中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1739—2019

數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforDigitalLaserSphericalInterferometers

2019-09-27發(fā)布2019-12-27實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1739—2019

數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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CalibrationSpecificationforDigitalJJF17392019

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LaserSphericalInterferometers

歸口單位全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

:

中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

參加起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

本規(guī)范委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1739—2019

本規(guī)范主要起草人

:

侯溪中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

全海洋中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

冉慶中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

宋偉紅中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

參加起草人

:

康巖輝中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

韓森蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

()

JJF1739—2019

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語(yǔ)和定義

3……………(1)

面形偏差

3.1……………(1)

峰谷值

3.2………………(1)

值

3.3PVr……………(1)

球面元件F數(shù)

3.4……………………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(2)

示值誤差

5.1……………(2)

測(cè)量重復(fù)性

5.2…………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

環(huán)境條件

6.1……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.2………………………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(3)

示值誤差

7.1……………(3)

測(cè)量重復(fù)性

7.2…………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(5)

附錄值

APVr…………(6)

附錄三位置法公式推導(dǎo)

B……………(7)

附錄數(shù)字式激光球面干涉儀直接比較法校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例

C………………(9)

附錄數(shù)字式激光球面干涉儀三位置法校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例

D…(11)

附錄校準(zhǔn)證書(shū)信息及內(nèi)頁(yè)格式

E……………………(15)

Ⅰ

JJF1739—2019

引言

本規(guī)范的編寫(xiě)以國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義和測(cè)量不確定度評(píng)定與表示為基礎(chǔ)和

《》JJF1059.1—2012《》

依據(jù)

。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1739—2019

數(shù)字式激光球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于數(shù)字式激光球面干涉儀的校準(zhǔn)

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

JJF1100—2016

光學(xué)零件的面形偏差

GB/T2831—2009

光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的干涉測(cè)量第部分

ISO14999-4:20154:

規(guī)定的公差說(shuō)明和評(píng)估

ISO10110(Opticsandphotonics—Interferometricmeasurement

ofopticalelementsandopticalsystems—Part4:Interpretationandevaluationoftoler-

ancesspecifiedinISO10110)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用本規(guī)范

,()。

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的及以下術(shù)語(yǔ)和定義適用于本規(guī)范

GB/T2831—2009、ISO14999-4:2015。

面形偏差

3.1surfaceformdeviation

被測(cè)光學(xué)表面相對(duì)于參考光學(xué)表面的偏差

。

峰谷值

3.2peak-to-valley(PV)value

面形偏差最大值減去最小值簡(jiǎn)稱(chēng)值

,PV。

值

3.3PVrrobustpeak-to-valley(PVr)value

面形偏差的項(xiàng)多項(xiàng)式擬合面值加上倍擬合殘差面形偏差減去

36ZernikePV3(

項(xiàng)多項(xiàng)式擬合面的均方根值

36Zernike)。

注:多項(xiàng)式定義按:附錄標(biāo)準(zhǔn)定義。

ZernikeISO14999-4