儀器使用者手冊(cè)98年04月10日製作目錄相關(guān)網(wǎng)址-------------------------------------P.3相關(guān)事項(xiàng)聯(lián)絡(luò)人-------------------------------P.3新手上路-------------------------------------P.5線上開課注意事項(xiàng)-----------------------------P.5收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)-------------------------------------P.6付款方式-------------------------------------P.7對(duì)外開放服務(wù)時(shí)間預(yù)約時(shí)段---------------------P.7無(wú)塵室一般守則-------------------------------P.8相關(guān)網(wǎng)址實(shí)驗(yàn)室網(wǎng)址：.tw/Physics/ncf/線上註冊(cè)網(wǎng)址：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=6儀器預(yù)約及課程報(bào)名系統(tǒng)：39:81/nano/ncf/facilities.asp?TP=4工安及自行操作訓(xùn)練認(rèn)證通過名單查詢：.tw/Physics/ncf/order.php?TP=6最新消息及儀器運(yùn)轉(zhuǎn)狀況公告：39:81/nano/ncf/ncfindex.asp實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人員聯(lián)絡(luò)一覽表中山大學(xué)總機(jī)：(07)525-2000服務(wù)專線：(07)525-3708姓名主要負(fù)責(zé)項(xiàng)目分機(jī)e-mial陳惠華預(yù)約系統(tǒng)及網(wǎng)站管理/帳號(hào)、識(shí)別證、磁卡申請(qǐng)審核/開課管理、FIB、工安課程收費(fèi)/儀器使用費(fèi)月結(jié)通知及收費(fèi)、實(shí)驗(yàn)室參觀申請(qǐng)安排3702lychen@.tw陳彥文FIB機(jī)臺(tái)委託操作、維護(hù)、使用時(shí)數(shù)登錄及教育訓(xùn)練、耗材購(gòu)買、現(xiàn)場(chǎng)參觀解說(shuō)3746ahbay@.tw陳韋銘無(wú)塵室磁卡開通及門禁管理、假日及夜間進(jìn)入申請(qǐng)審核、工安訓(xùn)練、廠務(wù)機(jī)臺(tái)維護(hù)管理、現(xiàn)場(chǎng)參觀紀(jì)錄3748cum@.tw賴新枝無(wú)塵室自行操作認(rèn)證通過機(jī)臺(tái)開通、上課通知及收費(fèi)、儀器使用時(shí)數(shù)記錄登錄及現(xiàn)金收費(fèi)、臨時(shí)證申請(qǐng)、現(xiàn)場(chǎng)參觀解說(shuō)、耗材購(gòu)買、機(jī)臺(tái)維護(hù)處理3746vickylai@.tw機(jī)臺(tái)負(fù)責(zé)人員聯(lián)絡(luò)一覽表中山大學(xué)總機(jī)：(07)5252000機(jī)臺(tái)簡(jiǎn)稱姓名分機(jī)連絡(luò)手機(jī)e-mialCVD楊伯鈞37080955131359blades-y@.tw戴志豪37080958720271m953050006@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twICP張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@Sputter曹書瑋37080939890087d943050011@.tw陳敏甄37080933685522sogaha@.twE-beam郭原瑞37080927106596d943050018@.tw林佳盛37080988321611uk0601@楊伯鈞37080955131359blades-y@.twRTA黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@WetBench張冠張37080922146578doubleccc@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twMask-Aligner曹耀中37220919682808eddy0715@葉向榮37220932562091S919094@林政邦37220928772266chengpanglin@.twLaserAnnealing楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.tw黃伽佳37220937399366ada1112@LaserAblation黃伽佳37220937399366ada1112@楊恭尚37220937404992m972030020@.tw黃文宏37220933073619m972030031@.twFIB陳彥文37460958537538ahbay@.tw4pointprobe黃正杰37080921641037m952030007@.tw徐詠恩37080960161600syu.yong.en@N&K戴志豪37080958720271m953050006@.tw黃正杰37080921641037m952030007@.twAlpha-Step徐詠恩37080960161600syu.yong.en@黃正杰37080921641037m952030007@.tw新手上路本共同實(shí)驗(yàn)室儀器已全面開放使用，校內(nèi)與校外一般人士均可申請(qǐng)使用。

