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防靜電知識(shí)培訓(xùn)一、什么是靜電二、靜電常識(shí)三、靜電的產(chǎn)生四、靜電的破壞五、靜電的模型六、防靜電材料根本知識(shí)七、靜電防護(hù)八、靜電去除九、如何防靜電什么是靜電靜電荷的根本單位:庫(kù)倫Coulomb(C)靜電:靜止的電荷,能夠長(zhǎng)時(shí)間停留在某些物料上。靜電放電:當(dāng)兩個(gè)帶不同靜電電位的物件相互接近到某程度或接觸時(shí),靜電從一個(gè)物件突然流放到另一物件上的現(xiàn)象。英文簡(jiǎn)稱ESD.靜電舉例冬天時(shí)脫衣服產(chǎn)生的靜電〔光、聲、電擊感并存〕、顯示器或電視屏幕皮膚毛明顯感覺(jué)、雷電閃擊等靜電常識(shí)靜電人體感知1人體帶電電位和感應(yīng)程度的關(guān)系人體帶電電位〔V〕0-20002000-40004000-50005000以上
感應(yīng)程度無(wú)任何感覺(jué)感覺(jué)到聽(tīng)到見(jiàn)到靜電常識(shí)電荷量與人體感覺(jué)人體可以感覺(jué)300nC的放電很敏感的器件的危險(xiǎn)水平0.1nC的放電多數(shù)敏感器件的危險(xiǎn)水平
幾十
nC的放電
靜電人體感知2人體對(duì)靜電的感覺(jué):人體在瞬間電壓超過(guò)3500V時(shí),會(huì)有電擊的感覺(jué),大于5000V,那么可以聽(tīng)到啪啪的聲音,當(dāng)?shù)竭_(dá)8000V時(shí),便可以看到電火花了.一般小于3000V,人體是無(wú)法感知的.但是對(duì)于電子元器件,當(dāng)超過(guò)100V的電壓時(shí),它們就大有感覺(jué)了!感覺(jué)到:>2000~4000volts聽(tīng)到:>4000~5000volts見(jiàn)到:>5000volts和電子器件相比之下,我們敏感性極差…<100votls的靜電放電就足以損壞某些電子器件!電容效應(yīng)只增加靜電破壞的風(fēng)險(xiǎn)程度,并沒(méi)有改變電荷量!靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生1.接觸別離〔最常見(jiàn)的‘摩擦’〕2.電感應(yīng)3.電容效應(yīng)靜電的產(chǎn)生++++————絕緣體1絕緣體2++++————帶電絕緣體1帶電絕緣體2絕緣體1絕緣體2未摩擦前摩擦生電分離1.摩擦起電過(guò)程靜電的產(chǎn)生2.感應(yīng)生電+++++++++帶電體不帶電金屬體++++++++++++++++++--------++++++++++++++++--------+++++++++-------------金屬導(dǎo)體電感效應(yīng)靜電的產(chǎn)生3.電容效應(yīng)10votls1,000volts!!!d靜電的產(chǎn)生影響靜電上下因素1.在眾多因素當(dāng)中,濕度對(duì)靜電電壓影響是最大,因?yàn)槠涓淖兾矬w外表電阻率,材料電阻率越小那么靜電荷外表擴(kuò)散能力越大,最終導(dǎo)致靜電電壓越低2.材料本身特性,即材料外表電阻率,電阻率越小導(dǎo)電性越強(qiáng)3.物體間的摩擦或撕裂等運(yùn)動(dòng)動(dòng)作,其靜電電壓大小決定于動(dòng)作幅度的大小靜電破壞損壞表現(xiàn):嚴(yán)重?fù)p壞、局部損壞、潛在損壞、暫時(shí)失效損壞類(lèi)型:電壓敏感型、能量敏感型ESD破壞靜電破壞絕大多數(shù)器件損壞為能量敏感型損壞ESD那么可能具巨大破壞性!