孔內(nèi)膠渣去除不盡改善報告、定義問題：經(jīng)過PTH后之產(chǎn)品孔內(nèi)殘有DESMEAR未去除干凈，影響產(chǎn)品信賴度引發(fā)客戶抱怨。、現(xiàn)象描繪：經(jīng)過PTH后之產(chǎn)品孔內(nèi)孔銅與內(nèi)層銅連接處殘有DESMEAR未去除干凈，不影響內(nèi)外層導(dǎo)通性能，電性測試無法檢測，只能通過做孔壁切片分析才能看到缺點現(xiàn)象?！踩缦铝袌D〕DESMEAR試無法檢測，只能通過做孔壁切片分析才能看到缺點現(xiàn)象。〔如下列圖〕DESMEAR三、原因分析：殘膠熔化PTH三、原因分析：殘膠熔化PTH除膠才能變小Spindle溫度過高熱壓時間太短Tg值異常彭松槽濃度較低壓合溫度偏低彭松槽溫度較低除膠槽濃度較低除膠槽溫度較低孔壁粗糙度過大-鉆頭限孔數(shù)太多疊板數(shù)過多進、退刀速度過快鉆孔參數(shù)異Spindle溫度過高熱壓時間太短Tg值異常彭松槽濃度較低壓合溫度偏低彭松槽溫度較低除膠槽濃度較低除膠槽溫度較低孔壁粗糙度過大-鉆頭限孔數(shù)太多疊板數(shù)過多進、退刀速度過快鉆孔參數(shù)異Spindle轉(zhuǎn)速較慢集塵機吸力較小為什么除膠渣不盡鉆頭研磨次數(shù)較多孔內(nèi)膠渣過大粗糙度及釘頭子有OUTSPEC范圍異?！哺郊常闯z渣不良之ROOTCAUSE為鉆孔孔壁粗糙度過大導(dǎo)致釘頭過大，產(chǎn)生超出PTH沉銅線除膠渣制程才能范圍〔SPEC：74—120U”〕外之DESMEAR。四、改善對策:1、更改多層板鉆孔之疊板數(shù)。〔見下表〕DrillStackedHeightHolesizeBoardthicknessBeforeUnitNoUnit1.60mm3PNL2PNL1.50mm3PNL2PNL1.20mm4PNL3PNL1.00mm4PNL3PNL0.80mm4PNL3PNL0.60mm5PNL4PNL0.40mm6PNL5PNL1.60mm3PNL2PNL1.50mm3PNL2PNL1.20mm4PNL3PNL1.00mm4PNL3PNL0.80mm4PNL3PNL0.60mm5PNL4PNL0.40mm6PNL5PNL1.60mm3PNL2PNL1.50mm3PNL2PNL1.20mm4PNL3PNL1.00mm4PNL3PNL0.80mm5PNL4PNL0.60mm5PNL4PNL0.40mm6PNL5PNL1.60mm3PNL2PNL1.50mm3PNL2PNL1.20mm4PNL3PNL1.00mm4PNL3PNL0.80mm5PNL4PNL0.60mm5PNL4PNL0.40mm6PNL5PNL2、針對多層板部分小鉆頭之限孔數(shù)及鉆頭研磨次數(shù)規(guī)定如下：?研次及限孔鉆頭直徑f、一、、全新研一備注原SOP限孔數(shù)現(xiàn)SOP限孔數(shù)原SOP限孔數(shù)現(xiàn)SOP限孔數(shù)2200190020001600不可使用研22001900200016002200190020001600一〔不含〕2200190020001600以上之鉆頭22001900200016003、鉆針室對鉆頭之品質(zhì)作全檢，檢驗工程包括：刀面有無崩角、缺口、槽損等缺點。4、規(guī)定作業(yè)員更換鉆頭必須在停機狀態(tài)下進展，防止損傷鉆頭引發(fā)品質(zhì)異常。五、效果確認：1、改善對策執(zhí)行前品保部化驗室連續(xù)在不同的工序抽樣做切片分析，結(jié)果顯示除膠不盡缺點率為20.86%(見下表)。孔內(nèi)膠渣切片分析數(shù)據(jù)日期抽樣料號抽樣地點(PNL)抽樣數(shù)(PNL)除膠渣不盡數(shù)量(PNL)不良率(％)3月19日107H4045CuI600.00%100H4045CuI800.00%123H4002CuI6233.33%089E4002C干膜7228.57%089E6031A檢三6233.33%089E4004C倉庫9111.11%089F4024B倉庫600.00%3月20日100H4045CuI600.00%123H4002CuI800.00%3月21日089F4024CuI600.00%100F4008CuI10220.00%035H6072CuI8112.50%3月22日120H4012噴錫8225.00%成型10660.00%檢三8225.00%倉庫9222.22%120H4019噴錫8337.50%防焊10440.00%合計1392920.86%備注:以上數(shù)據(jù)源于品保部化驗室切片分析報表。均未發(fā)現(xiàn)有除膠不盡之缺點；釘頭OUTSPEC范圍缺點率為1.31%〔見下表〕孔內(nèi)膠渣切片分析數(shù)據(jù)日期抽樣料號抽樣數(shù)(PNL)除膠渣不盡數(shù)量(PNL)膠渣(U")孔壁粗糙度(U")內(nèi)層銅(U")釘頭范圍(U")釘頭SpecW內(nèi)層銅厚的孔徑(mm)板厚(mm)3月22日107H402512nananananana107H40646nananananana3月23日107H40646nana56911641734107H40256nana68412041702089E400312nana748122017323月24日089E40036nana53411211754107H40576nana76712141278JLKy/JLJL■Ji107H40646nana466118916003月25日107H405412nana88011341547107H40556nana38412101683089E400312nana63012001633089E40056nana53411211754107H405712nana58112071527109H40484nana466118126173月26日107H40576nana72811501771107H40636nana62011811732107H405516nana90511321458107H40546nana74811821702107H40576nana935118015253月27日JLKy/JLJL■Ji107H40546nana80611321525107H40576nana65911321515089E40026NANA64012001722107H40646nana522112116143月28日107H40646nana88611811537100F40086nana54111811387107H40576nana73810821709089E40326nana354118116043月29日096F40366nana67911611702100F40086nana748108213283月30日100F40086nana56811811728096H40366nana73812301868002G411926NANA686117618433月31日002G412214NANA768118116634月1日107H40646NANA52210821487107H40546NANA80611321609107H40736NANA846116115554月2日未消費多層板nanananananananana4月3日046H40726nana62011121587107H40556nana716108216284月4日107H40546nana73811321555100F40086nana692114216994月5日100F40086nana850108215694月6日100H40526nana84610821547089E40046nana850111217054月7日046H60176nana49211281387100H40526NANA73811611584備注:以上數(shù)據(jù)源于品保部化驗室切片分析報表，數(shù)據(jù)為每日抽樣中各料號的樣本數(shù)據(jù)中的最大值。六、標準化：依改善對策第1、2項修訂鉆孔部SOP內(nèi)容七、將來方案：1、 現(xiàn)場單位確實按照SOP作業(yè)，當SOP不能適應(yīng)新產(chǎn)品作業(yè)時，望現(xiàn)場及時提案給予修訂。2、 品保部每日對現(xiàn)場消費參數(shù)作check，并產(chǎn)出查核報告。3、 品保部將對鉆孔之孔壁粗糙度、釘頭狀況的監(jiān)控列為例行工作，并每日產(chǎn)出切片分析報告。4、 進步鉆頭研磨之品質(zhì)，并將在鉆頭研磨后加設(shè)超聲波清洗之工序，減少鉆頭上之異物以提升鉆孔之品質(zhì)附件一實驗條件2)樣本數(shù)藥液名稱藥液濃度溫度控制實際溫度A咼錳酸鉀NaOH(40-60g/l)Mn7+(48.53g/l)Mn6+(8.94g/l)65-75C70C0.17mg/cm2B咼錳酸鉀NaOH(40-60g/l)Mn7+(48.53g/l)Mn6+(8.94g/l)65-75C75C0.23mg/cm2C咼錳酸鉀NaOH(40-60g/l)Mn7+(58.14g/l)Mn6+(10.15g/l)65-75C70C0.18mg/cm2D咼錳酸鉀NaOH(40-60g/l)Mn7+(58.14g/l)Mn6+(10.15g/l)65-75C75C0.24mg/cm22—124U"〕。附件二日期抽樣料號抽樣數(shù)(PNL)除膠渣不盡數(shù)量(PNL)膠渣(U")孔壁粗糙度(U")內(nèi)層銅(U")釘頭范圍(U")釘頭SpecW內(nèi)層銅厚的孔徑(mm)板厚(mm)3月21日100F400810218786511122