中國MEMS傳感器行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢分析

MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）在微電子技術(shù)基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)過40多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù)，具有廣闊的應用前景。

過去幾年中，MEMS傳感器的銷售額一直保持著穩(wěn)步的增長。2017年，全球MEMS傳感器和執(zhí)行器總體市場規(guī)模為115億美元，其中MEMS傳感器為61億美元，增長17.3%，預計2018年，全球MEMS傳感器銷售額將增長10%以上，達到68億美元。2016-2018年全球MEMS傳感器市場規(guī)模及增速

美國是MEMS產(chǎn)業(yè)、技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)源地，其發(fā)展水平世界領先。上世紀60年代，斯坦福等大學就從事MEMS領域的研究開發(fā)，佐治亞理工學院和美國加利福尼亞大學洛杉磯分校等眾多美國大學幾乎都建立有自己的MEMS晶圓生產(chǎn)線。美國麻省理工學院、斯坦福大學、加利福尼亞大學伯克利分校、凱斯西儲大學等還開發(fā)用于MEMS研究的設備、儀器等，支撐其技術(shù)研究。各學校一邊研究探索，同時也相互不斷進行技術(shù)與業(yè)務的交流，并與產(chǎn)業(yè)界組建成聯(lián)盟，促進MEMS技術(shù)及時轉(zhuǎn)化成MEMS產(chǎn)品。

經(jīng)過長期的發(fā)展，美國已發(fā)展為集官、產(chǎn)、學、研、金融等為一體的較為完整的MEMS產(chǎn)業(yè)體系。其用來進行MEMS產(chǎn)品生產(chǎn)的晶圓尺寸目前基本與IC同步，呈現(xiàn)大口徑化、智能化，與人體神經(jīng)元和大腦信息互通互聯(lián)，與IC芯片、計算機軟件、數(shù)據(jù)采集和處理技術(shù)等多位一體化發(fā)展的趨勢。同時，應用領域也不斷向軍事、醫(yī)療、生物、仿生學、航空航天等領域全方位快速滲透和發(fā)展。

目前，美國主要的MEMS傳感器公司有德州儀器（TI）、模擬器件（ADI）、飛思卡爾、樓氏電子（Knowles）、SiTime、惠普、IMT、SiliconMicrostructures（SMI）、GEInfrastructureSensing等。大部分半導體制造公司同時具有MEMS生產(chǎn)加工的業(yè)務。根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中美國占比23.8%，即為14.5億美元。2016-2018年美國MEMS傳感器行業(yè)市場規(guī)模（億美元）

歐洲各國政府積極制定相關(guān)規(guī)定推動MEMS產(chǎn)業(yè)和技術(shù)的發(fā)展，歐洲國家政府要求2012年汽車必須采用電子穩(wěn)定控制（ESC）和輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)。歐洲新車評估體系（NCAP）等汽車安全性評估系統(tǒng)雖然是一種自愿評估機制，但目前得到了歐洲各國政府、汽車俱樂部和消費者組織的支持。在德國，汽車MEMS傳感器行業(yè)一直發(fā)展很好，企業(yè)RobertBosch仍是目前汽車MEMS傳感器的龍頭業(yè)者。

根據(jù)數(shù)據(jù)2017年全球MEMS傳感器銷售規(guī)模為61億美元，其中德國占比10.5%，即為8.7億美元。2016-2018年德國MEMS傳感器行業(yè)市場規(guī)模（億美元）

日本政府從2007年起相繼推出了與MEMS相關(guān)的國家項目，推動MEMS相關(guān)開發(fā)。例如，日本文部科學省科學技術(shù)及學術(shù)政策局推出“尖端融合領域革新創(chuàng)造基地的形成”計劃課題——“微系統(tǒng)融合研究開發(fā)”啟動了產(chǎn)學合作項目。日本東北大學與理光、豐田汽車等11家公司共同啟動了產(chǎn)學合作項目。目標是通過走在MEMS領域前沿的研究小組與擁有具體應用對象的企業(yè)合作，使各種MEMS技術(shù)盡快達到實用水平。

日本MEMS傳感器公司的最新技術(shù)發(fā)展動向主要有：智能視覺傳感器、快速圖像檢索、人機接口MEMS器件、智能汽車感應系統(tǒng)等。如：日本東京早稻田大學研制出通過肺、舌頭、聲帶和喉嚨發(fā)出聲音的機器人WT-4，使科學家們對大腦如何控制說話系統(tǒng)有了更深的了解。WT-4不僅使用機器肺臟與聲帶，還增加了機動靈活的舌頭、柔軟的上腭、嘴唇和牙齒，能夠更加清晰地讀出日本字母發(fā)音等，能模仿人類的聲音。

目前，日本主要的MEMS公司有豐田電裝DENSO、松下、歐姆龍（Omron）、Matsushita、沖電氣（Oki）、村田制作所（Murata）、愛普生、三菱電