ICS3702017180

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N33..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26533—2011

俄歇電子能譜分析方法通則

GeneralrulesforAugerelectronspectroscopicanalysis

2011-05-12發(fā)布2011-12-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26533—2011

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語(yǔ)和定義………………

31

方法原理…………………

41

儀器………………………

52

儀器組成……………

5.12

儀器性能……………

5.23

樣品………………………

63

分析步驟…………………

74

能量標(biāo)尺校正………………………

7.14

定性分析及操作步驟…………

7.2AES6

俄歇電子能譜的定量分析…………

7.36

深度剖析……………

7.47

元素化學(xué)態(tài)分析……………………

7.57

分析結(jié)果的表述…………………………

87

俄歇全譜……………

8.17

窄譜…………………

8.27

線掃描譜……………

8.37

深度剖析譜…………………………

8.47

多點(diǎn)顯微對(duì)比分析…………………

8.58

樣品表面元素分布圖………………

8.6(Augermap)8

分析結(jié)果表述方式…………………

8.78

圖俄歇躍遷………………………

1KL1L32

圖俄歇電子能譜簡(jiǎn)圖……………………

22

圖和三個(gè)參考物質(zhì)的直接譜和微分譜相對(duì)能量分辨率………

3Cu、AuAl(0.3%)5

表參考物質(zhì)的俄歇電子動(dòng)能參考值……………………

14

Ⅰ

GB/T26533—2011

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位清華大學(xué)化學(xué)系

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人姚文清李展平曹立禮朱永法

:、、、。

Ⅲ

GB/T26533—2011

俄歇電子能譜分析方法通則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以電子束為激發(fā)源的俄歇電子能譜的一般表面

(AES,AugerElectronSpectroscopy)

分析方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008

表面化學(xué)分析深度分析濺射深度的測(cè)量

ISO/TR15969:2001(SurfaceChemicalAnalysis—

DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)

表面化學(xué)分析表面分析樣品的制備和固定方法指南

ISO18116:2005(SurfaceChemicalAnal-

ysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)

表面化學(xué)分析和均勻材料定量分析所用的實(shí)驗(yàn)相對(duì)靈敏度因

ISO18118:2002(E)AESXPS

子使用指南

(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensi-

tivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜化學(xué)信息來(lái)源

ISO/TR18394:2006(SurfaceChemical

Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子譜分析者對(duì)于橫向分辨

ISO/TR19319:2003X

率分析范圍和樣品觀察范圍的測(cè)定

、(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandX-

rayPhotoelectronSpectroscopy—DeterminationofLateralResolution,AnalysisArea,andSample

AreaViewedbytheAnalyser)

表面分析中制樣和裝樣的標(biāo)準(zhǔn)指南

ASTME1078—2002(StandsardGuideforSpecimenPrepa-

rationandMountinginSurfaceAnalysis)

表面分析前樣品處理標(biāo)準(zhǔn)指南

ASTME1829—2002