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?銷售經(jīng)理學(xué)院?56套講座+14350份資料?銷售人員培訓(xùn)學(xué)院?72套講座+4879份資料蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)工程環(huán)境影響報告書簡本一、工程簡況工程名稱:蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)工程建設(shè)單位:蘇州阿特斯陽光電力科技建設(shè)規(guī)模:年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)性質(zhì):外商獨資擴建建設(shè)地點:江蘇省蘇州高新區(qū)鹿山路199號廠區(qū)二期廠房預(yù)留車間內(nèi)〔一樓〕投資總額9980萬美元占地面積:總占地66660m2〔本工程車間5000m2〕二、現(xiàn)有工程情況1、現(xiàn)有建設(shè)工程主體工程及產(chǎn)品方案現(xiàn)有建設(shè)工程主體工程及產(chǎn)品方案序號工程名稱〔車間、生產(chǎn)裝置或生產(chǎn)線〕產(chǎn)品名稱及規(guī)格設(shè)計能力年運行時數(shù)1太陽能電池片多晶硅有鉻生產(chǎn)線〔6條線〕太陽能電池片100MW/a48002太陽能電池片單晶硅無鉻生產(chǎn)線〔4條線〕太陽能電池片100MW/a3太陽能電池組件組裝線〔6條線〕太陽能電池組件100MW/a〔6條線〕*現(xiàn)有一期工程申報并通過審批的100MW/a太陽能電池組件組裝工程目前尚未建設(shè)、生產(chǎn),并將取消該工程,今后也不再建設(shè)、生產(chǎn);2、現(xiàn)有工程公用配套工程現(xiàn)有工程公用配套工程一覽表工程建設(shè)名稱設(shè)計能力備注貯運工程原料等由供給商負責(zé)送貨汽車〔8t/d〕產(chǎn)品由本單位用專車輛負責(zé)送貨汽車〔5t/d〕公用工程給水、排水、供熱、供汽、供氣、供電、綠化等輸送最大管徑25cm雨污分流變壓器最大輸送500KVA由高新區(qū)統(tǒng)一供水1200萬度/年由高新區(qū)統(tǒng)一供電綠化23685平方米廠房施工時實施環(huán)保工程廢氣處理酸堿霧洗滌塔4套〔4個15米排氣筒〕一期工程已建設(shè)實施〔8個排氣筒〕硅烷燃燒塔3套〔3個15米排氣筒〕活性炭吸附塔1套〔1個15米排氣筒〕酸堿廢氣洗滌塔處理系統(tǒng)1套〔1個25米排氣筒〕二期擴建工程已建設(shè)實施〔5個排氣筒〕鉻酸霧廢氣洗滌+塔處理系統(tǒng)1套〔1個25米排氣筒〕有機廢氣活性炭吸附系統(tǒng)1套〔1個20米排氣筒〕硅烷燃燒塔1套〔1個20米排氣筒〕多孔碳酸鈣+活性炭吸附塔1套〔1個25米排氣筒〕制純水設(shè)施膜過濾純水設(shè)施〔設(shè)計規(guī)模100t/h〕一期工程已建設(shè)實施膜過濾制純水設(shè)施〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕二期擴建工程已建設(shè)實施廢水處理酸堿廢水處理+混凝沉淀系統(tǒng)〔設(shè)計規(guī)模100t/h〕一期工程已建設(shè)實施酸性廢水處理+混凝沉淀系統(tǒng)〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕二期擴建工程已建設(shè)實施含氫氟酸廢水處理設(shè)施〔設(shè)計規(guī)模50t/h〕含鉻酸廢水處理設(shè)施〔設(shè)計規(guī)模50t/h〕廢水〔尾水〕后續(xù)處理系統(tǒng)〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕固廢處理零排放有資質(zhì)單位回收處理不產(chǎn)生二次污染危廢臨時貯存場所50㎡一、二期工程共建實施一般工業(yè)固廢貯存場所50㎡成品倉庫100㎡一般原料倉庫100㎡氣罐區(qū)30㎡危險品倉庫100㎡噪聲隔音設(shè)施、合理布局、廠界綠化隔音已實施輔助工程辦公建筑面積1174m已實施用餐地點面積100m門衛(wèi)室1個依托工程蘇州新區(qū)第二污水處理廠設(shè)計日處理8萬噸/天,一期4萬噸/天,運營穩(wěn)定3、現(xiàn)有〔一期〕工程生產(chǎn)工藝流程簡述及產(chǎn)污環(huán)節(jié)硅片腐蝕〔制絨〕、硅片腐蝕〔制絨〕、制純水廢水579.62清損耗 6.262洗96.3自來水硅片甩干硅片擴散去硅玻璃硅片甩干加減反射膜硅片反面印刷銀鋁漿W3清排水烘干硅片反面印刷鋁漿烘干硅片正面印刷銀漿燒結(jié)刻蝕太陽能電池片純水、N2POCl3、N2、O2純水、HF純水、N2SiH4、NH3、N2銀鋁漿鋁漿銀漿CF4、O2G1HCl、HF、H2、異丙醇W1含HF、HCl廢水;W2含NaOH廢水S1含堿、異丙醇廢液W3清排水W5清排水G2Cl2、P2O5G4HF、SiF4W4含HF廢水G5NH3、SiH4S2少量廢鋁漿G6少量有機物S3少量廢鋁漿G7少量有機物S4少量廢銀漿G8有機物G3CF4、SiF4NaOH、異丙醇、HCl、HF、純水委外加工單晶硅片〔單晶電池片〕一期工程主要工序流程簡述:1.硅片腐蝕(制絨)、清洗:P型單晶硅薄片,經(jīng)堿腐蝕清洗烘干,制絨主要是使用堿性溶液腐蝕硅外表形成絨面。