潔凈室原理介紹課程內(nèi)容課程目標(biāo)了解潔凈室定義、潔凈室構(gòu)成，進(jìn)而能進(jìn)一步了解潔凈室運(yùn)行的原理。一、潔凈室定義及分類方式二、潔凈室主要控制指標(biāo)三、潔凈室運(yùn)行方式及各系統(tǒng)功用一、潔凈室定義及分類方式潔凈室定義

潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流（速度、分布）、噪音、照度、靜電控制，甚至光源波長(zhǎng)在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。目前在電子信息產(chǎn)業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空等眾多行業(yè)均有應(yīng)用。根據(jù)行業(yè)的特點(diǎn)與制程要求，潔凈室規(guī)格會(huì)針對(duì)行業(yè)特定有所不同。

潔凈室分類方式按照用途來區(qū)分亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的。換氣次數(shù)決定凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

工業(yè)潔凈室：以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD等多行業(yè)。A、一般生物無塵室，主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)工作對(duì)象的污染。B、生物學(xué)安全無塵室，主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與外界的負(fù)壓。生物潔凈室：主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。按照氣流方式亂流式：氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。將臟空氣稀釋潔凈室分類方式按照氣流方式層流式：空氣氣流運(yùn)動(dòng)成均勻之直線形。層流式氣流將臟空氣置換，此型式適用于潔凈等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：A、水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在氣流下游側(cè)污染較嚴(yán)重。B、垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。垂直層流水平層流潔凈室分類方式按照氣流方式復(fù)合式：將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，提供局部較高要求的潔凈空氣。A、潔凈隧道：在運(yùn)輸通道，提高HEPA或ULPA過濾器將該區(qū)域潔凈度等級(jí)提高至10級(jí)以上B、并裝局部潔凈室：使用隔間墻、Divider等將區(qū)域隔開，在要求高的區(qū)域，提高HEPA或ULPA覆蓋率，采用不混亂的回風(fēng)方式，達(dá)到較高的潔凈度。FFU局部無塵室潔凈隧道潔凈隧道一、

測(cè)試題1、潔凈室按照氣流方式進(jìn)行劃分，分為_______、________、_________。2、【潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流（速度、分布）、噪音、照度、靜電控制，甚至光源波長(zhǎng)在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間】請(qǐng)問是否正確_______。3、生物潔凈室：主要控制有

與

對(duì)工作對(duì)象的污染。二、潔凈室主要控制指標(biāo)潔凈室八大指標(biāo)潔凈室控制指標(biāo)，通常有8個(gè)主要控制項(xiàng)目，依據(jù)達(dá)成的先后和邏輯順序，排列如下：照度靜電電阻FFU風(fēng)速FFU泄露溫濕度噪音潔凈度正壓影響人員舒適性：照度、噪音、溫濕度影響制程環(huán)境：溫濕度、潔凈度、正壓、靜電電阻、FFU泄露特定生產(chǎn)制程，對(duì)溫濕度有較高要求，而潔凈度會(huì)影響制程良率。因此在日常運(yùn)行中，IPQC會(huì)針對(duì)潔凈度和溫濕度進(jìn)行管控。潔凈度簡(jiǎn)單介紹舉例：A、（@

0.5um）class101立方英尺中直徑≥0.5μm的粒子數(shù)不超過10個(gè)。B、

若使用公制單位，1米=3.28英尺，1米3=35.29英尺3，顆粒數(shù)=10*35.29=352.9上述潔凈度則變成（@0.5um）M2.5潔凈度定義：?jiǎn)挝惑w積內(nèi)大于某設(shè)定直徑的微粒的數(shù)量世界各國(guó)均有自定規(guī)格，普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E。

209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中≥0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示。級(jí)別名稱≥0.5μm國(guó)際制(公)美國(guó)慣用(英)粒子數(shù)/m3粒子數(shù)/ft3M1－10.00.283M1.5135.31.00M2－1002.8M2.51035310.0M3－100028.3備注：若無粒徑說明，默認(rèn)為0.5um潔凈度簡(jiǎn)單介紹（@

0.5um），class1001立方英尺中直徑≥0.5μm的粒子數(shù)不超過100個(gè)。對(duì)應(yīng)潔凈度等級(jí)M3.5,或Class100分級(jí)名稱分級(jí)界限0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5.0μm單位體積單位體積單位體積單位體積單位體積SI英制M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M3Ft3M1

3509.9175.72.1430.90.87510.00.283----M1.5114，24035.02657.501，0693.0035.31.----M2

3，50099.175721.43098.751002.83----M2.51012，4003502，65075.01，06030.035310.----M3

35，0009917，5702143，09087.51，00028.3----M3.5100----26，50075010，6003003，530100----M4

----75，700214030，90087510，000283----M4.51，000------------35，3001，0002477.00M5

------------100，0002，83061817.5M5.510，000------------353，00010，000247070.0M6

------------1，000，00028，3006，180175M6.5100，000------------3，530，000100，00024，700700M7

------------10，000，000283，00061，8001750不同的控制粒徑，同樣的允許顆粒數(shù)字，代表的潔凈度差異極大，以209E標(biāo)準(zhǔn)下為例：

@

0.3um，class1001立方英尺中直徑≥0.3μm的粒子數(shù)不超過100個(gè)。對(duì)應(yīng)潔凈度等級(jí)M3，高于Class100

@

0.1um，class1001立方英尺中直徑≥0.1μm的粒子數(shù)不超過100個(gè)。對(duì)應(yīng)潔凈度等級(jí)M2，高于Class10國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn)為“M”，因此在國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn)中，單位體積均以m3為單位，制定潔凈度標(biāo)準(zhǔn)如下表。中國(guó)為與國(guó)際接軌，GB50073-2001中關(guān)于潔凈度的定義，與國(guó)際通用標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1保持同步?！狹1Class1M1.5Class10M2.5Class100M3.5Class1,000M4.5Class10，000M5.5Class100，000M6.5Class1，000，000—備注：由于測(cè)試設(shè)備、測(cè)試時(shí)間長(zhǎng)短，以及顯示直觀性，因此在日常應(yīng)用中，仍采用209E中英制潔凈度表達(dá)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)—ISO14644/GB50073-2001粒徑大小對(duì)比0.5μm微塵粒徑人類頭發(fā)

(15μm)肉眼可視

(5μm)0.5um與0.5mm比例關(guān)系：相當(dāng)于1個(gè)雞蛋與2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)游泳池的比例關(guān)系100級(jí)潔凈室：1立方英尺103個(gè)0.5um顆粒，相當(dāng)6個(gè)水立方中只能有103個(gè)雞蛋大的顆粒粒徑大小對(duì)比二、測(cè)試題1、目前常用的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)是美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)___________。2、【潔凈等級(jí)中若使用Class100，表示的是1m3中≥0.5um的顆粒，不超過100顆】是否正確？3、潔凈室運(yùn)行有8個(gè)檢驗(yàn)參數(shù)，其中屬于日常監(jiān)控的是__________和

。三、潔凈室運(yùn)行方式及各系統(tǒng)功用潔凈室運(yùn)行方式MAU華星桶及蓋板CleanRoomOthersFFUFFUSUB-FAB(回風(fēng)區(qū))AIRPLENUMCCFFUFFUFFUFFUFFUFFURETURNAIRSHAFTCCEQ.ExhaustHEPAChemicalFilter支持區(qū)上夾層排風(fēng)車回風(fēng)道回風(fēng)道外氣空調(diào)箱外部新鮮空氣通過MAU送入潔凈室后，與循環(huán)氣流混合，經(jīng)過FFU送入潔凈室，帶走熱量、Particle等影響潔凈室環(huán)境的物質(zhì)，再經(jīng)過DCC降低溫度后，回到天花上方，再經(jīng)FFU送入潔凈室。單純潔凈室的構(gòu)成，主要由內(nèi)裝系統(tǒng)、空調(diào)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、電力系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)。再根據(jù)制程和機(jī)臺(tái)要求，輔助以排氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、CDA（干燥壓縮空氣）、PV（制程真空）等。潔凈室各系統(tǒng)功用大腦監(jiān)控系統(tǒng)（FMCS）心臟電力系統(tǒng)（電力、壓縮空氣、工藝真空）肺空調(diào)系統(tǒng)（新風(fēng)機(jī)組、過濾單元、干盤管、排氣）骨骼土建結(jié)構(gòu)或鋼結(jié)構(gòu)（橫梁、結(jié)構(gòu)柱、剪力墻）皮膚內(nèi)裝系統(tǒng)（天花板、隔間墻、涂裝、地板）備注：消防系統(tǒng)屬于法規(guī)強(qiáng)制要求，在常規(guī)運(yùn)行狀態(tài)下，并無實(shí)際功能。內(nèi)裝系統(tǒng)簡(jiǎn)介內(nèi)裝系統(tǒng)：天花板、隔間墻、涂裝、地板、共同管架、簡(jiǎn)單設(shè)備等。其作用在于：1、建立一個(gè)無塵室內(nèi)部環(huán)境，滿足潔凈室循環(huán)需求。2、降低內(nèi)部Particle產(chǎn)生，阻擋外界Particle進(jìn)入3、為后續(xù)系統(tǒng)安裝提供空間和便利4、不同功能區(qū)分隔可直接目視的部分，80%屬于內(nèi)裝系統(tǒng)空調(diào)系統(tǒng)簡(jiǎn)介空調(diào)系統(tǒng)：空調(diào)箱（MAU\AHU）、干盤管、FFU、相關(guān)管路1、建立一個(gè)無塵室內(nèi)部氣流室循環(huán)，補(bǔ)充新風(fēng)，滿足人員需求2、建立對(duì)外正壓，阻擋外界Particle進(jìn)入3、過濾內(nèi)部產(chǎn)生之Particle，達(dá)到潔凈度需求3、調(diào)整無塵室內(nèi)氣流溫度、濕度4、調(diào)節(jié)無塵室內(nèi)部氣流分布空調(diào)系統(tǒng)：空調(diào)箱（MAU\AHU）、干盤管、FFU、相關(guān)管路空調(diào)系統(tǒng)簡(jiǎn)介消防系統(tǒng)：消火栓、上下噴淋、事故排煙、煙感、火警廣播、電話、Vesda等1、在火災(zāi)發(fā)生的初期，便偵測(cè)到險(xiǎn)情的發(fā)生，盡快處理（極早期報(bào)警-vesda）2、險(xiǎn)情的發(fā)現(xiàn)、通報(bào)，以及引導(dǎo)人員疏散3、當(dāng)險(xiǎn)情發(fā)生時(shí)，能夠控制險(xiǎn)情影響區(qū)域，防止擴(kuò)散4、將險(xiǎn)情發(fā)生區(qū)域煙霧、有害氣體排出，送入外界新風(fēng)，以便人員疏散逃生5、就近提供水源接點(diǎn)，方便救援應(yīng)急消防系統(tǒng)簡(jiǎn)介電力系統(tǒng)：電線電纜、橋架、母線、電盤、照明燈具、插座等1、給無塵室內(nèi)設(shè)備提供動(dòng)力電源2、按照用電需求、用途，區(qū)分布線，便于管理和后期改擴(kuò)建3、電流轉(zhuǎn)換4、通訊、控制電力系統(tǒng)簡(jiǎn)介監(jiān)控系統(tǒng)：現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控探頭、執(zhí)行機(jī)構(gòu)、變頻器、控制終端、控制軟件等1、實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)2、信息收集、反饋3、自動(dòng)控制4、通訊、控制流量計(jì)氣動(dòng)閥溫濕度計(jì)液位計(jì)壓力傳感計(jì)電動(dòng)閥變頻器監(jiān)控系統(tǒng)簡(jiǎn)介潔凈室運(yùn)行方式及各系統(tǒng)功用MAU華