ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34172—2017

微束分析電子背散射衍射

金屬及合金的相分析方法

Microbeamanalysis—Electronbackscatterdiffraction—

Phaseanalysismethodofmetalandalloy

2017-09-07發(fā)布2018-08-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34172—2017

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

試驗參數(shù)

4…………………3

試樣要求

4.1……………3

掃描電鏡參數(shù)設(shè)定

4.2…………………3

設(shè)備

4.2.1EBSD………………………3

加速電壓

4.2.2………………………3

束流

4.2.3……………3

參數(shù)設(shè)定

4.3EBSD……………………3

系統(tǒng)的校準(zhǔn)

4.3.1EBSD………………3

曝光時間

4.3.2………………………4

步長選擇

4.3.3………………………4

花樣像素的選擇

4.3.4EBSD…………4

背底校正

4.3.5EBSP…………………4

菊池帶探測

4.3.6……………………4

分析過程

5…………………5

圖像采集

5.1……………5

定性分析

5.2……………5

元素化學(xué)成分分析

5.2.1……………5

花樣采集及分析

5.2.2………………5

花樣匹配

5.2.3………………………5

定量分析

5.3……………5

相選擇

5.3.1…………………………5

參數(shù)選擇

5.3.2………………………5

相分布圖采集

5.3.3…………………5

相分布圖的后處理

5.3.4……………6

結(jié)果發(fā)布

6…………………6

附錄規(guī)范性附錄試樣的制備

A()EBSD………………7

參考文獻

………………………8

Ⅰ

GB/T34172—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海發(fā)電設(shè)備成套設(shè)計研究院泰思肯貿(mào)易有限公司寶鋼集團中央研究院中國

:、、、

科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張作貴焦匯勝姚雷王墉哲

:、、、。

Ⅲ

GB/T34172—2017

引言

電子背散射衍射是基于對掃描電子顯微鏡或聚焦離子束中電子束在傾

(EBSD)(SEM)(SEM-FIB)

斜試樣表面激發(fā)出背散射電子并經(jīng)試樣表層原子衍射形成的菊池帶進行分析而獲得試樣晶體學(xué)信息的

技術(shù)[1,2]技術(shù)用于晶體結(jié)構(gòu)相似的相分析時可結(jié)合安裝于也可是或

。EBSD,SEM(SEM-FIBEPMA)

上的能譜儀進行元素化學(xué)成分分析以提高相分析結(jié)果的可靠性

(EDS),EBSD。

數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計性特征因此可同步分析多相材料的相分布取向關(guān)系和百分含量等[3]通過

EBSD,、。

對金屬及合金的相分析可以獲取金屬及合金中各種相的形貌分布及面積百分含量等相關(guān)信

EBSD,、

息這對金屬及合金的成分控制熱處理工藝選擇合金化機理研究及構(gòu)件的失效分析等都具有十分重

,、、

要的意義

。

Ⅳ

GB/T34172—2017

微束分析電子背散射衍射

金屬及合金的相分析方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用電子背散射衍射技術(shù)對金屬及合金中

(Electronbackscatterdiffraction,EBSD)

的相進行定性和定量分析時參數(shù)校正數(shù)據(jù)采集的方法

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于對金屬及合金試樣的相分析其他多晶或單晶材料的相分析也可參照

EBSD,EBSD

執(zhí)行

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準(zhǔn)實驗室能力的通用要求

GB/T27025

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

合金alloy

由多種金屬元素或金屬與非金屬元素所組成的具有金屬特性的物質(zhì)

、。

32

.

相phase

材料中晶體結(jié)