清洗主要是處理制絨后的硅片外表,使其凈化,用氫氟酸清洗殘留的堿性物質(zhì),接著用鹽酸去除外表殘留的物質(zhì),最后再用純水清洗。此過程有廢氣產(chǎn)生,廢氣中含有HCl、HF、H2;此工序還有堿性廢水、酸性廢水產(chǎn)生,堿性廢水中主要含有氫氧化鈉,酸性廢水中主要含鹽酸、氫氟酸;另外在堿腐蝕過程還會有堿性廢液產(chǎn)生,其中含有較高濃度的異丙醇。堿腐蝕的反響方程式為:2NaOH+Si+H2O=NaSiO3+2H22.硅片擴散:硅片擴散也稱磷擴散,是在氧氣存在的條件下,磷源分解在硅中擴散而形成P-N結(jié),POCl3為電子級純度,在過程中所起作用是為擴散提供磷源,各反響化學(xué)式如下:5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片擴散工序,有廢氣產(chǎn)生,該廢氣成分有P2O5、Cl2等。3.刻蝕:主要是去除邊緣的N型硅,此工序為干法刻蝕,主要是利用四氟化碳和硅以及氧氣的反響來去除邊緣硅,其化學(xué)反響式為:CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反響完全的四氟化碳和反響生成的四氟化硅氣體逸出。4.去硅玻璃〔PSG〕:主要是用氫氟酸腐蝕硅片外表的氧化層,即去除硅片外表的SiO2層,反響生成為微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的絡(luò)合物,其一起進入酸性廢水處理。因而此工序會有少量的氫氟酸和四氟化硅揮發(fā)。5.加減反射膜:利用硅烷、氨氣之間的反響在硅片外表形成一層加減反射膜,N2不發(fā)生反響,作為保護氣體,此工序會有少量的氨氣和硅烷揮發(fā)。6.絲網(wǎng)印刷(即在硅片上印刷鋁漿、銀漿、銀鋁漿):使用漿料印刷電極,使之形成良好接觸,收集電流。主要是使用銀漿,鋁漿,銀鋁漿,一般由金屬粉末和有機溶劑以及固體樹脂構(gòu)成,經(jīng)過燒結(jié)后有機溶劑和固體樹脂都被揮發(fā),剩余金屬與硅形成合金層。7.燒結(jié)燒結(jié)工序主要是將印刷好銀漿、鋁漿、銀鋁漿的電極放入燒結(jié)爐中,使?jié){料中的水分、樹脂及某些有機物揮發(fā)出來。燒結(jié)自然冷卻后即為成品單晶硅太陽能電池片?!?〕二期擴建工程工藝流程〔多晶電池片〕G10有機物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片G1鉻酸霧、HFG2HCl、HF、異丙醇W1含鉻、HF廢水W2HF、HCl廢水S1含鉻、異丙醇廢液三氧化鉻、HF、純水異丙醇、HCl燒結(jié)S4少量廢銀漿銀漿G9少量有機物S3少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機物S2少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W5清排水純水、N2G6HF、SiF4W4含HF廢水純水、HFG5CF4、SiF4CF4、O2POCl3、N2、O2W3清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片反面印刷鋁漿烘干硅片反面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕〔制絨〕清洗〔多晶電池片〕G10有機物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片G1鉻酸霧、HFG2HCl、HF、異丙醇W1含鉻、HF廢水W2HF、HCl廢水S1含鉻、異丙醇廢液三氧化鉻、HF、純水異丙醇、HCl燒結(jié)S4少量廢銀漿銀漿G9少量有機物S3少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機物S2少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W5清排水純水、N2G6HF、SiF4W4含HF廢水純水、HFG5CF4、SiF4CF4、O2POCl3、N2、O2W3清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片反面印刷鋁漿烘干硅片反面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕〔制絨〕清洗二期擴建工程主要工序流程簡述1.硅片腐蝕(制絨)、清洗:二期擴建工程使用原材料為P型多晶硅薄片,使用堿腐蝕已無法滿足產(chǎn)品質(zhì)量需求,因此本擴建工程使用鉻酸腐蝕硅外表形成絨面〔使用濃度約在1.25%〕。清洗主要是處理制絨后的硅片外表,使其凈化,用氫氟酸清洗殘留的堿性物質(zhì),接著用鹽酸去除外表殘留的物質(zhì),最后再用純水清洗。此過程有廢氣產(chǎn)生,廢氣中含有鉻酸霧、HCl、HF、H2;此工序還有含鉻廢水、含氟廢水、酸性廢水產(chǎn)生,同時產(chǎn)生一定的廢液,其中含有較高濃度的異丙醇。2.硅片擴散:硅片擴散也稱磷擴散,是在氧氣存在的條件下,磷源分解在硅中擴散而形成P-N結(jié),POCl3為電子級純度,在過程中所起作用是為擴散提供磷源,各反響化學(xué)式如下:5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片擴散工序,有廢氣產(chǎn)生,該廢氣成分有P2O5、Cl2等。3.刻蝕:主要是去除邊緣的N型硅,此工序為干法刻蝕,主要是利用四氟化碳和硅以及氧氣的反響來去除邊緣硅,其化學(xué)反響式為:CF4+Si+O2=SiF4↑+CO2↑因而此工序有未反響完全的四氟化碳和反響生成的四氟化硅氣體逸出。