新申請(qǐng)者請(qǐng)先至《線上註冊(cè)》建立新帳號(hào)，輸入基本資料，以方便建檔之用。在您建立新帳號(hào)之後，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)寄發(fā)審核確認(rèn)信到您的E-mail，因此請(qǐng)確實(shí)填寫有效的E-mail。完成線上註冊(cè)，委託操作者與儀器負(fù)責(zé)人員聯(lián)絡(luò)後可逕行上網(wǎng)預(yù)約儀器(FIB首次委託須列印委託操作申請(qǐng)表)。自行操作者請(qǐng)至本單位網(wǎng)站線上報(bào)名參加各項(xiàng)《工安及儀器訓(xùn)練》與《儀器檢定》，並列印申請(qǐng)表單

(1)FIB須列印自行操作訓(xùn)練申請(qǐng)表

(2)無(wú)塵室機(jī)臺(tái)須列印(a.使用者基本資料表b.實(shí)驗(yàn)室使用者安全承諾切結(jié)書及健康告知)，資料準(zhǔn)備齊全(如下所列)後，請(qǐng)至物理系D4009室物理系辦繳交資料及報(bào)名費(fèi)。識(shí)別證及磁卡申辦請(qǐng)於儀器認(rèn)證通過主動(dòng)告知助理辦理，請(qǐng)務(wù)必配合及遵守本無(wú)塵室一切規(guī)定(附件一)，如有任何問題，請(qǐng)電(07)525-2000#3702#3746(07)525-3708，或E-mail:lychen@.tw謝謝。

a.「使用者基本資料表」

b.「實(shí)驗(yàn)室使用者安全承諾切結(jié)書及健康告知」

c.學(xué)生證或身分證影本乙份

d.學(xué)?；蛞话惚ｋU(xiǎn)或勞保證明影本乙份

e.識(shí)別證申請(qǐng)須附相片2吋2張

f.磁卡申請(qǐng)須支付押金300元(已有物理館磁卡者不須再支付)若要取消預(yù)約，請(qǐng)於2天前設(shè)定，違者使用費(fèi)照預(yù)約時(shí)間全額收費(fèi)(FIB半價(jià))。自行操作儀器滿15小時(shí)且領(lǐng)卡滿30日才可預(yù)約非上班日時(shí)段(FIB不在此限)工安與機(jī)臺(tái)訓(xùn)練考核通過者若連續(xù)3個(gè)月無(wú)自行操作紀(jì)錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請(qǐng)、訓(xùn)練、考核，費(fèi)用以半價(jià)計(jì)。實(shí)際使用時(shí)數(shù)未達(dá)預(yù)約時(shí)數(shù)，而兩者間時(shí)數(shù)相差超過1小時(shí)，其餘時(shí)間以單價(jià)之50%計(jì)算。線上開課注意事項(xiàng)請(qǐng)先上網(wǎng)註冊(cè)取得帳號(hào)、密碼始能預(yù)約工安及各課程。每一課程開課前二天下午12:00時(shí)為報(bào)名截止時(shí)間，該課程之線上報(bào)名及取消系統(tǒng)將自動(dòng)關(guān)閉，若有疑問請(qǐng)洽本單位助理賴小姐:(07)525-2000#3746。本單位每月二十日將公佈下月課表，請(qǐng)密切注意本網(wǎng)站儀器預(yù)約及課程報(bào)名系統(tǒng)資訊。上課前請(qǐng)先至奈米中心櫃檯賴小姐處繳費(fèi)，並領(lǐng)取收據(jù)。若臨時(shí)有事請(qǐng)於二天前上網(wǎng)取消課程報(bào)名。若您有報(bào)名本實(shí)驗(yàn)室課程、檢定或儀器訓(xùn)練課程，而未至本實(shí)驗(yàn)室上課，本單位將不予以退費(fèi)。通過認(rèn)證人員名單將公佈於網(wǎng)頁(yè)上，請(qǐng)上網(wǎng)查詢。收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

製程機(jī)臺(tái)優(yōu)惠25折(最低收費(fèi)375元/時(shí))，訓(xùn)練認(rèn)證費(fèi)5折，F(xiàn)IB機(jī)臺(tái)4hr送1hr，

