DDg620.1.05L97中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T15394-94多探針測試臺(tái)通用技術(shù)條件Generalspecificationforprobetester1994-12-28發(fā)布1995-08-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T15394-94多探針測試臺(tái)通用技術(shù)條件Generalspecificationforprobetester1主題內(nèi)客與適用范圖本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多探針測試臺(tái)(以下簡稱探針臺(tái))的術(shù)語、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝財(cái)存等要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)多探針測試臺(tái)。其他類型的探針測試臺(tái)亦可參照使用。2引用標(biāo)準(zhǔn)GB191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GBa193出口機(jī)械、電工、儀器儀表產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件GB2681電電工成套裝置中的導(dǎo)線顏色GB2682電工成套裝置中的指示燈和按鈕的顏色GB3768噪聲源聲功率級(jí)的測定簡易法GB5080.7設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時(shí)間的驗(yàn)證試驗(yàn)方案GB5226機(jī)床電氣設(shè)備通用技術(shù)條件GB6388運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志3術(shù)語3.1探針臺(tái)probestation利用金屬探針將品片上芯片的電極與測試儀聯(lián)接，以完成芯片電參數(shù)中間測試的設(shè)備，3.22手動(dòng)探針臺(tái)manualprobestation操作步要全部由人工完成的探針臺(tái)。3.3半自動(dòng)探針臺(tái)semi-automaticprobestation能自動(dòng)完成除圖像識(shí)別、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)之外的所有其他探測步驃的探針臺(tái)。全自動(dòng)探針臺(tái)fully-automaticprobestation能自動(dòng)完成包括圖像識(shí)別、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)在內(nèi)的所有探測步驃，并具有多種功能的探針臺(tái)3.5探針probe具有特定機(jī)械電氣性能和結(jié)構(gòu)尺寸的金屬針。3.6測試支架testsupport可在一定范圍內(nèi)分別調(diào)節(jié)探針的X、了、Z向距離、用以安裝固定探針的部件3.7探針卡probecard根據(jù)被測芯片電極所需探針的數(shù)量及布局，將探針對(duì)應(yīng)固定于一塊基板上的卡片。3.8探邊器cdgesensor用來探測探針是