靜電破壞靜電是否有危害?電荷如果保持在“靜止〞狀態(tài)下是平安的!能量型破壞,導(dǎo)致芯片內(nèi)部金屬熔化靜電破壞靜電破壞圖例靜電破壞前靜電破壞后靜電破壞靜電破壞據(jù)研究機(jī)構(gòu)的研究說(shuō)明:在所有的電子元器件故障中,有60%是由靜電原因引起的.(參照右圖).在實(shí)際生產(chǎn)線上,也經(jīng)常有IC燒壞等不良,原因較難分析.因此我們應(yīng)該做好靜電的防護(hù)工作,以減少和防止此類(lèi)不良的發(fā)生和危害.靜電破壞60~75%EOS/ESD其他30~50%EOS/ESD8~33%ESDalone損失是巨大的!歐洲調(diào)查數(shù)據(jù)其他其他美國(guó)ESD協(xié)會(huì)調(diào)查數(shù)據(jù)日本調(diào)查數(shù)據(jù)靜電破壞靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的特點(diǎn):隱蔽性人體不能直接感知靜電除非發(fā)生靜電放電,但是發(fā)生靜電放電人體也不一定能有電擊的感覺(jué),這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV,所以靜電具有隱蔽性.潛在性有些電子元器件受到靜電損傷后的性能沒(méi)有明顯的下降,但屢次累加放電會(huì)給器件造成內(nèi)傷而形成隱患.因此靜電對(duì)器件的損傷具有潛在性.靜電破壞靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的特點(diǎn):隨機(jī)性電子元件什么情況下會(huì)遭受靜電破壞呢?可以這么說(shuō),從一個(gè)元件產(chǎn)生以后,一直到它損壞以前,所有的過(guò)程都受到靜電的威脅,而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性.其損壞也具有隨機(jī)性.靜電破壞靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的特點(diǎn):復(fù)雜性靜電放電損傷的失效分析工作,因電子產(chǎn)品的精、細(xì)、微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢(qián),要求較高的技術(shù)并往往需要使用掃描電鏡等高精密儀器.即使如此,有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別,使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其他失效.這在對(duì)靜電放電損害未充分認(rèn)識(shí)之前,常常歸因于早期失效或情況不明的失效,從而不自覺(jué)地掩蓋了失效的真正原因.所以靜電對(duì)電子器件損傷的分析具有復(fù)雜性.靜電破壞會(huì)產(chǎn)生靜電危害的電子工業(yè)過(guò)程:元件從生產(chǎn)到使用的整體過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電,依各階段可分為:1)元件制造過(guò)程包含制造,切割、接線、檢驗(yàn)到交貨.2)印刷電路版生產(chǎn)過(guò)程收貨、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、插入、焊接、品管、包裝到出貨.3)設(shè)備制造過(guò)程電路板驗(yàn)收、儲(chǔ)存、裝配、品管、出貨.4)設(shè)備使用過(guò)程收貨、安裝、試驗(yàn)、使用及保養(yǎng).5)設(shè)備維修過(guò)程