工安訓(xùn)練認(rèn)證：600元(3.5hr含WetBench訓(xùn)練認(rèn)證)。

機(jī)臺(tái)名稱自行操作收費(fèi)

(元/hr)委託操作收費(fèi)(元/hr)包含上課+儀器工程師，(需另外練習(xí)操作，依委託操作費(fèi)率計(jì))陪同練習(xí)校內(nèi)外校/研究單位營(yíng)利單位訓(xùn)練/認(rèn)證(時(shí)數(shù))訓(xùn)練費(fèi)認(rèn)證費(fèi)高密度電漿化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(HDP-CVD)

HighDensityPlasmaChemicalVaporDeposition1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200感應(yīng)耦合式電漿蝕刻系統(tǒng)(ICP-Etcher)

InductiveCouplePlasmaEtcher1,5001,8002,4002,7003/0.53,0001,200多靶磁控濺鍍系統(tǒng)(Sputter)

Multi-TargetSputter1,0001,2001,5001,8002/0.52,000750雙電子束蒸鍍系統(tǒng)(E-Beam)

DualE-BeamEvaporator1,0001,2001,5001,8003/0.52,000750雷射退火系統(tǒng)

LaserAnnealingsystem1,0001,3001,5002,0003/12,0001,500雷射濺鍍系統(tǒng)

LaserAblationsystem1,5002,0002,2003,0003/0.752,0001,650快速退火系統(tǒng)(RTA)

RapidThermalAnnealingSystem5006007509001/0.5500500光罩對(duì)準(zhǔn)機(jī)(MaskAligner)

MaskAlignerandExposureSystem5008001,0001,5003/0.5500500薄膜特性分析儀(N&K)

N&Kanalyzer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600三維輪廓儀(Alpha-Step)

3DAlpha-StepProfilometer200/15min250/15min300/15min400/15min1/0.5500600四點(diǎn)探針(4PointProbe)

4PointProbe0不受理不受理不受理1/0.25500500聚焦離子束(FIB)

FocusedIonBeam2,2503,0003,000/5,0007,00036/47,0003,000繳款方式：月結(jié)

校內(nèi)：1.現(xiàn)金2.計(jì)畫轉(zhuǎn)帳

校外：1.現(xiàn)金2.電匯3.開票

研究單位及營(yíng)利事業(yè)單位請(qǐng)當(dāng)日繳交現(xiàn)金或即期支票

繳款帳戶：戶名：國(guó)立中山大學(xué)校務(wù)基金401專戶

帳號(hào)：011036032059(臺(tái)灣銀行高雄分行)

備註欄請(qǐng)?jiān)]明「奈米核心設(shè)施分機(jī)3702」

支票抬頭：國(guó)立中山大學(xué)(即期支票)對(duì)外開放服務(wù)時(shí)間預(yù)約時(shí)段：委託操作開放時(shí)間為非假日白天時(shí)段:09:00~17:00。自行操作儀器滿15小時(shí)且領(lǐng)卡滿30日才可預(yù)約非上班日時(shí)段(FIB不在此限)

附註：若內(nèi)部維護(hù)或技術(shù)發(fā)展與訓(xùn)練則不接受預(yù)約。時(shí)間星期一星期二星期三星期四星期五星期六星期日09:00-12:00自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作

自行操作12:00-17:00

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作/

委託服務(wù)

