中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程

JJG331—1994

激光干涉比長儀

LaserInterferenceComparator

1994-07-12發(fā)布1995-01-01實施

國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG331—1994

??

激光干涉比長儀檢定規(guī)程???????????????

??

?JJG331—1994?

??

VerificationRegulationof?代替JJG331—1983?

??????????????

??

??

LaserInterferenceComparator

本檢定規(guī)程經(jīng)國家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)并自

19940712,1995

年月日起施行

0101。

歸口單位:中國計量科學(xué)研究院

起草單位:中國計量科學(xué)研究院

本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG331—1994

本規(guī)程主要起草人:

蔣塤中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人:

王黎菁中國計量科學(xué)研究院

()

汪德寶中國計量科學(xué)研究院

()

JJG331—1994

目錄

一概述…………………

(1)

二檢定項目和檢定條件………………

(1)

三檢定要求和檢定方法………………

(2)

四檢定結(jié)果的處理……………………

(6)

附錄激光器測溫裝置及折射率測量裝置的檢定要求…………

1、(7)

附錄測量環(huán)境下脈沖當(dāng)量Q的計算實例…………

2n(8)

附錄各種溫度的飽和蒸氣壓表……………………

3(9)

JJG331—1994

激光干涉比長儀檢定規(guī)程

本規(guī)程適用于新制造的使用中和修理后的激光干涉比長儀的檢定

、。

一概述

激光干涉比長儀以下簡稱比長儀是用激光波長直接檢定線紋尺的工作基準(zhǔn)類儀

()

器它主要用于檢定長度至的一二等標(biāo)準(zhǔn)金屬線紋尺一二等標(biāo)準(zhǔn)玻璃

。1000mm、;、

線紋尺以及不確定度優(yōu)于一等標(biāo)準(zhǔn)金屬尺的基準(zhǔn)尺

,。

檢定長度小于的激光干涉比長儀其被檢項目與要求可參照本規(guī)程進(jìn)行

1000mm。

比長儀的準(zhǔn)確度可按線紋尺檢定結(jié)果的總不確定度置信水平分為兩類

(0.99):

UL

(A)=(0.06+0.1)μm

UL

(B)=(0.1+0.1)μm

式中L被測長度

:———,m。

比長儀主要由激光器干涉儀機械主體光電顯微鏡溫度測量裝置與

He-Ne、、、、

數(shù)據(jù)處理裝置計算機等七個部分組成

()。

二檢定項目和檢定條件

比長儀的檢定項目和主要檢定條件如表所示

11。

表1

序檢定類別

檢定項目主要檢定條件

號新制的修理的使用中

外觀目測

1++-

激光平行光束的均勻性紙屏

2+++

干涉條紋的對比度及輸出信號的質(zhì)量紙屏二蹤示波器

3、+++

工作臺運動直線度自準(zhǔn)直儀

40.2″++-

測量光束與運動方向的一致性專用檢具

5++-

工作臺運動速度均勻性頻率計

6++-

平面鏡自準(zhǔn)直儀金

光電顯微鏡、、

7屬尺玻璃尺水泡++-

、、10″

測量重復(fù)性金屬尺玻璃尺

8、+++