靜電破壞ESD破壞模式CDM〔充電器件模式〕HBM〔人體模式〕MM〔機(jī)器模式〕3種普遍接受的破壞模式:靜電的破壞方式及業(yè)界內(nèi)的對(duì)策靜電模型人體放電模式是模擬人體因走動(dòng)或其他因素而在人體上累積靜電后,再去碰觸到IC,人體上的靜電便會(huì)經(jīng)由碰觸的腳位而進(jìn)入IC內(nèi)模擬帶電人體對(duì)器件放電的情況人體模式(HBM)
人體電容50-250PF,人體電阻1-5K歐姆靜電模型機(jī)器放電模式是模擬機(jī)器設(shè)備〔例如機(jī)械手臂、測(cè)試夾具、手工具等〕本身累積的靜電,當(dāng)此機(jī)器碰觸IC時(shí),靜電便對(duì)該IC放電。
模擬帶電設(shè)備對(duì)器件進(jìn)行放電的情況機(jī)器模式(MM)MM模式破壞力強(qiáng)!!雖然MM模式與HBM模式的放電行為類(lèi)似,但當(dāng)MM發(fā)生時(shí)其為金屬對(duì)金屬的接觸,應(yīng)此接觸電阻非常的小,而且一般機(jī)器電容都遠(yuǎn)大于人體,故其靜電荷更大,使得在放電過(guò)程中電流比HBM要大多,故其破壞理更強(qiáng)帶電器件模式(CDM)
模擬器件在加工過(guò)程中被機(jī)器/工具充電,而隨后通機(jī)器/工具對(duì)器件充電方式,其一傳導(dǎo),其二電感應(yīng),其三摩擦在靜電慢慢累積的過(guò)程中元器件並未被損傷。此帶有靜電的器件在處理過(guò)程中,當(dāng)其任一接腳碰觸到接地導(dǎo)體時(shí),器件內(nèi)部的靜電便會(huì)經(jīng)由接觸腳流出而造成放電現(xiàn)象過(guò)接地放電情況靜電模型帶電器件模式〔CDM):〔由于各種原因被充了電的〕器件自身如果發(fā)生靜電放電那么稱為CDM不同模式下抗靜電能力不同?。?!靜電模型帶電設(shè)備/工具的金屬局部觸摸器件過(guò)程中,如果發(fā)生靜電放電那么稱為MM機(jī)器模式〔MM):人體模式〔HBM〕:三種模式如何具體區(qū)分人體中的靜電觸摸器件過(guò)程中,如果發(fā)生放電那么稱為HBM業(yè)界內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)一般都是HBM模式靜電模型建立模式的意義:提供器件統(tǒng)一的ESD最低防護(hù)要求標(biāo)準(zhǔn)其做為防靜電現(xiàn)場(chǎng)防護(hù)設(shè)計(jì)的基準(zhǔn)。2.穿戴防靜電工鞋、配置防靜電地板〔目的:排泄人體靜電〕·相應(yīng)根本控制措施:1.盡可能減少人體的劇烈運(yùn)動(dòng)〔目的:減少靜電產(chǎn)生靜電模型人體模式〔HBM)的產(chǎn)生與控制·人體靜電的產(chǎn)生與累積人體靜電的產(chǎn)生:主要由于衣服與人體、衣服與衣服之間摩擦等造成;人體電壓高:主要是由于電荷累積而無(wú)法進(jìn)行靜電排泄造成。4.佩戴防靜電碗帶〔目的:對(duì)人體靜電進(jìn)行排泄〕5.配置防靜電椅子〔目的:減少靜電的產(chǎn)生,對(duì)靜電進(jìn)行排放〕靜電模型·相應(yīng)根本控制措施:3.穿戴防靜電工衣、工帽〔目的:屏蔽衣服/人體靜電,防止被器件傳導(dǎo)、感應(yīng)帶電等〕人體模式〔HBM)的產(chǎn)生與控制靜電模型·相應(yīng)根本控制措施:6.配置防靜電膠皮〔目的:減少靜電的產(chǎn)生,對(duì)靜電進(jìn)行排放〕7.