標準解讀

YS/T 937-2013 是一項關(guān)于鎳鉑靶材的中國有色金屬行業(yè)標準，該標準主要規(guī)定了用于物理氣相沉積（PVD）工藝中的鎳鉑合金靶材的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存等內(nèi)容。它適用于通過粉末冶金法或其他方法制造的鎳鉑合金靶材。

在技術(shù)要求方面，標準詳細列出了鎳鉑靶材的化學成分范圍，其中鎳和鉑為主要組成元素，并對可能存在的雜質(zhì)元素設(shè)定了最大允許含量。此外，還對材料的密度、晶粒度、微觀結(jié)構(gòu)均勻性等物理性能提出了具體要求。為了保證靶材在使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性，標準中也包含了對表面質(zhì)量如裂紋、孔洞等缺陷的控制標準。

試驗方法部分涵蓋了化學成分分析、密度測量、金相組織觀察等多項檢測手段，以確保產(chǎn)品符合既定規(guī)格。同時，對于如何取樣及樣品處理也有明確指導。

檢驗規(guī)則則定義了出廠檢驗與型式檢驗的不同條件與項目，明確了不合格品處理方式。最后，在標志、包裝、運輸及儲存章節(jié)里，提供了確保產(chǎn)品質(zhì)量不受損害直至到達最終用戶手中的相關(guān)指南，包括但不限于標簽信息、防潮防震措施等。

該標準為鎳鉑靶材生產(chǎn)企業(yè)提供了一個統(tǒng)一的質(zhì)量控制框架，有助于提升國內(nèi)該類產(chǎn)品整體水平，促進產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2013-10-17 頒布
  • 2014-03-01 實施
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YS/T 937-2013鎳鉑靶材_第1頁
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文檔簡介

ICS7715099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T937—2013

鎳鉑靶材

Nickel-platinumtarget

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T937—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責起草單位有研億金新材料股份有限公司北京有色金屬研究總院

:、。

本標準參加起草單位寧波江豐電子股份有限公司中國有色金屬工業(yè)標準計量質(zhì)量研究所

:、。

本標準主要起草人朱曉光顧新福楊永剛向磊何金江郭力山呂保國姚力軍王學澤

:、、、、、、、、、

李勇軍尚再艷孫秀霖陳彩霞張麗李娜劉紅賓夏乾坤蔣宇輝

、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T937—2013

鎳鉑靶材

1范圍

本標準規(guī)定了鎳鉑靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書及合同

、、、、、、

或訂貨單內(nèi)容

()。

本標準適用于半導體薄膜用的各類鎳鉑靶材

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

金屬平均晶粒度測定法

GB/T6394

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

變形金屬超聲檢驗方法

GJB1580A

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法

YS/T837-

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

靶材target

濺射沉積技術(shù)中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形式

。、

脫離陰極而在陽極表面沉積

。

32

.

靶坯targetblank

陰極上用作目標材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶坯的部分靶材與背板可以通過焊接如釬焊電子束焊擴散焊等機械復合

。(、、)、、

粘接等方式連接

。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

411鎳鉑靶材分類按照結(jié)構(gòu)形式分為單體和復合兩種

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