中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforLaserInterferometricComparators

2021-07-28發(fā)布2022-01-28實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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?JJF1913—2021?

CalibrationSpecificationfor??

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?代替JJG331—1994?

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LaserInterferometricComparators

歸口單位全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

起草單位中國計(jì)量科學(xué)研究院

:

中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)

研究所

本規(guī)范由全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1913—2021

本規(guī)范起草人

:

孫雙花中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

趙新麗中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所

()

沈雪萍中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

高宏堂中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1913—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和定義

3……………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(2)

工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)直線度

5.1…………………(2)

瞄準(zhǔn)重復(fù)性

5.2…………(2)

測量重復(fù)性

5.3…………(2)

影像測頭示值誤差

5.4…………………(2)

示值誤差

5.5……………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

通用校準(zhǔn)條件

6.1………………………(2)

環(huán)境條件

6.2……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.3………………………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(3)

工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)直線度

7.1…………………(3)

瞄準(zhǔn)重復(fù)性

7.2…………(3)

測量重復(fù)性

7.3…………(4)

影像測頭示值誤差

7.4…………………(4)

示值誤差

7.5……………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(5)

附錄激光干涉比長儀示值誤差的測量不確定度評(píng)定示例

A………(6)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式

B……………………(8)

Ⅰ

JJF1913—2021

引言

國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列

JJF1059.1《》

規(guī)范

。

本規(guī)范代替激光干涉比長儀與相比除編輯性

JJG331—1994《》。JJG331—1994,

修改外主要技術(shù)變化如下

,:

用激光干涉比長儀的示值誤差代替比長儀的準(zhǔn)確度

———;

修改了測量重復(fù)性校準(zhǔn)及其數(shù)據(jù)處理方法

———;

增加了瞄準(zhǔn)重復(fù)性及其校準(zhǔn)方法

———;

刪除了激光平行光束的均勻性干涉條紋的對(duì)比度及輸出信號(hào)的質(zhì)量測量光

———、、

束與運(yùn)動(dòng)方向的一致性工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度均勻性等檢定項(xiàng)目

、;

增加了對(duì)影像測頭瞄準(zhǔn)系統(tǒng)的相關(guān)校準(zhǔn)項(xiàng)目

———;

增加了附錄激光干涉比長儀示值誤差的測量不確定度評(píng)定示例

———A。

本規(guī)范歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG331—1994。

———JJG331—1983。

Ⅱ

JJF1913—2021

激光干涉比長儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于測量范圍為的激光干涉比長儀的校準(zhǔn)

(0~1000)mm。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

高等別線紋尺

JJG73—2005

通用計(jì)量術(shù)語及定義

JJF1001—2011

測量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059.1

測量儀器特性評(píng)定

JJF1094—2002

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本規(guī)范

。

最小線紋測量間隔

3.1minimumlinemeasurementinterval

激光干涉比長儀能夠有效測量的線紋尺最小刻線間隔

。

4概述

激光干涉比長儀是以激光波長為測長基準(zhǔn)直接測量線紋尺線性位移傳感器激

,、