó)際領(lǐng)先核心技術(shù),打破國(guó)際壟斷,是國(guó)內(nèi)第一家擁有相關(guān)先進(jìn)產(chǎn)品的公司,相關(guān)產(chǎn)品除可通用或定制

銷售于國(guó)內(nèi)外客戶之外,還適用于公司半導(dǎo)體激光器、激光光學(xué)產(chǎn)品、光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)品和汽車應(yīng)用產(chǎn)品中。光束轉(zhuǎn)換技術(shù)提高大功率巴條激光器與光纖耦合效率。光束轉(zhuǎn)換技術(shù)是指將半導(dǎo)體激光器快慢軸兩個(gè)方向光束質(zhì)量

極不對(duì)稱的光束轉(zhuǎn)換為兩個(gè)方向具有基本相近光束質(zhì)量的光斑。光束轉(zhuǎn)換器(BTS)可將半導(dǎo)體激光巴條的不對(duì)稱

遠(yuǎn)場(chǎng)分布轉(zhuǎn)換成近乎對(duì)稱的光束參數(shù)產(chǎn)品,此外還可利用額外

HOC產(chǎn)生對(duì)稱焦點(diǎn),通過(guò)抗反射膜降低高功率應(yīng)用中

材料吸收,應(yīng)用于準(zhǔn)直激光的自由光束、提高大功率巴條激光器與光纖耦合效率。光場(chǎng)勻化技術(shù)應(yīng)用于全球高端光刻機(jī)生產(chǎn)商的核心設(shè)備中。通過(guò)獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)級(jí)微透鏡加工,將各類能量非均勻

分布的激光光束轉(zhuǎn)化為各個(gè)方向能量均勻分布的光斑以實(shí)現(xiàn)業(yè)界高標(biāo)準(zhǔn)的光斑勻化。LIMO光場(chǎng)勻化器可生成多種平

頂、矩形、方形和線形勻場(chǎng)光束,均勻性達(dá)到技術(shù)極限(99%),高達(dá)

90%的光學(xué)效率有助于降低高昂的激光能量

成本,其尺寸在

12mm-35mm內(nèi)可調(diào),具有高

NA、高填充因子和極化保持性能特點(diǎn),目前已為世界頂級(jí)企業(yè)的半

導(dǎo)體光刻設(shè)備提供激光勻化系統(tǒng)。

線光斑整形技術(shù)助力工業(yè)加工及其他應(yīng)用,使用效率大幅提升。線光斑整形技術(shù)是指將點(diǎn)狀激光光斑整形成為具有高

長(zhǎng)寬比、高能量均勻性、微米級(jí)線寬的光學(xué)整形技術(shù)。公司的線光斑整形技術(shù)可以做到將一束或多束(上至

12

束)對(duì)稱

光(如高斯)整形和轉(zhuǎn)化為超均勻高能量密度線光斑。當(dāng)前,公司

750

毫米線光斑系統(tǒng),均勻度可達(dá)

97%以上,已批量

使用在業(yè)界領(lǐng)先的柔性

OLED產(chǎn)線上。晶圓級(jí)同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)實(shí)現(xiàn)零維、一維、二維三個(gè)維度上對(duì)多種類型激光光束的精準(zhǔn)整形和調(diào)控?;?/p>

于公司晶圓級(jí)同步結(jié)構(gòu)化激光光學(xué)制造技術(shù)可生產(chǎn)尺寸達(dá)

300

x300

mm2

的拋光晶圓,實(shí)現(xiàn)只需一個(gè)工藝步驟即可

將高品質(zhì)玻璃或水晶制成上萬(wàn)枚高品質(zhì)透鏡。此項(xiàng)制造技術(shù)亦可用于制備納米級(jí)精度折射型微透鏡陣列(ROE),該

ROE中每一個(gè)單透鏡的表面形狀都可做定制化設(shè)計(jì)來(lái)達(dá)到優(yōu)化的光強(qiáng)分布。公司高精度激光光學(xué)制造工藝可確保大

批量生產(chǎn)的高一致性。結(jié)合不同玻璃材料的特點(diǎn)以及

ISO9001

認(rèn)證的鍍膜技術(shù),可以提供多種多樣的微光學(xué)解決方

案。3、新市場(chǎng)取得一定突破,多項(xiàng)產(chǎn)品帶來(lái)新增長(zhǎng)點(diǎn)公司預(yù)制金錫材料實(shí)現(xiàn)激光器關(guān)鍵原材料國(guó)產(chǎn)替代。預(yù)制金錫材料是光纖激光器的核心元器件,公司突破了金錫薄

膜制備關(guān)鍵技術(shù),解決了激光二極管芯片鍵合工藝中導(dǎo)電導(dǎo)熱性能優(yōu)化和熱應(yīng)力控制問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)了光纖及高功率半

