孫丞2014年6月凈化間管理規(guī)范培訓(xùn)凈化間基礎(chǔ)知識(shí)凈化間的定義潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)凈化間簡(jiǎn)介凈化間分類凈化間設(shè)計(jì)基礎(chǔ)凈化間管控手段監(jiān)測(cè)采樣制定監(jiān)測(cè)表凈化間人員管理凈化間最主要的污染源凈化間人員管理規(guī)定目錄凈化間(Clean

Room),也稱為無塵室。

凈化間是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。

因此，凈化間是保證諸如醫(yī)藥、半導(dǎo)體、太陽能電池板等對(duì)環(huán)境要求較高之行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所必備之條件要求。凈化間的定義懸浮微粒：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在0.1～5μm之間。潔凈度：用以表征單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。氣閘室：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過安裝風(fēng)機(jī)、過濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對(duì)入室人員進(jìn)行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途徑之一。潔凈工作服：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。高效空氣過濾器HEPA：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。超高效空氣過濾器：在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。相關(guān)術(shù)語國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)式中：Cn—大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。

Cn是以四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù)。

N—潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超出9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量。

D—要求的粒徑(μm)。

0.1—常數(shù)，其量綱為μm。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（USAFederalStandard）209E（1992年）潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)1m3=35.3ft3。對(duì)照我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)可以看出，我國(guó)的3級(jí)標(biāo)準(zhǔn)與美國(guó)的1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。從而可以看出隨著半導(dǎo)體行業(yè)從um量級(jí)向nm量級(jí)發(fā)展的過程中，凈化間等級(jí)要求也越來越高。但目前半導(dǎo)體行業(yè)中普遍采用的均為千級(jí)（6級(jí)）或萬級(jí)（7級(jí)），只有局部區(qū)域的高自動(dòng)化作業(yè)才要求百級(jí)（5級(jí)）甚至更高。一般微粒粒徑對(duì)比0.3μm微塵粒徑人類頭發(fā)

(15μm)肉眼可視

(5μm)一般自然界氣體等級(jí)1,00010,000外大氣層大氣層田園地帶街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工業(yè)地帶

潔凈室之分類(按形式）非單方向流方式一、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室擴(kuò)充比較容易。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。亂流式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級(jí)1,000-100,000級(jí)2.層流式層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻直線形，空氣過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)到要求，穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。(2)垂直層流式：空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。垂直單方向流方式FFU層流式典型結(jié)構(gòu)形式適用潔凈等級(jí)1-100級(jí)3.復(fù)合式混流方式復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界