真空泵分類與用途一、真空泵的概述

真空泵是實現(xiàn)真空技術的必備設備。無論是在制造、檢測、分析還是研究等領域中，都會使用到真空泵。真空泵的作用是將被抽空的容器內原有氣體分子的數(shù)量減少到所需的低壓范圍內，實現(xiàn)真空。

二、真空泵的分類

根據(jù)不同的抽氣方式，真空泵可以分為機械泵、擴散泵、靜電泵、根泵、渦旋泵、離心泵、分子泵等。

1.機械泵

機械泵是常見的一種真空泵，主要由轉子、腔室、活塞和連桿等組成。當活塞在腔室內做往復運動時，通過進出口上的活塞環(huán)對進出口進行開關，來達到排放氣體的目的，從而逐步抽取大氣。

2.擴散泵

擴散泵運用離子轟擊作用和收集效應的原理抽取氣體，它是一種高真空設備。擴散泵的主要零部件有擴散室、水冷卻器、陽極、陰極、電磁鐵、恒溫器、真空泵以及泵的管路。

3.靜電泵

靜電泵的作用是利用電場排出氣體，它是通過高壓低流量的方式，將氣體吸收后噴出來來抽取氣體的。常見的靜電泵主要有卡提斯靜電泵（KATRINA），該泵適用于高純度氣體、低排量腔室和小量工程，對處理含有放射性和損傷性氣體的空氣有獨特的優(yōu)勢。

4.根泵

根泵是一種稀有的抽氣設備，因其客觀的優(yōu)良特性也遭受廣泛的關注和應用。該泵的工作原理是通過漏泄和轉動兩個葉輪實現(xiàn)氣體的互動與抽出。一方面通過旋轉的方式使氣體密閉的向真空方向流動，另一方面則可以通過漏泄穿過葉輪的空氣來完成抽氣過程。

5.渦旋泵

渦旋泵是利用葉輪由密閉氣體旋轉排除氣體，其工作原理是將氣體直接排出，基本原理為利用離心力將氣體分離，利用葉輪將氣體沿著軌跡排出。它可以達到準高真空或高真空水平，常見于利用熱腐蝕性氣體處理外觀表面的壓力。

6.離心泵

離心泵利用高速的旋轉排氣，是目前廣泛應用的真空泵之一。其工作原理是通過葉輪的旋轉來將粘附在葉輪表面的氣體輕松排出。在分子氣體的壓縮過程中，離心泵是一個有利的抽氣選擇，這是因為離心泵可以靈活對等從不同方向射出的氣體進行排放。

7.分子泵

分子泵能夠將氣體抽至極低的壓力范圍內，目前已發(fā)展到了非常高的境界，可以達到極限真空級別。分子泵利用離子轟擊和原子或分子的種類差異，形成氣體微顆粒的梯度速度，從而將氣體抽出。分子泵的主要缺陷是需要在“同一方向射流”的情況下實現(xiàn)“排氣”過程，導致它不能與真空泵配合使用。

三、真空泵的用途

真空泵廣泛使用在各種工業(yè)領域，如精密儀器、氣體檢測、醫(yī)療器械等，可以完成以下工作：

1.制造工業(yè)：真空泵用于蒸汽噴濺沉積、離子注入、激光制造、等離子焊接、擴散連接、等離子體表面處理、粉體冶金、熱處理、電子陶瓷、單晶生長等領域。

2.化學工業(yè)：真空泵廣泛應用于化工、醫(yī)藥、合成樹脂、樹脂或塑料家具中等化工領域，主要用于過濾、加熱、干燥、冷卻和濃縮等工藝環(huán)節(jié)。

3.電子工業(yè)：主要用于電子元器件、光學儀器、顯示器等工業(yè)領域，典型的應用包括激光器研發(fā)、薄膜制造、電子束刻蝕、等離子體蝕刻、表面處理、真空卷繞、真空干燥、真空鍍膜、真空灌注、鋁電解電阻器、半導體器件生產等等。

4.空間科研：真空泵在航天、衛(wèi)星、火箭等領域廣泛應用，用于真空環(huán)境下的測試和研究，以確保各種宇航設備在真空環(huán)境下的正常運轉。

總之，真空泵在現(xiàn)代科技