中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1760—2019

硅單晶電阻率標準樣片校準規(guī)范

CalibrationSpecificationfor

StandardSlicesofSingleCrystalSiliconResistivity

2019-09-27發(fā)布2020-03-27實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1760—2019

硅單晶電阻率標準樣片

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校準規(guī)范?JJF1760—2019?

??

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?代替JJG48—2004?

CalibrationSpecificationforStandardSlicesof??

SingleCrystalSiliconResistivity

歸口單位全國無線電計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

參加起草單位福建省計量科學研究院

:

本規(guī)范委托全國無線電計量技術(shù)委員會負責解釋

JJF1760—2019

本規(guī)范主要起草人

:

高英中國計量科學研究院

()

李蘭蘭中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

羅海燕福建省計量科學研究院

()

楊愛軍福建省計量科學研究院

()

JJF1760—2019

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和計量單位

3………………………(1)

電阻率

3.1………………(1)

厚度

3.2…………………(1)

直徑

3.3…………………(1)

薄層電阻

3.4……………(1)

導電類型

3.5……………(1)

四探針

3.6………………(1)

局部徑向電阻率均勻性

3.7……………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

標準樣片電阻率的測量范圍

5.1………(2)

標準樣片的電阻率標稱值

5.2…………(2)

標準樣片應(yīng)具備的參數(shù)及性能要求

5.3………………(2)

校準條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

校準用設(shè)備

6.2…………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(3)

校準項目

7.1……………(3)

外觀檢查

7.2……………(4)

導電類型判別

7.3………………………(4)

直徑測量

7.4……………(4)

厚度測量

7.5……………(4)

電阻率或薄層電阻測量

7.6……………(5)

局部徑向電阻率均勻性測量

7.7………(6)

校準結(jié)果表達

8…………(7)

復校時間間隔

9…………(7)

附錄原始記錄格式

A…………………(8)

附錄校準證書內(nèi)頁格式

B……………(10)

附錄主要項目校準不確定度評定示例

C……………(11)

附錄標準樣片厚度修正系數(shù)表

D……………………(16)

附錄標準樣片直徑修正系數(shù)

E………(17)

附錄標準樣片電阻率溫度系數(shù)表

F…………………(18)

Ⅰ

JJF1760—2019

引言

本規(guī)范依據(jù)國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則和

JJF1071—2010《》JJF1059.1—2012

測量不確定度評定與表示編寫

《》。

本規(guī)范代替硅單晶電阻率標準樣片與相比除編

JJG48—2004《》,JJG48—2004,

輯性修改外主要技術(shù)變化如下

,:

增加了引言引用文件術(shù)語和計量單位

———、、;

刪除了硅單晶電阻率標準樣片的級別分類

———;

刪除了硅單晶電阻率標準樣片的清洗方法

———;

修改了電阻率的測量范圍由原來的改為

———,0.005Ω·cm~5000Ω·cm

0.003Ω·cm~1000Ω·cm;

修改了硅單晶電阻率標準樣片直徑的校準方法

———;

修改了硅單晶電阻率標準樣片厚度的校準方法

———;

修改了硅單晶電阻率標準樣片徑向電阻率均勻性的校準方法

———。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況

:

———JJG48—2004;

———JJG48—1990。

Ⅱ

JJF1760—2019

硅單晶電阻率標準樣片校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于電阻率在之間的硅單晶電阻率標準樣片

0.003Ω·cm~1000Ω·cm

的校準

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

四探針電阻率測試儀

JJG508—2004

半導體材料術(shù)語

GB/T14264

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和計量單位

電阻率

3.1resistivity

荷電載體通過材料受阻程度的一種量度電阻率是電導率的倒數(shù)符號為單位

。。ρ,

為

Ω·cm。

厚度

3.2thickness

通過晶片上一給定點垂直于表面方向穿過晶片的距離通常以晶片幾何中心的厚度

。

為該晶片的標稱厚度單位為

。μm。

直徑

3.3diameter

橫穿圓片表面通過晶片中心點且不與參考面或圓周上其他基準區(qū)相交直線的長

,

度單位為

。mm。

薄層電阻

3.4sheetresistance

半導體或薄金屬膜的薄層電阻與電流平行的電勢梯度對電流密度和厚度乘積的

,

比又稱方塊電阻符號為R單位為

。。s,Ω/□。