ICS31-550

L97

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T15862—2012

代替

GB/T15862—1995

離子注入機(jī)通用規(guī)范

Generalspecificationofionimplantationequipment

2012-11-05發(fā)布2013-02-15實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T15862—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替離子注入機(jī)通用技術(shù)條件

GB/T15862—1995《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要變化如下

GB/T15862—1995:

由代替

———GBn193—1983GB/T13384—1992;

增加術(shù)語(yǔ)注入角度見最大晶片傳輸效率見并在性能指標(biāo)及測(cè)試方法中做

———“”(3.6)、“”(3.7),

相應(yīng)要求見

(6.4.6);

環(huán)境溫度調(diào)整為相對(duì)濕度規(guī)定范圍見

———23℃±2℃;30%~50%(5.1.3);

安全要求中增加警示標(biāo)識(shí)的條款見

———“”(6.3.1);

去掉表表

———3、4;

均勻性測(cè)量增加了熱波探針法測(cè)量條件和方法見

———(6.4.4.1b));

重復(fù)性測(cè)量增加了批間重復(fù)性測(cè)量方法見

———(6.4.5.2);

檢驗(yàn)規(guī)則去掉例行檢驗(yàn)項(xiàng)

———。

本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人郭健輝彭立波羅宏洋

:、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T15862—1995。

Ⅰ

GB/T15862—2012

離子注入機(jī)通用規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機(jī)的術(shù)語(yǔ)產(chǎn)品分類技術(shù)要求試驗(yàn)檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存

、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機(jī)其他離子注入機(jī)亦可參照使用

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

包裝運(yùn)輸包裝件基本試驗(yàn)第部分正弦定頻振動(dòng)試驗(yàn)方法

GB/T4857.7—20057:

設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無(wú)故障時(shí)間的驗(yàn)證試

GB/T5080.7—1986

驗(yàn)方案

運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388—1986

機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB/T13384—1992

機(jī)械安全指示標(biāo)志和操作第部分關(guān)于視覺聽覺和觸覺信號(hào)的要求

GB18209.1、1:、

電子工業(yè)專用設(shè)備通用規(guī)范

SJ/T142

金屬鍍層和化學(xué)處理層質(zhì)量檢驗(yàn)技術(shù)要求

SJ/T1276

涂料涂覆通用技術(shù)條件

SJ/T10674

3術(shù)語(yǔ)

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

束能量beamenergy

到達(dá)靶上離子所具有的動(dòng)能

。

注單位為電子伏特

:(eV)。

32

.

著靶束流beamcurrentontarget

單位時(shí)間內(nèi)靶上接收到的離子束電荷量

。

注單位為安培

:(A)。

33

.

均勻性u(píng)niformity

表征注入離子劑量不均勻的程度用相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差表示

。。

34

.

重復(fù)性repeatability

表征片間或批間在相同