4.去硅玻璃〔PSG〕:主要是用氫氟酸腐蝕硅片外表的氧化層,即去除硅片外表的SiO2層,反響生成為為微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的絡(luò)合物,其一起進入酸性廢水處理。因而此工序會有少量的氫氟酸和四氟化硅揮發(fā)。5.加減反射膜:利用硅烷、氨氣之間的反響在硅片外表形成一層加減反射膜,N2不發(fā)生反響,作為保護氣體,此工序會有少量的氨氣和硅烷揮發(fā)。6.絲網(wǎng)印刷(即在硅片上印刷鋁漿、銀漿、銀鋁漿):使用漿料印刷電極,使之形成良好接觸,收集電流。主要是使用銀漿,鋁漿,銀鋁漿,一般由金屬粉末和有機溶劑以及固體樹脂構(gòu)成,經(jīng)過燒結(jié)后有機溶劑和固體樹脂都被揮發(fā),剩余金屬與硅形成合金層。7.燒結(jié)燒結(jié)自然冷卻后即為成品單晶硅太陽能電池片。4、現(xiàn)有工程污染物排放“三本帳〞現(xiàn)有工程污染物“三本帳〞一覽表〔一期+二期〕類別工程一期〔已建〕二期〔在建〕公司目前排放總量t/a核準總量t/a排放總量t/a核準總量t/a排放總量t/a核準總量t/a廢氣鉻酸霧000.0120.0120.0120.012氟化物〔F〕0.064*0.4070.4070.4070.471*0.471HCl0.360.360.360.360.720.72異丙醇0.04*0.20.20.20.204*0.204Cl20.1150.115011501150.230.23P2O50.2930.2930.2930.2930.5860.586NH30.7150.7150.5710.5711.431.43SiH400.00420.00420.00420.00420.0042TVOC0.6910.6910.6910.6911.3821.382廢水廢水量34.86萬34.86萬19.30278萬19.30278萬54.16278萬54.16278萬COD36.5236.5226.52326.52363.04363.043SS11.8411.8411.1511.1522.9922.99NH3-N0.540.540.810.811.351.35TP0.1080.1080.1630.1630.270.27氟化物1.291.290.4990.4991.7891.789六價鉻000.030.030.030.03總鉻000.060.060.060.06固廢危險固廢000000一般工業(yè)固廢000000生活垃圾000000*氟化物、異丙醇由于在一期工程“三同時〞驗收時未檢出,因此按照檢出限的一半計算其排放量;5、現(xiàn)有工程環(huán)保驗收情況1、現(xiàn)有蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片100MW、太陽能電池組建100MW新建工程〔一期工程〕已于2023年通過蘇州市環(huán)保局環(huán)?!叭瑫r〞竣工驗收〔見蘇環(huán)驗【2023】184號〕。2、蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片100MW二期擴建工程目前正在進行試生產(chǎn)。根據(jù)企業(yè)介紹及現(xiàn)場勘查情況,目前該工程各項環(huán)保治理措施已全部到位,現(xiàn)已委托進行驗收監(jiān)測。3、在該試生產(chǎn)期間,建設(shè)單位中水回用水量到達60t/h,已滿足環(huán)評批復(fù)〔蘇環(huán)建【2023】415號〕要求的60%中水回用率。4、現(xiàn)有一期工程在后續(xù)生產(chǎn)過程中將4條無鉻生產(chǎn)線中的1條改變至有鉻生產(chǎn)線,在后續(xù)的二期擴建過程中已將6條有鉻生產(chǎn)線中的1條改變至無鉻生產(chǎn)線,建設(shè)單位從而已滿足環(huán)保主管部門環(huán)評批復(fù)對建設(shè)單位生產(chǎn)線設(shè)置要求。6、現(xiàn)有工程主要存在的環(huán)保問題a.未按照?江蘇省排污口設(shè)置及標準整治管理方法?〔蘇環(huán)控【1997】122號〕的規(guī)定標準排污口標志牌;b.需進一步完善事故應(yīng)急預(yù)案和應(yīng)急措施;三、本工程工程分析1、本工程主體工程及產(chǎn)品方案建設(shè)工程〔技改、擴建工程〕主體工程及產(chǎn)品方案序號工程名稱〔車間、生產(chǎn)裝置或生產(chǎn)線〕產(chǎn)品名稱及規(guī)格設(shè)計能力年運行時數(shù)擴建前擴建后增量1太陽能電池片多晶硅有鉻生產(chǎn)線〔6條線〕太陽能電池片100MW/a〔6條線〕260MW/a〔10條線〕160MW/a〔4條線〕4800太陽能電池片單晶硅無鉻生產(chǎn)線〔4條線〕太陽能電池片100MW/a〔4條線〕100MW/a〔4條線〕048002太陽能電池片多晶硅無鉻生產(chǎn)線〔4條線〕太陽能電池片040MW/a〔1條線〕40MW/a〔1條線〕48002、本工程公用配套工程本工程公用配套工程一覽表工程建設(shè)名稱設(shè)計能力備注貯運工程原料等由供給商負責(zé)送貨按實際情況貯運產(chǎn)品由本單位用專車輛負責(zé)送貨公用工程排水雨污分流廠房建設(shè)實施給水輸送最大管徑25cm由高新區(qū)統(tǒng)一供水供電變壓器最大輸送500KVA由高新區(qū)統(tǒng)一供電綠化不變廠房施工時已實施純水設(shè)施膜過濾〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕依托二期擴建工程設(shè)施含N廢水膜過濾純水設(shè)施1套〔100t/d〕新建,委托專門單位設(shè)計施工“三同時〞實施含P廢水膜過濾純水設(shè)施1套(10t/d)環(huán)保、輔助工程廢氣處理酸堿廢氣洗滌塔處理系統(tǒng)1套新建,委托專門單位設(shè)計施工“三同時〞實施鉻酸霧廢氣洗滌塔處理系統(tǒng)1套有機廢氣活性炭吸附系統(tǒng)1套硅烷燃燒塔1套含N廢氣洗滌塔1套含P廢氣洗滌塔1套廢水處理酸堿廢水處理+混凝沉淀系統(tǒng)1套〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕依托一、二期擴建工程設(shè)施含氫氟酸廢水處理設(shè)施1套〔設(shè)計規(guī)模50t/h〕含鉻酸廢水處理設(shè)施1套〔設(shè)計規(guī)模50t/h〕廢水〔尾水〕深度處理系統(tǒng)1套〔設(shè)計規(guī)模200t/h〕含磷廢水處理系統(tǒng)〔10t/d〕新建,委托專門單位設(shè)計施工“三同時〞實施含氮廢水處理系統(tǒng)〔100t/d〕噪聲治理噪音隔音設(shè)施、合理布局、廠界綠化隔音新建,“三同時〞實施固廢處置零排放由資質(zhì)單位回收處理不產(chǎn)生二次污染危廢臨時貯存場所50㎡依托一、二期工程已建設(shè)施一般工業(yè)固廢貯存場所50㎡成品倉庫100㎡一般原料倉庫100㎡氣罐區(qū)30㎡危險品倉庫100㎡辦公建筑面積1174m用餐地點面積100m門衛(wèi)室1個廢水事故及消防應(yīng)急共用池4000m3依托工程蘇州新區(qū)第二污水處理廠設(shè)計日處理8萬噸/天,一期4萬噸/天,運營穩(wěn)定3、本工程生產(chǎn)工藝流程及簡述〔1〕含鉻多晶硅生產(chǎn)工藝流程W3清排水W4含磷廢水G6CF4、SiF4S3含CF4廢液G7HF、SiF4W5含HF廢水太陽能電池片洗滌塔1純含P廢水2水回用循環(huán)量240純水設(shè)備純0.352水1321.564蘇制純水廢水579.62州損耗 6制純水廢水579.62.損耗 6.26296.3G1鉻酸霧G2HClG3HFW1含鉻、HF、HCl廢水S1含鹽酸、氫氟酸、鉻酸廢液三氧化鉻、HF、HCl、純水〔多晶電池片〕G11有機物G4Cl2G5P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S6少量廢銀漿銀漿G10少量有機物S5少量廢鋁漿鋁漿G9少量有機物S4少量廢鋁銀漿銀鋁漿G8NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W6清排水純水、N2HF、純水CFW3清排水W4含磷廢水G6CF4、SiF4S3含CF4廢液G7HF、SiF4W5含HF廢水太陽能電池片洗滌塔1純含P廢水2水回用循環(huán)量240純水設(shè)備純0.352水1321.564蘇制純水廢水579.62州損耗 6制純水廢水579.62.損耗 6.26296.3G1鉻酸霧G2HClG3HFW1含鉻、HF、HCl廢水S1含鹽酸、氫氟酸、鉻酸廢液三氧化鉻、HF、HCl、純水〔多晶電池片〕G11有機物G4Cl2G5P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S6少量廢銀漿銀漿G10少量有機物S5少量廢鋁漿鋁漿G9少量有機物S4少量廢鋁銀漿銀鋁漿G8NH3、SiH4SiH4、NH3、N2W6清排水純水、N2HF、純水CF4、O2POCl3、N2、O2W2清排水純水、N2硅片正面印刷銀漿烘干硅片反面印刷鋁漿烘干硅片反面印刷銀鋁漿加減反射膜硅片甩干去硅玻璃硅片擴散刻蝕硅片甩干硅片腐蝕〔制絨〕清洗本工程有鉻生產(chǎn)工藝流程圖簡述:由于本工程有鉻生產(chǎn)線在工藝、設(shè)備上根本與現(xiàn)有工程同相,只有在原輔料上不在使用異丙醇〔經(jīng)工藝探索可不用該異丙醇,不會影響產(chǎn)品品質(zhì)〕,因此本工程有鉻生產(chǎn)線工藝簡述可見本報告書現(xiàn)有工程有鉻生產(chǎn)線工藝簡述?!?〕無鉻多晶硅生產(chǎn)工藝流程G5酸霧〔NOx〕、HF、硫酸霧、SiF4W6含〔N〕、HF酸性廢水W7堿性廢水G6HFW7酸性〔HF〕廢水空氣1、HNO3、HF、H2SO4、純水2、KOH、純水3、HF、純水去硅玻璃S2含磷廢液W5含磷廢水純水、HFW4清排水G1酸霧〔NOx〕、HFG2HCl、HFW1含〔N〕、HF廢水W2堿性廢水W3含酸〔HF、HCl〕廢水S1含硝酸、氫氟酸、鹽酸廢液純水空氣1、HNO3、HF、純水2、KOH、純水3、HF、HCl、純水〔多晶電池片〕G10有機物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S5少量廢銀漿銀漿G9少量有機物S4少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機物S3少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3G5酸霧〔NOx〕、HF、硫酸霧、SiF4W6含〔N〕、HF酸性廢水W7堿性廢水G6HFW7酸性〔HF〕廢水空氣1、HNO3、HF、H2SO4、純水2、KOH、純水3、HF、純水去硅玻璃S2含磷廢液W5含磷廢水純水、HFW4清排水G1酸霧〔NOx〕、HFG2HCl、HFW1含〔N〕、HF廢水W2堿性廢水W3含酸〔HF、HCl〕廢水S1含硝酸、氫氟酸、鹽酸廢液純水空氣1、HNO3、HF、純水2、KOH、純水3、HF、HCl、純水〔多晶電池片〕G10有機物太陽能電池片G3Cl2G4P2O5委外加工多晶硅片燒結(jié)S5少量廢銀漿銀漿G9少量有機物S4少量廢鋁漿鋁漿G8少量有機物S3少量廢鋁銀漿銀鋁漿G7NH3、SiH4SiH4、NH3、N2POCl3、N2、O2硅片正面印刷銀漿烘干硅片反面印刷鋁漿烘干硅片反面印刷銀鋁漿加減反射膜枯燥硅片擴散枯燥硅片腐蝕〔制絨〕清洗本工程無鉻生產(chǎn)工藝流程圖簡述:本工藝為無鉻多晶硅工藝,是目前較先進工藝,無重金屬污染問題,具體如下:1.硅片腐蝕(制絨)、清洗:本工程使用原材料為P〔硅片類型〕型多晶硅薄片,使用硝酸、氫氟酸、鹽酸的混合酸〔按一定比例配比〕腐蝕硅外表形成絨面。噴淋清洗處理制絨后的硅片外表,使其凈化;然后再用氫氧化鉀〔濃度65%〕腐蝕并噴淋清洗,接著用氫氟酸、鹽酸的混合酸〔按一定比例配比〕去除外表殘留的物質(zhì),最后再用純水噴淋清洗。此過程有廢氣產(chǎn)生,廢氣中含有氮氧化物、硫酸霧、HCl、HF、H2;此工序還有含N廢水、含氟廢水、酸性廢水產(chǎn)生,同時產(chǎn)生一定的廢液。經(jīng)以上清洗后進行空氣枯燥。2.硅片擴散:硅片擴散也稱磷擴散,是在氧氣存在的條件下,磷源分解在硅中擴散而形成P-N結(jié),POCl3為電子級純度,在過程中所起作用是為擴散提供磷源,各反響化學(xué)式如下:5POCl3=3PCl5+P2O52P2O5+O2+6Si=4P+6SiO24PCl5+5O2=2P2O5+10Cl24POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2因而硅片擴散工序,有廢氣產(chǎn)生,該廢氣成分有P2O5、Cl2等。3.去硅玻璃:本工藝分為三段腐蝕,先用硝酸、氫氟酸、硫酸的混合酸〔按一定比例配比〕腐蝕硅片外表的氧化層,再用純水噴淋清洗,再用氫氧化鉀〔濃度45%〕腐蝕后純水噴淋清洗,最后用氫氟酸、硫酸的混合酸〔按一定比例配比〕腐蝕后純水噴淋清洗,以上工序為去除硅片外表的SiO2層,反響生成為為微量的SiF4和[H2SiF6]2-少量的絡(luò)合物,以上清洗廢水分別進入含N廢水處理設(shè)施處理及酸堿廢水處理設(shè)施處理。因而此工序會有少量的氮氧化物、硫酸霧、HCl、HF和四氟化硅揮發(fā)。5.加減反射膜:利用硅烷、氨氣之間的反響在硅片外表形成一層加減反射膜,N2不發(fā)生反響,作為保護氣體,此工序會有少量的氨氣和硅烷揮發(fā)。6.絲網(wǎng)印刷(即在硅片上印刷鋁漿、銀漿、銀鋁漿):使用漿料印刷電極,使之形成良好接觸,收集電流。主要是使用銀漿,鋁漿,銀鋁漿,一般由金屬粉末和有機溶劑以及固體樹脂構(gòu)成,經(jīng)過燒結(jié)后有機溶劑和固體樹脂都被揮發(fā),剩余金屬與硅形成合金層。7.燒結(jié)燒結(jié)自然冷卻后即為成品單晶硅太陽能電池片。4、資源及能源消耗本工程原輔材料及能源序號原輔料名稱年耗量1原料硅片〔Si〕900t〔約7200萬片〕2輔料氮氣(99.99%)690t〔約85萬m3〕3硅烷(99.999%)2800kg4氨氣(99.999%)2040kg5CF4(99.999%)6.048t〔約3760m36氧氣(99.99%)142.856t(約12.5萬m3〕7三氯氧磷〔99%〕3.92t〔約2333m38銀漿4200kg9鋁漿54000kg10銀鋁漿4200kg11鹽酸〔36%〕134.568t12氫氟酸〔40%分析純〕449.1488t13三氧化鉻〔99.5%〕91.2t14硝酸〔65%分析純〕365.04t15氫氧化鉀〔45%分析純〕30.12t16硫酸〔98%工業(yè)級〕2.52t17水處理藥劑聚合氯化鋁〔工業(yè)級、固體〕25噸18高分子混凝劑〔工業(yè)級、固體〕0.3噸19氫氧化鈉(90%工業(yè)級、固體)16噸19CaCl2(70%工業(yè)級)13噸20能源水26.37萬21電1200萬度5、主要生產(chǎn)設(shè)備、公用及貯運設(shè)備本工程主要設(shè)備表序號設(shè)備名稱規(guī)格〔型號〕數(shù)量備注1生產(chǎn)設(shè)備有鉻線擴散前清洗機/8臺新增2擴散爐/4臺3擴散后清洗機/4臺4PECVD鍍膜機SLPC-71HR44臺5等離子刻蝕機M4220016臺6絲網(wǎng)印刷機J1762CLD/CUL4臺7燒結(jié)爐PVD-6004臺8甩干機/8臺9無鉻線擴散前清洗機/1臺10擴散爐/1臺11擴散后清洗機/1臺12PECVD鍍膜機/1臺13絲網(wǎng)印刷機/1臺14燒結(jié)爐/1臺15輔助設(shè)備冷凍機/2臺新增16空壓機/6臺17組合式空調(diào)凈化系統(tǒng)0-20T4套18通風(fēng)系統(tǒng)〔風(fēng)機〕4套為備用48套19水泵/10臺20氮氣、氧氣儲罐氧氣20m1個依托21氮氣20m1個22膜過濾制純水設(shè)施設(shè)計能力200t/h1套23含N廢水膜過濾純水設(shè)施100t/d1套新增24含P廢水膜過濾純水設(shè)施10t/d1套26環(huán)保設(shè)備酸性廢水處理+混凝沉淀系統(tǒng)設(shè)計能力200t/h1套依托27含氫氟酸廢水處理設(shè)施設(shè)計能力50t/h1套28含鉻酸廢水處理設(shè)施設(shè)計能力50t/h1套29廢水〔尾水〕深度處理系統(tǒng)〔中水回用〕設(shè)計能力200t/h1套30含N廢水處理系統(tǒng)〔回用〕100t/d1套新建31含P廢水處理系統(tǒng)〔回用〕10t/d1套32含鉻酸霧廢氣洗滌塔處理系統(tǒng)設(shè)計風(fēng)量70000m31套新建33酸性廢氣洗滌塔處理系統(tǒng)設(shè)計風(fēng)量70000m31套34含N廢氣洗滌塔設(shè)計風(fēng)量70000m31套35含P廢氣洗滌塔設(shè)計風(fēng)量70000m31套36有機廢氣活性炭纖維吸附系統(tǒng)風(fēng)量40000m31套37硅烷燃燒風(fēng)量6400m1套38噪音隔音設(shè)施/4套6、污染源強及污染物排放量分析〔1〕本工程的廢氣產(chǎn)生情況本工程廢氣產(chǎn)生情況一覽表廢氣類別排氣筒編號主要污染因子產(chǎn)生環(huán)節(jié)防治措施有組織排放廢氣工藝廢氣G14鉻酸霧有鉻線腐蝕〔制絨〕鉻酸霧洗滌+高空集中25m高排氣筒排放G15氟化物、HCl、Cl2、CF4、SiF4、硫酸霧腐蝕〔制絨〕、硅片擴散、去硅玻璃洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放G16P2O5硅片擴散洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放G17NOx無鉻線腐蝕〔制絨〕、去硅玻璃洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放G18SiH4、NH3加減反射膜硅烷燃燒+高空集中25m高排氣筒G19揮發(fā)性有機廢氣〔TVOC〕印刷、烘干活性炭纖維+高空集中25m高排氣筒無組織排放廢氣-鉻酸霧、氟化物、硫酸霧、HCl、Cl2、P2O5、NH3、SiH4、TVOC等未收集廢氣及化學(xué)品倉庫無組織排放本工程廢氣產(chǎn)生排放情況一覽表廢氣類型廢氣量m3/h污染因子產(chǎn)生濃度〔mg/m3〕產(chǎn)生速率〔kg/h〕處理方案處理效率排放濃度〔mg/m3〕排放速率〔kg/h〕工藝廢氣G1470000鉻酸霧0.120.008鉻酸霧洗滌塔90%0.0120.0008工藝廢氣G570000氟化物25.51.7857洗滌塔98.6%0.3570.025HCl7.590.531380%3.120.10626硫酸霧0.40.02860%0.160.0112Cl21.20.08440%0.720.0504工藝廢氣G1670000P2O52.4660.1726洗滌塔40%1.480.10356工藝廢氣G1770000NOx12.7380.892洗滌塔80%5.0950.1784工藝廢氣G1840000NH378.623.1448硅烷燃燒95%7.8620.15724SiH40.92080.036895%0.0460.00184有機廢氣G196400TVOC461.82.955活性炭纖維90%46.180.2955廢氣類型廢氣量m3/h污染因子產(chǎn)生量〔t/a〕處理方案處理效率排放量〔t/a〕無組織排放廢氣〔車間+化學(xué)品庫〕-鉻酸霧0.0002--0.0002氟化物0.0060.006HCl0.0260.026硫酸霧0.00280.0028NOx0.00450.0045P2O50.00260.0026Cl20.0120.012NH30.0390.039SiH40.000460.00046TVOC0.0740.074注:車間有機廢氣未收集排放量以5%計;化學(xué)品原料倉庫揮發(fā)量按萬分之一計;〔2〕本工程的廢誰產(chǎn)生情況本工程廢水產(chǎn)生情況一覽表(t/a)編號名稱產(chǎn)生量pHCODCrmg/lSSmg/lNH3-Nmg/lTPmg/lFmg/l六價鉻mg/lW1含鉻廢水800963-5100250///50W2含氟廢水1202453-550250//150/W3含N廢水188823-510050500/100/W4含P廢水20463-510050/300//W5酸堿廢水1049872-1410070////W6生活污水120006-9400200204//W7工藝甩干水、制純水廢水〔清下水〕3263646-9<40<30////廢水總排口排放指標表(t/a)編號名稱排放量pHCODCrmg/lSSmg/lNH3-Nmg/lTPmg/lFmg/l六價鉻mg/l總鉻mg/l1工業(yè)廢水125222.46-96820//30.130.262生活污水12000直接排入市政污水管網(wǎng)2清下水326364入清下水管網(wǎng)〔3〕固廢本工程固體廢棄物產(chǎn)生情況一覽表t/a名稱產(chǎn)生量類別危廢編號廢銀漿、廢鋁漿、廢銀鋁漿0.17危險廢物〔HW42〕廢酸液877.429644危險廢物〔HW34〕含鉻廢液115.78352危險廢物〔HW21/42〕廢堿液15.256危險廢物〔HW35〕含鉻廢水處理污泥〔餅〕64危險廢物〔HW21〕廢活性炭纖維4危險廢物〔HW42〕含氮濃水3776.4危險廢物〔HW34〕總混合廢水處理污泥〔餅〕576一般廢物99廢制純水膜3.2一般廢物99廢包裝材料8一般廢物99生活垃圾150一般廢物99危險廢物委托有資質(zhì)單位進行回收處理,一般工業(yè)廢物由專門單位回收處理,生活垃圾那么委托新區(qū)環(huán)境衛(wèi)生管理部門妥善處理?!?〕噪音本工程主要噪聲源源強表編號噪聲源名稱源強dB(A)數(shù)量聲源所在位置1PECVD鍍膜機75~855車間內(nèi)2清洗機75~8014車間內(nèi)3冷凍機75~802車間內(nèi)4水處理設(shè)施泵75~8510車間外5風(fēng)機75~8548車間外為降低噪聲污染,公司將通過選用低噪聲設(shè)備,采取一系列噪聲污染控制措施等方式來降低噪音。