ICS29045

H82.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32573—2016

硅粉總碳含量的測(cè)定

感應(yīng)爐內(nèi)燃燒后紅外吸收法

Siliconpowder—Determinationoftotalcarboncontent—

Infraredabsorptionmethodaftercombustioninaninductionfurnace

2016-02-24發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32573—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國(guó)家太陽(yáng)能光伏產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心無(wú)錫市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心江蘇中

:()、

能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司江西賽維太陽(yáng)能高科技有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院洛陽(yáng)

、LDK、、

中硅高科技有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人何莉徐敏秀周瀅姚鳳花劉曉霞魯文鋒袁凱笛楊君蔣威王美娟

:、、、、、、、、、、

黃雪雯張立眉馮亞彬裴會(huì)川曹俊英謝秦

、、、、、。

Ⅰ

GB/T32573—2016

硅粉總碳含量的測(cè)定

感應(yīng)爐內(nèi)燃燒后紅外吸收法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用感應(yīng)爐燃燒后紅外吸收法測(cè)定硅粉中總碳含量的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于生產(chǎn)多晶硅的原料硅粉中總碳含量的測(cè)定測(cè)定范圍為質(zhì)量分

。0.001%~1.0%(

數(shù)

)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測(cè)量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度正確度與精密度第部分確定標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方

GB/T6379.2—2004()2:

法重復(fù)性與再現(xiàn)性的基本方法

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682—2008

定碳定硫分析儀檢定規(guī)程

JJG395

硅粉

YS/T724—2009

碳硫分析專用坩堝

YB/T4145

3方法提要

試料在高頻感應(yīng)爐中通入純氧氣流在高溫有助熔劑和其他助劑存在的條件下將碳轉(zhuǎn)化為二氧

,,、,

化碳和或一氧化碳測(cè)量氣流中的二氧化碳和或一氧化碳的紅外吸收光譜并由此計(jì)算出試料中的碳

/,/,

含量

。

4試劑和材料

41水不含二氧化碳使用前將符合要求的三級(jí)水煮沸用裝有鈉石灰干

.:,GB/T6682—200830min,

燥管的橡皮塞塞住瓶口冷卻至室溫通氧氣吹泡

,,(4.2)15min。

42氧氣純度體積分?jǐn)?shù)應(yīng)不低于測(cè)定碳含量樣品時(shí)的純度體積分?jǐn)?shù)應(yīng)

.:()99.5%,0.001%~0.01%()

不低于

99.995%。

43純鐵粒度應(yīng)不大于粒度推薦范圍碳含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)應(yīng)小

.:1.25mm,0.4mm~0.8mm,()

于

0.0005%。

44無(wú)水碳酸鈉有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)使用前將無(wú)水碳酸鈉質(zhì)量分?jǐn)?shù)大于在下干燥

.:,(99.9%)285℃±5℃

并置于干燥器中冷卻備用

2h,,。

45碳酸鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液含碳稱取碳酸鈉精確至溶于

.:1mL2.50mg。5.5152g(4.4),0.1mg,200mL

水中定量移入容量瓶中用水稀釋至刻度混勻

(4.1),250mL,(4.1),。

46錫助熔劑碳硫?qū)Ｓ酶呒冨a粒錫含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)應(yīng)大于