手套、指套的佩戴人體模式〔HBM)的產(chǎn)生與控制·設(shè)備帶電模式的在工廠如何產(chǎn)生?產(chǎn)生方式:設(shè)備金屬本體自身帶電、金屬感應(yīng)帶電、傳導(dǎo)帶電等·相應(yīng)根本控制措施:1.任何電源設(shè)備都必須進(jìn)行接地2.對(duì)于與靜電敏感產(chǎn)品直接接觸的設(shè)備,其選型與維護(hù)必須恰當(dāng)〔如烙鐵的選擇與維護(hù)〕3.在工作區(qū)內(nèi)防止孤立的導(dǎo)體〔如金屬工模夾具不能與地完全絕緣機(jī)器模式(MM)產(chǎn)生與控制靜電模型靜電模型4.生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)盡可能消除持續(xù)的強(qiáng)靜電源〔如CRT顯示器應(yīng)屏蔽等,不良結(jié)果可能造成感應(yīng)帶電〕·相應(yīng)根本控制措施:機(jī)器模式(MM)產(chǎn)生與控制1.工作區(qū)內(nèi)盡可能不使用非防靜電材料等2.離子風(fēng)機(jī)靜電消除3.盡可能減少摩擦動(dòng)作靜電模型·帶電器件模式的在工廠是如何產(chǎn)生?產(chǎn)生原因:器件是被動(dòng)式的產(chǎn)生靜電,包括被傳導(dǎo)、摩擦、感應(yīng)等使之帶電·相應(yīng)根本控制措施:帶電器件模式(CDM)產(chǎn)生與控制低危靜電源;如紙張等根本知識(shí)1.如何區(qū)別材料是否防靜電?·防靜電材料〔外表電阻率為≤1×1012Ω/□〕防靜電材料根本知識(shí)編·非防靜電材料〔外表電阻率為>1×1012Ω/□〕靜電導(dǎo)體材料〔外表電阻率為≤1×105Ω/□〕靜電耗散材料〔外表電阻率為≤1×1012Ω/□,而>1×105Ω/□〕最簡(jiǎn)單方法為通過(guò)測(cè)量外表電阻率識(shí)別高危靜電源;如普通塑料、白色膠袋等·在有效的接地通道下防靜電材料可以對(duì)靜電進(jìn)行排泄根本知識(shí)2.防靜電材料為什么能防靜電?·大多數(shù)防靜電材料本身不容易產(chǎn)生靜電·如產(chǎn)生靜電會(huì)很快在其外表擴(kuò)散防靜電材料根本知識(shí)編接地++++++對(duì)防靜電材料進(jìn)行充電++++++靜電表面擴(kuò)散++++++靜電消失根本知識(shí)防靜電材料根本知識(shí)編防靜電材料充放電過(guò)程:·大多數(shù)絕緣材料本身經(jīng)摩擦后產(chǎn)生大量靜電荷·而產(chǎn)生的靜電荷無(wú)法在其外表擴(kuò)散·即使本體接地也無(wú)法進(jìn)行靜電排泄最終導(dǎo)致局部電壓非常之高,完全可以危害靜電敏感產(chǎn)品的電性能根本知識(shí)防靜電材料根本知識(shí)編3.為什么說(shuō)絕緣材料盡可能不在防靜電工作區(qū)內(nèi)使用根本知識(shí)防靜電材料根本知識(shí)編絕緣體靜電累積過(guò)程
++++++對(duì)非防靜電材料進(jìn)行充電++++++靜電在非防靜電材料上無(wú)法擴(kuò)散++++++++++++靜電無(wú)法排泄接地根本知識(shí)4.為什么說(shuō)金屬導(dǎo)體不是最好的防靜電材料?·其一電阻率很低,如人觸電時(shí)不能起限流保護(hù)作用·其二同時(shí)也因?yàn)槠潆娮杪屎艿停?dāng)對(duì)器件帶電放電時(shí)其電流會(huì)很大,可能會(huì)導(dǎo)致器件損壞當(dāng)然如果我們工廠大多數(shù)的工作臺(tái)其對(duì)地電阻會(huì)在平安范圍內(nèi),即該類(lèi)型材料可以使用根本知識(shí)5.哪一類(lèi)材料是最理想的防靜電材料?