自行操作

自行操作17:00-09:00

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作

自行操作附件一國(guó)科會(huì)高屏地區(qū)奈米核心設(shè)施共同實(shí)驗(yàn)室一般守則中華民國(guó)95中華民國(guó)96年一、人員進(jìn)入潔淨(jìng)室資格二、進(jìn)入潔淨(jìng)室前之注意事項(xiàng)三、進(jìn)入潔淨(jìng)室之程序四、潔淨(jìng)室危害預(yù)防五、離開潔淨(jìng)室之程序六、其他相關(guān)規(guī)定一、人員進(jìn)入潔淨(jìng)室資格：(一)、申請(qǐng)人需具備以下資格，且經(jīng)核心設(shè)施設(shè)備使用資格審核查檢核可及安全衛(wèi)生教育訓(xùn)練合格、並附上投保證明單，始得進(jìn)入潔淨(jìng)室：1：奈米核心設(shè)施相關(guān)指導(dǎo)教授及研究助理。2：奈米核心設(shè)施技術(shù)人員及工作人員。3：領(lǐng)有識(shí)別證的學(xué)生及其他研究單位之研究人員、工作人員。(二)、未經(jīng)認(rèn)可、但需進(jìn)入潔淨(jìng)室者(如廠商、儀器工程師…等)，應(yīng)先於研究助理處取得臨時(shí)證，配掛於胸前；並有合格人員陪同在場(chǎng)(一名具識(shí)別證人員至多伴隨兩名臨時(shí)證人員，並需負(fù)責(zé)其安全及行為)，於本潔淨(jìng)室上班時(shí)間內(nèi)始得進(jìn)出。(三)、嚴(yán)禁將潔淨(jìng)室磁卡轉(zhuǎn)借他人、或夾帶未經(jīng)核準(zhǔn)的人員進(jìn)入潔淨(jìng)室。二、進(jìn)入潔淨(jìng)室前之注意事項(xiàng)：(一)、人員方面：1：進(jìn)行實(shí)驗(yàn)前，需熟讀所使用化學(xué)品之MSDS(物質(zhì)安全資料表)，了解其危害、及應(yīng)變處理方法…等相關(guān)內(nèi)容，以人員安全為最高原則。2：學(xué)生出入本實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行各項(xiàng)作業(yè)，均須登記起訖時(shí)間及使用機(jī)臺(tái)。(二)、行為方面：1：在實(shí)驗(yàn)室工作時(shí)，必須確切的了解每一個(gè)動(dòng)作可能發(fā)生的危險(xiǎn)，及應(yīng)採(cǎi)取之安全防護(hù)工作。2：潔淨(jìng)室內(nèi)外均為禁煙區(qū)，吸煙者須於抽後30分鐘後，並漱口方可進(jìn)入潔淨(jìng)室。3：進(jìn)入潔淨(jìng)室應(yīng)保持身體潔淨(jìng)，頭髮應(yīng)常梳洗，長(zhǎng)髮請(qǐng)綁好、並無(wú)掉落之虞，並禁止使用香水及化粧品。4：嚴(yán)禁劇烈運(yùn)動(dòng)後，立刻進(jìn)入潔淨(jìng)室，需待呼吸平穩(wěn)、及不再流汗後，方得進(jìn)入潔淨(jìng)室。5：在潔淨(jìng)室內(nèi)不得飲食、嘻鬧、閒逛、奔跑、團(tuán)聚聊天，並不得使用銼鋸、砂紙及修正液…等工具，或從事其他與實(shí)驗(yàn)無(wú)關(guān)事項(xiàng)。6：實(shí)驗(yàn)室內(nèi)不得穿著短褲、裙子及拖鞋，並應(yīng)穿著乾淨(jìng)襪子後著無(wú)塵鞋。7：勿在潔淨(jìng)室內(nèi)踏步來(lái)回走動(dòng)，非必要勿停留在潔淨(jìng)室內(nèi)，並隨時(shí)保持潔淨(jìng)室之整潔。8：請(qǐng)勿擅自切換各項(xiàng)開關(guān)，以免影響其他用電。9：嚴(yán)禁各種會(huì)影響潔淨(jìng)室潔淨(jìng)度之動(dòng)作及行為。(三)、物品方面：1：不可攜入潔淨(jìng)室的物品：手提袋、書籍、報(bào)紙、紙類製品(除實(shí)驗(yàn)記錄本外)、食物、飲料、口香糖、各類罐頭瓶子、有煙物質(zhì)、打火機(jī)、收音機(jī)、CD音響、隨身聽、行動(dòng)電話、呼叫器、鉛筆、橡皮擦、皮包、錢包…等，和其他類似物品。