濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈概括及下游應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展情況分析

一、濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈概括

濺射工藝是制備電子薄膜的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在高真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。主要應(yīng)用場景包括超大規(guī)模集成電路制造等。濺射靶材工作原理

靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要分金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜、終端應(yīng)用四個(gè)環(huán)節(jié)。其中濺射鍍膜是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)要求最高的環(huán)節(jié)。濺射薄膜的品質(zhì)對(duì)下游產(chǎn)品的質(zhì)量具有重要影響。濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈

二、濺射靶材產(chǎn)業(yè)下游應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展情況

在PVD兩大系列鍍膜產(chǎn)品中，濺射鍍膜已成為最主要的薄膜材料制備方法，濺射靶材也是目前市場應(yīng)用量最大的PVD鍍膜材料。隨著消費(fèi)類電子產(chǎn)品等終端應(yīng)用市場的快速發(fā)展，濺射靶材市場規(guī)模也日益擴(kuò)大。根據(jù)數(shù)據(jù)，2016年全球高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模約113.6億美元，其中平板顯示、記錄媒體、太陽能電池和半導(dǎo)體分別占34%、29%、21%、10%。預(yù)計(jì)到2019年全球?yàn)R射靶材市場規(guī)模將超過163億美元，增幅43%，年復(fù)合增長率13%。全球?yàn)R射靶材市場規(guī)模（億美元）

1.半導(dǎo)體：中國市場增速更加穩(wěn)定，國產(chǎn)替代前景可期

半導(dǎo)體集成電路的每個(gè)單元器件內(nèi)部由襯底、絕緣層、介質(zhì)層、導(dǎo)體層及保護(hù)層等組成，其中介質(zhì)層、導(dǎo)體層、保護(hù)層均需用到濺射鍍膜工藝。而集成電路領(lǐng)域鍍膜用靶材主要?jiǎng)t包括鋁靶、鈦靶、銅靶、鉭靶、鎢鈦靶等，一般來說，110nm晶圓技術(shù)節(jié)點(diǎn)以上使用鋁導(dǎo)線，配合鈦材料做阻擋層，而110nm晶圓技術(shù)節(jié)點(diǎn)以下使用銅導(dǎo)線，配合鉭材料做阻擋層。此外，隨著技術(shù)進(jìn)步，14nm晶圓技術(shù)節(jié)點(diǎn)中還大量使用鈦材作為高介電常數(shù)的介質(zhì)金屬柵極技術(shù)的主要材料。

近年來半導(dǎo)體市場穩(wěn)步發(fā)展，2018年全球半導(dǎo)體材料銷售額519億美元，其中晶圓制造材料銷售322億美元，封裝材料銷售197億美元，總銷售額同比增長10.65%，增速較2017年繼續(xù)增加。數(shù)據(jù)顯示，濺射靶材市場約占晶圓制造材料的2.6%，約占封裝材料的2.7%，2018年全球半導(dǎo)體用靶材市場規(guī)模約13.69億美元。全球半導(dǎo)體材料銷售額及增長率

2006-2018年中國半導(dǎo)體材料銷售額穩(wěn)步增長，銷售額從2006年的23.8億美元上升至2018年的84.4億美元，從增長率角度來看增速穩(wěn)定性也大于全球。2018年中國半導(dǎo)體用靶材市場規(guī)模約19.48億元，同比增長為11.64%，增速略高于全球均值。

預(yù)期2019年全球半導(dǎo)體材料市場將增長2%，則2019年全球半導(dǎo)體用靶材市場規(guī)模約在13.96億美元，中國半導(dǎo)體用靶材市場規(guī)模約在19.87億元。半導(dǎo)體用靶材市場規(guī)模及增長率

2.平板顯示：維持平穩(wěn)增長態(tài)勢(shì)

平板顯示器種類繁多，包括液晶顯示器（LCD）、等離子顯示器（PDP）、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（OLED）以及在LCD基礎(chǔ)上發(fā)展起來的觸控（TP）顯示產(chǎn)品等。濺射靶材主要用于鍍膜，是平板顯示產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)環(huán)節(jié)主要材料。

平板顯示用濺射靶材的主要品種包括鈮、硅、鉬、鋁、鋁合金、銅、銅合金和氧化銦錫（ITO）等，靶材純度需達(dá)99.999%（5N）以上，工藝難度僅次于半導(dǎo)體靶材。全球液晶電視面板出貨量及同比增速

全球移動(dòng)PC面板出貨量及同比增速

全球液晶電視面板出貨量在2018年達(dá)到2.89億片，同比增長9.1%；2019年1-8月出貨量1.91億片，增速有所放緩，但仍維持1.81%的正增長。全球移動(dòng)PC消費(fèi)有所放緩，2018年面板出貨量2.84億片，同比增長4.49%；2019年1-8月出貨量為1.78億片，同比減少3.05%。

3.太陽能電池：2019年有望迎來復(fù)蘇

太陽能電池用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶等，純度一般要求在99.99%以上。從分類來看，鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜，鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜，ITO靶、AZO靶用于透明導(dǎo)電層薄膜。

全球光伏市場有望在2019年迎來復(fù)蘇，