靜電耗散型材料〔105-1010Ω/□〕是最理想的防靜電材料。因?yàn)槠洳坏緹o(wú)靜電產(chǎn)生,而且能有效平安地進(jìn)行靜電排泄,故從電子行業(yè)的防靜電領(lǐng)域來(lái)說(shuō)最正確防靜電材料為靜電耗散材料,其次為靜電導(dǎo)體材料,而絕緣材料為禁止使用材料6.防靜電現(xiàn)場(chǎng)的器材硬件配置原那么防靜電管理應(yīng)側(cè)重多重防護(hù)原那么凡對(duì)靜電敏感產(chǎn)品的可能操作,應(yīng)保證系統(tǒng)電阻在1010
Ω/□以內(nèi)根本知識(shí)對(duì)于無(wú)法消除的靜電源,必須保證其與靜電敏感產(chǎn)品距離在300mm以上,否那么應(yīng)設(shè)法去除,如使用離子風(fēng)機(jī)等方法防靜電區(qū)域內(nèi)的任何物品操作應(yīng)按靜電敏感產(chǎn)品要求進(jìn)行操作靜電的防護(hù)介于靜電的危害,并根據(jù)靜電產(chǎn)生及防害的方式,總結(jié)如下四種防護(hù)措施:杜絕其產(chǎn)生:隔離開(kāi)產(chǎn)生靜電的物質(zhì),防止磨擦.分散疏導(dǎo)和轉(zhuǎn)移已經(jīng)產(chǎn)生的電荷(靜電帶,接地….)中和電離子(正負(fù)電荷互相中和)保護(hù)(防護(hù),屏蔽:屏蔽房;靜電手套)靜電防護(hù)如果配戴了靜電設(shè)備,使人體與地面形成電位差,構(gòu)成導(dǎo)電體,讓人體靜電荷通過(guò)這個(gè)導(dǎo)體而輸送到地面電位處,這樣靜電荷就避開(kāi)了電子元器件,不會(huì)對(duì)IC形成了強(qiáng)大的電流而破壞之。靜電防護(hù)接地線:接地線也稱為地線母線,防靜電地線專(zhuān)供靜電工程器具和人體泄漏靜電荷,不得接在電源零線上,不得與防雷地線共用,接地線與大地之間的接觸電阻應(yīng)小于10歐姆。工鞋靜電防護(hù)人體防靜電設(shè)備工帽工衣靜電腕帶靜電防護(hù)防靜電工鞋穿法:1.穿防靜電鞋時(shí)不得另加鞋墊,特別是絕性鞋墊。2.不得在鞋底粘,貼絕緣膠片或其它涂料。3.防靜電工鞋應(yīng)定期檢測(cè),檢測(cè)不合格的應(yīng)立即更換。靜電防護(hù)防靜電工鞋的檢測(cè)方法:〔一〕1.用腳(左、右腳分開(kāi)測(cè)),踏上基座盤(pán),另一腳懸空.2.按壓測(cè)試按鈕.靜電防護(hù)防靜電工鞋的檢測(cè)方法:〔二〕OKNG3.綠燈亮?xí)r,表示接地良好。4.紅燈亮?xí)r,請(qǐng)及時(shí)向質(zhì)量課工序檢驗(yàn)員報(bào)告。防靜電工鞋的檢測(cè)方法:〔三〕靜電防護(hù)5.員工靜電鞋測(cè)試頻次為每周一次,不良及時(shí)更換。6.測(cè)試完記錄人體綜合電阻管理表中。靜電防護(hù)手腕的佩戴:導(dǎo)電體與人體緊貼。
NGOK防靜電手腕測(cè)試方法靜電手(腳)腕的檢測(cè)方法:戴好防靜電手腕,將手腕夾子夾在測(cè)試儀的夾子上,手按住測(cè)試儀的金屬塊,綠燈亮為OK。紅燈亮為NG。綠燈亮?xí)r為OK靜電防護(hù)員工防靜電腕帶測(cè)試頻率為每天一次,不良及時(shí)更換,并且要在上班前完成。測(cè)試完在?防靜電腕帶管理表?中作相應(yīng)記錄。靜電消除方法人體靜電消除:任何人進(jìn)入防靜電工作區(qū)域之前,必須使用相關(guān)設(shè)施瀉放掉人體積累的靜電。靜電持拿靜電敏感器件時(shí),人體必須正確接地,并佩帶有繩防靜電腕帶
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