導(dǎo)體激光器關(guān)鍵原材料國(guó)產(chǎn)替代。2020

年,公司預(yù)制金錫薄膜陶瓷熱沉產(chǎn)品開始獲創(chuàng)鑫激光、美國(guó)

LDXOptronicsInc.等國(guó)內(nèi)外光纖激光器廠商批量訂單,大量出貨,實(shí)現(xiàn)收入

131.8

萬(wàn)元,為公司開辟的新的收入增長(zhǎng)點(diǎn)。光場(chǎng)勻化器是光刻機(jī)核心元器件。光場(chǎng)勻化器是將光強(qiáng)分布不夠均勻、不能滿足特定應(yīng)用需求的入射光通過(guò)光束整

形變換為光強(qiáng)分布均勻性提高、能夠滿足應(yīng)用需求的光學(xué)元器件。光場(chǎng)勻化器是多項(xiàng)光學(xué)高端設(shè)備如光刻機(jī)的重要

核心元器件,主要解決激光光場(chǎng)不均勻的問(wèn)題。激光光場(chǎng)強(qiáng)度不均勻會(huì)造成在半導(dǎo)體晶圓表面曝光不均,影響晶圓

加工的成品率。通過(guò)光場(chǎng)勻化器對(duì)激光光斑進(jìn)行勻化,可實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓表面均勻曝光,提升良率。公司光場(chǎng)勻化器為

ASML核心供應(yīng)商

A公司供貨。光刻機(jī)是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的核心設(shè)備,也是我國(guó)在半導(dǎo)

體集成電路芯片制造設(shè)備領(lǐng)域的主要瓶頸之一。公司為半導(dǎo)體光刻應(yīng)用領(lǐng)域提供光刻機(jī)曝光系統(tǒng)中的核心激光光學(xué)

元器件光場(chǎng)勻化器,除為多家行業(yè)知名半導(dǎo)體集成電路設(shè)備科研和生產(chǎn)機(jī)構(gòu)提供相關(guān)產(chǎn)品外,還是是荷蘭

ASML光

學(xué)設(shè)備核心供應(yīng)商

A公司的重要供應(yīng)商。2018-2021H1,公司向

A公司提供應(yīng)用于光刻產(chǎn)品的光場(chǎng)勻化器銷售額分

別為

1182/1795/1609/619

萬(wàn)元,除

2020

年外,平均毛利率均在

60%以上,在該市場(chǎng)的突破為公司帶來(lái)了新的業(yè)務(wù)

增長(zhǎng)點(diǎn)。隨著全球光刻機(jī)需求的持續(xù)增長(zhǎng),公司光場(chǎng)勻化器有望受益同步增長(zhǎng)。公司光場(chǎng)勻化器技術(shù)領(lǐng)先。公司產(chǎn)品為整片透鏡,單面或雙面柱面陣列結(jié)構(gòu),

外形尺寸通常由定制化程度決定,具

有優(yōu)秀的技術(shù)特性。公司微透鏡陣列由于加工精度高,表面粗糙度在納米級(jí)別。光場(chǎng)勻化器主要技術(shù)指標(biāo)為均勻度,

表明了光場(chǎng)勻化器的勻化效果,不均勻度值越小對(duì)技術(shù)和工藝的要求越高,公司對(duì)光斑的光場(chǎng)勻化器產(chǎn)品不均勻度

最高僅為

1%,指標(biāo)優(yōu)于

SuessMicroTec、Jenoptik等可比公司。激光退火逐步替代傳統(tǒng)爐管退火技術(shù)。激光退火是利用激光對(duì)材料進(jìn)行熱處理進(jìn)而改變材料性能的激光加工方法,

為顯示面板制造、半導(dǎo)體晶圓制造等領(lǐng)域核心技術(shù),技術(shù)路線包括相干公司全球優(yōu)勢(shì)的準(zhǔn)分子激光退火(ELA)和

公司正在研發(fā)的固體激光退火(SLA)技術(shù)。其以較低的熱預(yù)算,可以在瞬間達(dá)到較高的退火溫度,工藝過(guò)程高度可控,

制程可重復(fù)性好,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)界。近

20-30

年來(lái),隨著超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)新型薄膜晶體管顯

示技術(shù)和大面積

OLED顯示技術(shù)的日益成熟和規(guī)?;?,激光退火技術(shù)逐漸取代傳統(tǒng)爐管退火技術(shù),成為半導(dǎo)體制造

領(lǐng)域的主流技術(shù)。三、激光雷達(dá)行業(yè)大幕開啟,切入發(fā)射模組及元件長(zhǎng)線可期自動(dòng)駕駛技術(shù)的實(shí)現(xiàn)主要通過(guò)感知、決策、執(zhí)行三個(gè)步驟,其中感知步驟即為通過(guò)使用多種傳感器來(lái)搜集外界環(huán)境

變化情況。所以傳感器是自動(dòng)駕駛技術(shù)實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵部件之一。在

L0-L2

階段,感知能力的提升是自動(dòng)駕駛技術(shù)的重

要關(guān)注點(diǎn)。主流感知方案主要有兩種,攝像頭等視覺(jué)傳感器、雷達(dá)。純攝像頭方案的瓶頸在于需要海量場(chǎng)景數(shù)據(jù)、

感知精度高度依賴視覺(jué)識(shí)別算法,目前只有少量車企(比如特斯拉)采用此方案。主流選擇為以激光雷達(dá)為主的多

傳感器融合方案。隨自動(dòng)駕駛等級(jí)提升,單車所需激光雷達(dá)數(shù)量同步攀升。LiDAR,是以激光為信息載體,通過(guò)檢測(cè)與目標(biāo)發(fā)生相互作用后的激光反射回波信息,來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)一定距離內(nèi)目標(biāo)特

征信息的探測(cè)、識(shí)別或跟蹤的雷達(dá)系統(tǒng)。激光雷達(dá)是無(wú)人駕駛汽車技術(shù)的重要傳感器件,在絕大多數(shù)無(wú)人駕駛技術(shù)

路線中均有所采用。激光雷達(dá)光電系統(tǒng)包含三大模塊,分別為激光光束發(fā)射、激光光束操縱、激光光束接收。其中

發(fā)射模組由激光光源和光學(xué)整形元器件組成,光源包含激光雷達(dá)面光源和線光源。收、發(fā)模組成本占據(jù)激光雷達(dá)成

本的

63%,成本占比較高。車規(guī)級(jí)激光雷達(dá)市場(chǎng)空間廣闊,2026

年預(yù)計(jì)規(guī)模達(dá)

57

億美元。激光雷達(dá)有機(jī)械式、掃描式、固態(tài)式幾種技術(shù)路線。機(jī)械式激光雷達(dá)技術(shù)成熟度高,但具有高成本、使用壽命短的

缺點(diǎn)。目前主流車企宣布的

L3

量產(chǎn)車項(xiàng)目大多選用固態(tài)或混合固態(tài)激光雷達(dá)方案。固態(tài)激光雷達(dá)可以避免旋轉(zhuǎn)帶來(lái)

的不穩(wěn)定性,激光雷達(dá)固態(tài)化已成為業(yè)內(nèi)趨勢(shì)之一,預(yù)計(jì)

2025

年將迎來(lái)快速起量。汽車激光雷達(dá)具有高技術(shù)壁壘。車規(guī)級(jí)激光雷達(dá)認(rèn)證難度高于消費(fèi)級(jí),要實(shí)現(xiàn)前裝的產(chǎn)品需要通過(guò)

DV(設(shè)計(jì)驗(yàn)證)、

PV(生產(chǎn)驗(yàn)證)、EMC(電磁兼容性)等標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并進(jìn)行撤柜振動(dòng)、沖擊等測(cè)試檢驗(yàn)。目前僅有

4

款激光雷達(dá)通

過(guò)車規(guī)級(jí)認(rèn)證,其中法雷奧

Scala2、華為

HI方案激光雷達(dá)、鐳神智能

CH32

均采用了轉(zhuǎn)鏡方案,大疆

Livox則為棱

鏡方案。目前我國(guó)激光雷達(dá)與海外并駕齊驅(qū)發(fā)展,預(yù)計(jì)未來(lái)市場(chǎng)份額將集中于具備技術(shù)優(yōu)勢(shì)、掌握行業(yè)大客戶的企業(yè)。該行

業(yè)市場(chǎng)參與者眾多,從傳統(tǒng)汽車零配件供應(yīng)商到高科技初創(chuàng)公司均有涉足。2018

年前后,機(jī)械式激光雷達(dá)廠商

Velodyne在無(wú)人駕駛激光雷達(dá)領(lǐng)域占據(jù)近

80%市場(chǎng)份額,之后禾賽科技、速騰聚創(chuàng)等企業(yè)逐漸實(shí)現(xiàn)份額替代。搭載激光雷達(dá)車型快速增長(zhǎng),成本下探加速量產(chǎn)落地。從

2017

年到

2022

年,宣布上市的車型中,搭載激光雷達(dá)的

車型數(shù)量快速增長(zhǎng)。2017

年僅奧迪旗下一款車型搭載激光雷達(dá),2021

年達(dá)到

10

個(gè),2022

年則進(jìn)一步提升至

13

個(gè)

車型。激光雷達(dá)價(jià)格降幅明顯,2014

Velodyne的產(chǎn)品處于

7

萬(wàn)美元級(jí)別,到

2020

年主流廠商價(jià)格已低至

1

美元,甚至大疆的

Horizon僅

800

美元。四、募投項(xiàng)目:擴(kuò)產(chǎn)微光學(xué)及應(yīng)用、激光雷達(dá)發(fā)射模組等公司本次公開發(fā)行普通股(A股)2249

萬(wàn)股,占公司發(fā)行后總股本比例

25.00%,募集

17.69

億元資金,部分用于

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