ICS0104029

CCSK.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術(shù)語微機電裝置

Electrotechnicalterminology—Micro-electromechanicaldevices

IEC60050-5232018Internationalelectrotechnicalvocabular—

(:,y

Part523Micro-eletromechanicaldevicesIDT

:,)

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

前言

本文件按照標準化工作導(dǎo)則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是電工術(shù)語的第部分已經(jīng)發(fā)布了多個部分

GB/T2900《》104。GB/T2900100。

本文件等同采用國際電工詞匯第部分微機電裝置

IEC60050-523:2018《523:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性修改

:

修改了標準名稱

———;

增加了參考文獻

———。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國電工術(shù)語標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC232)。

本文件起草單位中機生產(chǎn)力促進中心蕪湖中集瑞江汽車有限公司廣東瑞克斯智能科技有限公

:、、

司北京大學(xué)蕪湖市標準化研究院東莞市吉錸升電機股份有限公司漳州市太龍照明工程有限公司

、、、、、

福州華虹智能科技股份有限公司廣東萬江配電有限公司浙江博亞精密機械有限公司

、、。

本文件主要起草人蒯勇張威李桂芳李婧范遠斌申延智倪圣叨李英王本雄藍秀堂姜圓

:、、、、、、、、、、、

陸學(xué)貴

。

Ⅰ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

引言

電工術(shù)語系列國家標準對應(yīng)國際電工詞匯系列國際標準根據(jù)對電

GB/T2900IEC60050。IEC

工領(lǐng)域的分類將電工術(shù)語系列標準分為類基本概念電工材料儀器儀表電工設(shè)備電

,9:1);2);3);4);5)

子設(shè)備發(fā)電輸電和配電電信技術(shù)特殊應(yīng)用標準化

;6)、;7);8);9)。

本文件等同采用國際電工詞匯第部分微機電裝置歸于第部分電

IEC60050-523:2018《523:》,5

子設(shè)備為微機電裝置方面通用基礎(chǔ)術(shù)語可為本領(lǐng)域技術(shù)標準制修訂技術(shù)交流提供幫助

,、,、。

電工術(shù)語系列國家標準第部分電子設(shè)備已發(fā)布標準包括

GB/T29005“”:

電工術(shù)語電力電子技術(shù)

———GB/T2900.33—2004(IEC60050-551:1998,IEC60050-551-20:

2001,IDT);

電工術(shù)語半導(dǎo)體器件和集成電路

———GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT);

電工術(shù)語電子設(shè)備用機電元件

———GB/T4210—2015(IEC60050-581:2008,IDT)。

Ⅱ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術(shù)語微機電裝置

1范圍

本文件界定了微機電裝置的通用科學(xué)與工程材料科學(xué)功能元素加工技術(shù)鍵合裝配技術(shù)測量

、、、、、、

技術(shù)和應(yīng)用相關(guān)術(shù)語

。

本文件適用于微機電技術(shù)領(lǐng)域

。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語和定義

31通用術(shù)語

.

523-01-01

微機電裝置micro-electromechanicaldevice

微機電器件

集成了敏感器執(zhí)行器傳感器諧振器振蕩器機械部件和或電路的微型裝置

、、、、、/。

注在微尺度上相關(guān)技術(shù)與基礎(chǔ)技術(shù)如設(shè)計材料加工功能元件系統(tǒng)控制能源供應(yīng)鍵合和組裝電路基

:,(、、、、、、、)、

礎(chǔ)科學(xué)如微觀科學(xué)和工程以及熱力學(xué)和摩擦學(xué)都極為不同如果微機電器件構(gòu)成一個系統(tǒng)它有時被稱為

(),。,

是微機電系統(tǒng)的縮寫

MEMS,“”。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.1]

523-01-02

微系統(tǒng)技術(shù)microsystemtechnologyMST

;

利用微機械加工實現(xiàn)微電光學(xué)和機械系統(tǒng)及其部件的技術(shù)

、。

注術(shù)語主要用于歐洲

:MST。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.2741-01-03]

523-01-03

微機械micromachine

小型化裝置其部件尺寸為幾毫米或更小

,。

注包括各種功能裝置如采用微機械技術(shù)的傳感器

: