ESD知識介紹的資料第1頁/共46頁1.認識靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄第2頁/共46頁認識靜電---靜電現(xiàn)象顯示屏吸塵開門觸電“火星四濺”閃電日常生活中有哪些靜電現(xiàn)象？靜電無處不在ESD=ElectrostaticDischargeESD是20世紀中期以來形成的以研究靜電的產(chǎn)生、危害及靜電防護等的學科。

第3頁/共46頁認識靜電---對靜電的感知人體能夠感覺到靜電時一般電壓超過2000V。靜電不易感知的原因：電量小，放電時間短See5000VHear4500VTouch3000VComponentDamage5-50V第4頁/共46頁靜電(Electrostatic)就是物質表面電子不均衡分布引起的一種電荷，通常是由兩種物體先接觸后再分離而產(chǎn)生的。認識靜電---靜電概念第5頁/共46頁摩擦起電電荷傳導真空離子轟擊感應帶電認識靜電---靜電產(chǎn)生的途徑第6頁/共46頁認識靜電---摩擦起電第7頁/共46頁分離速度42表面的均勻度3接觸壓力、磨力1接觸的程度認識靜電---決定摩擦電壓的因素材料不同摩擦電壓明顯不同。環(huán)境溫度濕度對摩擦電壓也有顯著影響.第8頁/共46頁4清潔動作1人體走動2取放物品3設備的運動認識靜電---摩擦起電(常見例子)第9頁/共46頁認識靜電---傳導帶電一個不帶電的物體接觸帶電的物體會通過傳導帶上相同的電荷(電荷分享)第10頁/共46頁認識靜電---感應帶電++++++++接近靜電傳遞+++接地++++++++++離開帶電體產(chǎn)生電場，電場中的導體因電荷轉移而帶電第11頁/共46頁認識靜電---真空離子轟擊真空濺射;真空預清洗等類似工藝常見氬離子(Ar+)轟擊第12頁/共46頁項目靜電直流/交流電現(xiàn)象瞬時高電壓/大電流,小電量持續(xù)電荷/電壓,大電量放電時間瞬間放電（皮秒~納秒）可持續(xù)放電能量通常情況下能量很小能量更大人體感覺不易感覺，通常情況下

幾千伏以上才能感覺36V以上的電壓即

可對人體構成危害認識靜電---靜電和直流/交流電區(qū)別第13頁/共46頁1.認識靜電2.靜電危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄第14頁/共46頁靜電危害---對微電子工業(yè)造成的損失其他30~50%EOS/ESD歐洲調查數(shù)據(jù)8~33%ESDalone其他美國ESD協(xié)會調查數(shù)據(jù)60~75%EOS/ESD其他日本調查數(shù)據(jù)EOS:ElectricalOverStress,過電應力,ESD是過電應力的一種形式.是指元器件承受的電流或電壓應力超過其允許的最大范圍靜電在多個領域造成嚴重危害。石油化工,航空航天,微電子工業(yè),

印刷,紡織等.第15頁/共46頁靜電危害---對電子器件IC的破壞即使是相當小的靜電放電也可能損壞電子器件ESDdamageFieldfailureHBMsimulationfailureBipolarIC典型癥狀:融化或者擊穿第16頁/共46頁靜電危害---硬盤磁頭破壞Class0levelESD極度敏感元件:硬盤讀寫磁頭,5V靜電放電就可以徹底摧毀它.典型癥狀:短路或者電介質擊穿第17頁/共46頁1加速產(chǎn)品老化2改變產(chǎn)品性能參數(shù)3損害產(chǎn)品核心部位靜電危害---ESD破壞分類硬性失效(harddamage)和潛在性失效(latentdamage)是靜電危害中最重要的兩種現(xiàn)象;硬性失效容易判斷檢測;潛在性失效難以判斷,部分流入下一工序/成品/消費者手上.第18頁/共46頁1.認識靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電的防護及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄第19頁/共46頁服裝軟包裝及操作工序地板工作表面芯片載體靜電源生產(chǎn)過程中的靜電來源第20頁/共46頁1.認識靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電防護及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄第21頁/共46頁靜電的防護中和靜電屏蔽ESD監(jiān)測

儀器儀表接地

溫濕度材料選擇建立管理體系培訓及宣傳靜電防護工作是一項長期的系統(tǒng)工程,任何環(huán)節(jié)的失誤或疏漏,都將導致靜電防護工作的失敗,甚至災難性的后果.第22頁/共46頁靜電防護---ESD工作站第23頁/共46頁將靜電/噪聲電流通過接地線或接地裝置傳導泄放到大地,維持工作站等電位要求.基本原理靜電防護---接地做法：建立機器設備接地系統(tǒng)使用靜電導電或靜電耗散材料并接入ESD接地系統(tǒng)人體佩戴手腕帶，并接入ESD接地系統(tǒng)人體穿防靜電衣服及靜電鞋防靜電地板(如果必要)第24頁/共46頁基本原理靜電防護---中和（離子化）利用尖端放電或者射線,在空氣產(chǎn)生正負離子，中和靜電。使用對象絕緣體或不易接地的金屬導體做法：離子風機、離子風槍、離子棒第25頁/共46頁靜電防護---濕度控制基本原理：增加濕度減少靜電的產(chǎn)生,降低摩擦電壓,減少靜電累積.做法：控制濕度在40～65%(結合實際狀況)關注有無對產(chǎn)品/機器設備/夾具的腐蝕第26頁/共46頁靜電防護---工業(yè)安全防止意外漏電等情況：安全電流：10mA限流電阻：1MΩ漏電斷電保護器其他安全考慮：出現(xiàn)危險時容易脫開無腐蝕，無刺激等第27頁/共46頁ESDS器件警示標志ESDS保護標志

共同接地點標志靜電防護---ESD標志和標注第28頁/共46頁接地點標志（一般用于設備）可能含高電壓的EPA標志

防靜電區(qū)（EPA）標志

靜電防護---ESD標志和標注第29頁/共46頁可回收使用標志，常用于包裝上早期的靜電敏感器件標志，現(xiàn)在還有少數(shù)產(chǎn)品在用警示標帶，可用于多種區(qū)域靜電防護---ESD標志和標注第30頁/共46頁培訓大綱與人員培訓防靜電工藝和設計文件規(guī)章制度和操作規(guī)程靜電防護---培訓及宣傳第31頁/共46頁建立管理體系(文件)/(小組)/(支持)定期審核和檢查(內部的)/(客戶的)/(第三方的)ESD標準更新(來自客戶的要求)/(來自產(chǎn)品的要求)(行業(yè)的要求)靜電防護---管理體系第32頁/共46頁靜電檢測---ESD測量項目人體接地狀況;地板檢測及其性能監(jiān)測;工廠整體接地方案監(jiān)測;機器接地狀況;關鍵工序噪聲電壓/電流監(jiān)測;非金屬材料檢測及其性能監(jiān)測;產(chǎn)品包裝材料檢測;離子風機評估及其定期監(jiān)測;溫度濕度監(jiān)測.第33頁/共46頁1.認識靜電2.靜電的危害3.生產(chǎn)過程中的靜電來源4.靜電防護及檢測5.常用防靜電產(chǎn)品目錄第34頁/共46頁手腕帶*所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設施有直接接觸的人員在加工中或在成品處理中必須佩戴腕帶；*作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進行更換，直到檢測合格為止。第35頁/共46頁防靜電服屏蔽作用:防止衣物產(chǎn)生的靜電場通過與身體的接觸，將靜電通過人體－手腕帶－防靜電鞋泄放到大地防靜電服的技術要求：布片之間相互導通與人體有效接觸覆蓋內部衣物第36頁/共46頁防靜電鞋每天在人體綜合阻值測量儀上檢測穿戴后能否達到要求洗滌后，或被酒精丙酮等溶劑浸漬后檢測電阻值是否符合要求腳束帶、防靜電鞋套佩戴時導電帶一定要通過緊貼皮膚與人體連接第37頁/共46頁離子風機

離子風機是通過離子化空氣,產(chǎn)生正、負離子，中和物體表面的靜電，從而達到防止并消除靜電危害。分類:直流式和交流式,以及射線等幾種.第38頁/共46頁防靜電臺墊耗散層表面電阻為106~109Ω/sq，導電層表面電阻為103~105Ω/sq衰減時間為小于0.1秒防靜電臺墊是用來降低/隔離普通桌面對產(chǎn)品ESD影響;使用時必須正確可靠接地。第39頁/共46頁防靜電包裝袋屏蔽袋、防潮袋－－最安全的包裝袋導電袋，一般為永久性防靜電材料暫時性防靜電材料制成的包裝袋，需要定期評估注意：防靜電包裝袋應標注防靜電標志，以示區(qū)別！第40頁/共46頁防靜電產(chǎn)品---靜電椅

系統(tǒng)電阻：106～108Ω第41頁/共46頁ESDA(ESDAssociation）美國防靜電協(xié)會,是全球最權威的ESD標準制定組織之一.成立于1982年.附錄:ESD重要技術標準及組織主要指導性標準:ANSI/ESDS20.20靜電防護體系標準ESDADV2.0ESD手冊IEC(TheInternationalElectrotechnicalCommission)國際電工委員會,是全球最早的國際性電工