如為高噪聲設(shè)備配置隔聲罩,廠界墻體、綠化隔音,廠界噪聲能夠到達?工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準?〔GB12348-2023〕3類標準要求。7、本工程實施后污染物“三本帳〞本工程實施后污染物“三本帳〞污染物種類污染物名稱現(xiàn)有工程排放量t/a本工程“以新帶老〞消減量*t/a排放總量t/a排放增減量t/a產(chǎn)生量t/a削減量t/a排放量t/a廢氣鉻酸霧0.0120.03840.034560.0038400.015840.00384氟化物0.471*8.5718.4510.1200.5910.12HCl0.722.552.040.5101.230.51異丙醇0.204*00000.204*0硫酸霧00.1340.076640.0537600.053760.05376Cl20.230.40320.161280.2419200.471920.24192P2O50.5860.8280.3310.49701.0830.497NOx04.28163.42560.85600.8560.856NH31.4315.09514.340.75502.1850.755SiH40.00420.17660.16780.008800.0130.0088TVOC1.38214.37612.93841.437602.81961.4376廢水廢水量54.1627833.825620.1033613.7222414.453.48503-6.7775CODcr63.04331.4133518.0983513.31514.461.958-1.085SS22.9961.431956.52794.9044.3223.5740.584NH3-N1.359.6819.4410.240.1441.4460.096TP0.270.66180.61380.0480.04320.27480.0048F1.78919.9249519.548950.3760.4321.733-0.056總鉻0.060-0.0160.0320.02880.06320.0032六價鉻0.034.00483.98880.0160.01440.03160.0016固體廢棄物危險廢物04853.044853.040000一般固廢0587.2587.20000生活垃圾01501500000*氟化物、異丙醇由于在一期工程“三同時〞驗收時未檢出,因此按照檢出限的一半計算其排放量;廢水“以新帶老〞消減量中各污染物濃度在一期工程驗收監(jiān)測數(shù)據(jù)根底上核算;8、環(huán)保措施投資環(huán)保措施投資清單污染源環(huán)保設(shè)施名稱環(huán)保投資〔萬美元〕數(shù)量備注廢水含鉻廢水處理設(shè)施0/依托含氟廢水處理設(shè)施0/依托酸堿中和處理設(shè)施0/依托中水回用設(shè)施0/依托含N、P廢水濃縮回用設(shè)施44各1套新增廢氣含鉻廢氣洗滌塔61.61新增酸堿廢氣洗滌塔3.21含P廢氣洗滌塔3.21含N廢氣洗滌塔3.21硅烷燃燒塔301活性炭吸纖維附裝置1.61固廢固廢處置0/依托危廢臨時貯存廠所噪聲減噪、降震等綜合治理3.2/新增綠化///依托消防///依托監(jiān)測儀器///依托排污口整治等///依托清污分流管網(wǎng)建設(shè)///依托小計150萬美元9、本工程環(huán)?!叭瑫r〞檢查本工程環(huán)?!叭瑫r〞檢查一覽表〔試行〕工程名稱蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)工程類別污染源污染物治理措施〔設(shè)施數(shù)量、規(guī)模、處理能力等〕處理效果、執(zhí)行標準或擬達要求完成時間廢氣鉻酸霧洗滌塔鉻酸霧鉻酸霧洗滌+高空集中25m高排氣筒排放達標排放“三同時〞實施酸堿廢氣洗滌塔氟化物、HCl、Cl2、CF4、SiF4、硫酸霧洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放酸堿廢氣洗滌塔P2O5洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放酸堿廢氣洗滌塔NOx洗滌塔+高空集中25m高排氣筒排放硅烷燃燒塔SiH4、NH3硅烷燃燒+高空集中25m高排氣筒活性炭纖維吸附裝置揮發(fā)性有機廢氣〔TVOC〕活性炭纖維+高空集中25m高排氣筒廢水含鉻廢水處理設(shè)施CODCr、SS、六價鉻、總鉻含鉻廢水處理設(shè)施達標排放依托現(xiàn)有設(shè)施含氟廢水處理設(shè)施CODCr、SS、F含氟廢水處理設(shè)施酸堿廢水處理設(shè)施CODCr、SS酸堿中和調(diào)節(jié)設(shè)施含N廢水CODCr、SS、NH3-N、F含N廢水處理回用設(shè)施達標排放“三同時〞實施含P廢水CODCr、SS、TP含P廢水處理回用設(shè)施生活污水CODCr、SS、NH3-N、TP直接入市政污水管網(wǎng)達標排放利用現(xiàn)有管網(wǎng)清下水CODCr、SS直接入清下水管網(wǎng)達標排放利用現(xiàn)有管網(wǎng)噪聲PECVD鍍膜機、清洗機、研磨機、去毛刺機、水處理設(shè)施泵、風(fēng)機噪音隔聲罩,隔聲墻體、綠化隔音達標排放“三同時〞實施固廢工業(yè)固廢和生活垃圾委托有資質(zhì)單位處理及當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