2：個(gè)人物品請(qǐng)放置於室外置物櫃、鞋櫃中，請(qǐng)勿放貴重物品，本中心不負(fù)保管責(zé)任；並於每週進(jìn)行置物櫃、鞋櫃清理，實(shí)驗(yàn)完畢離開前請(qǐng)帶走個(gè)人物品。3：非經(jīng)奈米核心設(shè)施助理同意，不得將私人物品及非潔淨(jìng)室所使用的工具攜入潔淨(jìng)室，若有特殊需求，如施工器具、機(jī)臺(tái)、設(shè)備零件…等較大型物品，各項(xiàng)化學(xué)品或必須進(jìn)入潔淨(jìng)室之物品，請(qǐng)?zhí)顚懳锲窋y入潔淨(jìng)室申請(qǐng)單及切結(jié)書，待核準(zhǔn)、並先進(jìn)行清潔除塵後，方可搬運(yùn)；維修用的手冊(cè)及工具，在使用完畢後應(yīng)立即收拾歸位。4：攜帶化學(xué)品至潔淨(jìng)室內(nèi)使用儲(chǔ)存時(shí)，化學(xué)品外觀需有中文標(biāo)示，並至奈米核心設(shè)施助理處登記，領(lǐng)取化學(xué)品儲(chǔ)存標(biāo)籤，張貼於化學(xué)品容器上；並存放於指定位置，嚴(yán)禁隨處放置。三、進(jìn)入潔淨(jìng)室之程序：(一)、踏入實(shí)驗(yàn)室前，先脫掉外鞋置於室外鞋櫃。每個(gè)人均須刷卡進(jìn)入，以維護(hù)個(gè)人權(quán)利與義務(wù)。(二)、進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室，於準(zhǔn)備室登記個(gè)人資料及使用機(jī)臺(tái)，依序穿戴無(wú)塵衣帽。1：無(wú)塵衣穿著順序：(1)髮套，(2)口罩，(3)無(wú)塵帽，(4)無(wú)塵衣，(5)無(wú)塵鞋，(6)手套。2：頭髮必須能蓋在無(wú)塵帽之內(nèi)，必要時(shí)使用髮套。3：口鼻必須蓋在口罩之內(nèi)；口罩手套不可重覆使用。4：無(wú)塵帽下擺須完全紮入無(wú)塵衣之衣領(lǐng)內(nèi)。5：穿上無(wú)塵衣時(shí)，識(shí)別證必須掛在無(wú)塵衣外；不可將衣袖捲起。6：穿戴手套前須先充氣測(cè)試，確定無(wú)漏方可使用。7：手套穿戴後，手腕部份應(yīng)藏於無(wú)塵衣袖內(nèi)，使用後即應(yīng)丟棄，不可重覆使用。(三)、依規(guī)定進(jìn)入空氣洗淨(jìng)室做空氣?。?：進(jìn)入潔淨(jìng)室之前，必須先經(jīng)過空氣洗淨(jìng)室吹洗。2：空氣洗淨(jìng)室內(nèi)，不可超過2人同時(shí)進(jìn)入。3：為避免影響空氣正常循環(huán)及除塵效果，人員不可倚靠在空氣洗淨(jìng)室的門或牆上。4：人員必須站於空氣洗淨(jìng)室中央，輕微搖動(dòng)雙手、雙腿以幫忙灰塵掉落。5：風(fēng)嘴方向正常應(yīng)為向下吹氣，勿隨意撥弄風(fēng)嘴方向。四、潔淨(jìng)室危害預(yù)防：(一)、化學(xué)品對(duì)人體的危害：1：在實(shí)驗(yàn)室中，嚴(yán)禁抓頭、抹臉或搓手，手套若有破損應(yīng)即換新。2：使用配置各類液體時(shí)，需配戴安全眼鏡，並請(qǐng)於抽氣櫃中進(jìn)行，儘量減少人員吸入揮發(fā)性液體。3：遭化學(xué)品噴濺時(shí)，應(yīng)依各化學(xué)品特性，進(jìn)行大量沖水、清洗…等適當(dāng)急救。(二)、預(yù)防汙染樣品：1：嚴(yán)禁在設(shè)備上書寫及刻劃。2：在潔淨(jìng)室中使用專用紙筆。3：勿用手觸及晶片，勿對(duì)晶片呼氣、咳嗽及說(shuō)話。4：使用氮?dú)鈽寱r(shí)，必須低於工作桌之桌面，以免灰塵汙染晶片。5：勿觸動(dòng)別人的儀器、樣品，勿任意扳動(dòng)任何開關(guān)。(三)、其他：1：避免在儀器上使用膠帶黏貼紙張。2：為避免危險(xiǎn)，有機(jī)溶劑不得與一般酸鹼或強(qiáng)氧化劑一同放置儲(chǔ)存。3：實(shí)驗(yàn)上有特殊要求，須