半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究幽默來自智慧，惡語來自無能半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究幽默來自智慧，惡語來自無能1塵導(dǎo)休廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之硏究指導(dǎo)教授:胡石政博土塵導(dǎo)休廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之硏究2事簡介臺灣高科技產(chǎn)業(yè),以牛導(dǎo)體晶圓制造及光電產(chǎn)業(yè)為主’高科技產(chǎn)業(yè)之能源需求量相當(dāng)龐大希望建立導(dǎo)體廠耗能指標(biāo),與各相關(guān)牛導(dǎo)體廠做相對應(yīng)比較建立更良好的能源使用模式,在能源使用上更有效率2013/3/30事3潔凈室最佳化設(shè)計(jì)包含系統(tǒng)節(jié)能的設(shè)計(jì)清潔凈室最佳化設(shè)計(jì)包含系統(tǒng)節(jié)能的設(shè)計(jì),一個(gè)節(jié)能化的潔凈室設(shè)計(jì)雖然有些會增加初設(shè)成本的支出,但總體而,經(jīng)過了二、三年運(yùn)轉(zhuǎn)后其減少的電費(fèi),往往可大于當(dāng)初初設(shè)成本的費(fèi)用;其潔凈室的節(jié)約能源技術(shù)主要項(xiàng)目約分為十八類)丶冰水主機(jī)系統(tǒng)(二)、冰水系統(tǒng)(三)冾卻水系統(tǒng)(四)丶外氣空調(diào)箱(五)丶排氣系統(tǒng)(六)丶照明系統(tǒng)(七)丶電力系統(tǒng)(八)、儲冰系統(tǒng)(九)丶吸收式冰水主機(jī)十)丶C/R內(nèi)循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)微環(huán)境系統(tǒng)十二)丶終級過濾器最省能配置(十三)、MAU出風(fēng)口位置選擇十四)丶檢討排氣系統(tǒng)泄漏旁通問題(五)丶空調(diào)箱再熱十六)、外氣引進(jìn)控制(十七)丶空調(diào)負(fù)荷確定十八)丶人員丶設(shè)備操作維護(hù)之管理2013/3/30潔凈室最佳化設(shè)計(jì)包含系統(tǒng)節(jié)能的設(shè)計(jì)4負(fù)荷計(jì)算2013/3/30負(fù)荷計(jì)算5SystemSpecificationCleanRoomCleanroomarea11,182m2(8,717m2MAINFAB)RehumidityPhoto:43+3%0Production43+5%0三.TemperaturePhoto:22+0.3℃,Production:22+2℃yy.RoomPressurizationClassl:5+ImmAq,Class1000:3+1mmAqSystemSpecificationCleanRoo6constructionoffaBQEXHAUST■■■■■■■■I■■■■■■■■■■■■■■MAUhalTQ2013/3/30constructionoffaB7Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算(設(shè)備部分)a排至C/R的能量)n(電力)Opcw(Processcoolingwater)Fm化學(xué)學(xué)能F以排氧)2013/3/30Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算(設(shè)備部分)8Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算CIfA:211℃C6543,00cMHB:2.1℃qanatoccupantC:15.3e]988020CMHsubfab2013/3/30Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算9Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算Exhaust風(fēng)量Qe=QacidtAlkaline+Qsol+General5590+509+1,076+8,302=15,477(CMM)Fresh風(fēng)量Qm=Qphoto+Qprod+Qimp+Supp+Qgow3,518+6,000+3,218+2,915+8166467CMM)2013/3/30Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算10Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算INPUT設(shè)備用電為7367kW=6,335,620kcal=2095.1RTINTERNALLOADLIGHITINGLOAD=3171kW=272.706kcal/hr=90.1RTFFULOAD=160W*7,270=1,163.2kW=1,000,352kcal=330.8RT2013/3/30Fab內(nèi)部負(fù)荷計(jì)算11半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件12半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件13半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件14半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件15半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件16半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件17半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件18半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件19半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件20半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件21半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件22半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件23半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件24半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件25半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件26半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件27半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件28半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件29半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件30半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件31半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件32半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件33半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件34半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件35半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件36半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件37半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件38半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件39半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件40半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件41半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件42半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件43半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件44半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件45半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件46半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件47半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件48半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件49半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件50半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件51半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件52半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件53半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件54半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件55半導(dǎo)體廠耗能指標(biāo)及節(jié)能方案之研究57張課件56謝謝你的閱讀知識就是財(cái)富豐富你的人生71、既然我已經(jīng)踏上這條道路，那么，任何東西都不應(yīng)妨礙我沿著這條路走下去?！档?/p>

72、家庭成為快樂的種子在外也不致成為障礙物