門處理零排放/綠化19205///依托現(xiàn)有事故應(yīng)急措施消防、事故一體池4000/依托現(xiàn)有設(shè)施環(huán)境管理〔機構(gòu)、監(jiān)測能力等〕////依托現(xiàn)有設(shè)施清污分流、排污口標準化設(shè)置〔流量計、在線監(jiān)測儀等〕////依托現(xiàn)有設(shè)施“以新帶老〞措施工業(yè)廢水排放量削減;排污口整治;事故應(yīng)急預(yù)案、應(yīng)急措施;“三同時〞實施總量平衡具體方案由于本工程屬于國家、地方鼓勵類工程,因此本工程新增大氣污染物排放指標由于非國家、地方總量控制指標,建議作為區(qū)域自控指標;水污染物六價鉻、總鉻排放總量在蘇州通安電鍍廠關(guān)閉削減總量內(nèi)“減一增一〞平衡,其余新增水污染物排放指標總量建議在蘇州新區(qū)第二污水廠提標改造已核準削減總量內(nèi)“減一增一〞平衡/區(qū)域解決問題//衛(wèi)生防護距離設(shè)置〔以設(shè)施或廠界設(shè)置,敏感保護目標情況等〕//四、結(jié)論1、產(chǎn)業(yè)政策相符性蘇州阿特斯陽光電力科技是投資在蘇州高新區(qū)內(nèi)的外商獨資企業(yè)主要從事研發(fā)、生產(chǎn)太陽能綠色電池及相關(guān)產(chǎn)品、太陽能電池片等新型光電子器件及元器件專用硅材料,并從事太陽能電站的建設(shè),銷售自產(chǎn)產(chǎn)品,并提供相關(guān)技術(shù)、咨詢和銷售效勞。其本工程產(chǎn)品屬蓄電池制造業(yè)。屬于“中華人民共和國國家開展和改革委員會〞、“中華人民共和國商務(wù)部〞第57號令?外商投資產(chǎn)業(yè)指導(dǎo)目錄?第一類鼓勵類,三、制造業(yè)〔二十一通信設(shè)備、電子計算機及其他電子設(shè)備制造業(yè)18.高技術(shù)綠色電池制造:動力鎳氫電池、鋅鎳蓄電池、鋅銀蓄電池、鋰離子電池、高容量全密封免維護鉛酸蓄電池、太陽能電池、燃料電池、圓柱型鋅空氣電池等;屬于?江蘇省工業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄?〔蘇政辦發(fā)[2023]140號〕,第一類鼓勵類,十一、輕工13.高技術(shù)綠色電池產(chǎn)品制造(無汞堿錳電池、氫鎳電池、鋰離子電池、高容量密封型免維護鉛酸蓄電池、燃料電池、鋅空氣電池、太陽能電池)類;屬于?蘇州市產(chǎn)業(yè)開展導(dǎo)向目錄〔2023年本〕?第一類鼓勵類,十、輕工〔五〕光伏電池開發(fā)類。因此,蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)工程是符合國家、地方鼓勵類產(chǎn)業(yè)政策的。本工程地區(qū)域為太湖三級保護區(qū),本工程無含氮、磷工業(yè)廢水排放,廢水經(jīng)市政污水管網(wǎng)入蘇州新區(qū)第二污水處理廠處理,因此本工程符合?江蘇省太湖水污染防治條例?〔第141號公告,江蘇省第十屆人民代表大會常務(wù)委員會第三十二次會議于2007年9月27日修訂通過,2008年6月5日實施〕的相關(guān)要求。2、規(guī)劃相符性蘇州阿特斯陽光電力科技年產(chǎn)太陽能電池片200MW建設(shè)工程建設(shè)地點位于江蘇省蘇州高新區(qū)鹿山路199號廠區(qū)二期廠房預(yù)留車間內(nèi)〔一樓〕。廠區(qū)周邊500米范圍內(nèi)無居民、學(xué)校等環(huán)境敏感目標。工程所在地屬于蘇州高新區(qū)規(guī)劃的工業(yè)用地,選址符合蘇州高新區(qū)城市開展總體規(guī)劃。3、污染物達標排放〔1〕大氣污染物達標排放本工程產(chǎn)生的大氣污染物主要為腐蝕〔制絨〕清洗、擴散、蝕刻等工序產(chǎn)生,分別經(jīng)廢氣處理設(shè)施處理后,尾氣通過高度為25米的排氣筒向外排放,其排放濃度和排放速率能夠滿足?大氣污染物綜合排放標準?〔GB16297-1996〕二級標準要求及其相應(yīng)標準?!?〕水污染物達標排放本工程產(chǎn)生的廢水主要包括:工業(yè)廢水〔含鉻廢水、含氟廢水、酸堿廢水〕、清下水〔甩干廢水、制純水廢水〕、生活廢水,其主要的污染因子為CODcr、SS、六價鉻、總鉻、氟化物等。預(yù)計工程建成后排水量約為13.72224萬t/a。其中生活污水1.2萬t/a,主要的污染物為CODcr、BOD5等耗氧物質(zhì),可以到達?污水綜合排放標準?〔GB8978-1996〕中表4第二類污染物最高允許排放濃度中的三級標準要求,直接通過市政污水管網(wǎng)排入蘇州新區(qū)第二污水處理廠進行集中處理;經(jīng)回用后排放工業(yè)廢水12.52224萬t/a,與生活污水1.2萬t/a一并排放;清下水〔甩干廢水、制純水廢水〕32.6364萬t/a,直接經(jīng)清下水管網(wǎng),排入附近河流。〔3〕噪聲達標本工程運營期的主要噪聲源為PECVD鍍膜機、清洗機、研磨機、去毛刺機、水處理設(shè)施泵、風(fēng)機等設(shè)備的工作噪聲。上述設(shè)備噪聲通過安裝隔音設(shè)施、墻體隔音以及距離衰減后,本工程廠界晝間噪聲<65dB(A),夜間噪聲<55dB(A),能夠到達?工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準?〔GB1
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