半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備設(shè)備安全操作規(guī)程前言為保障半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)確保操作人員不受損傷，特制定此安全操作規(guī)程，以便指導(dǎo)檢測(cè)儀器設(shè)備的正常使用。所有用戶在使用半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備設(shè)備前，應(yīng)仔細(xì)閱讀并完全掌握此操作規(guī)程?，F(xiàn)場(chǎng)安全1.現(xiàn)場(chǎng)布置在操作檢測(cè)儀器設(shè)備所在的工作區(qū)域內(nèi)，不要存放任何其他工具和雜物。保持現(xiàn)場(chǎng)整潔。電源線、信號(hào)線和控制線應(yīng)遠(yuǎn)離高溫的設(shè)備和部件，以免線材融化或者燒焦。要求樣品不離開(kāi)安全位置，所有的樣品檢測(cè)過(guò)程都必須在設(shè)備內(nèi)進(jìn)行，禁止在設(shè)備外進(jìn)行任何操作。同時(shí)應(yīng)注意安全防護(hù)，密切關(guān)注檢測(cè)過(guò)程中可能出現(xiàn)的水、氣、電、火等危險(xiǎn)。2.人員操作操作前，必須檢查設(shè)備的電路是否接通、用戶界面是否處于正常狀態(tài)，完全確認(rèn)操作臺(tái)面干凈、無(wú)塵、零散配件整齊。操作人員應(yīng)穿戴符合衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的無(wú)塵服，佩戴手套和面罩，以減少樣品污染和使用中的損傷風(fēng)險(xiǎn)。操作人員嚴(yán)格按照操作程序進(jìn)行，不可私自更改操作程序。如需變更，請(qǐng)經(jīng)設(shè)備管理員同意后進(jìn)行。操作人員應(yīng)隨時(shí)留意電源、傳感器及熱元件等部件的溫度變化，確保設(shè)備正常工作。設(shè)備保養(yǎng)1.設(shè)備清潔清潔前,必須先關(guān)閉電源并斷開(kāi)所有線纜連接。待設(shè)備完全冷卻之后進(jìn)行清潔。清潔時(shí),應(yīng)用擦拭法，用軟布以清潔液輕輕擦拭設(shè)備表面。不要在表面上使用任何刷子或者粗糙的物品。設(shè)備表面涂層、反射鏡面以及電路板上不可用任何溶劑清洗。2.設(shè)備維護(hù)用戶不得進(jìn)行設(shè)備損壞的維修或者更換機(jī)器零部件。當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，用戶應(yīng)告知設(shè)備管理員，由專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維護(hù)。結(jié)束操作1.操作結(jié)束操作結(jié)束或者換班時(shí)，應(yīng)先斷開(kāi)電源，再將檢測(cè)儀器設(shè)備歸位。離開(kāi)工作臺(tái)前，要檢查工作區(qū)域是否干凈，有無(wú)雜物、工具殘留。2.廢物處理樣品、清洗液等半導(dǎo)體檢測(cè)廢物，要分類在規(guī)定的廢物容器中妥善處理。廢物統(tǒng)一交由專門(mén)的處理車間進(jìn)行處理，嚴(yán)禁外倒。安全警示不要均勻范圍到檢測(cè)儀器設(shè)備上。不要把任何非半導(dǎo)體材料帶入檢測(cè)儀器設(shè)備內(nèi)，避免造成樣品污染或者設(shè)備損壞。不要更改設(shè)備設(shè)置參數(shù)或者私自拆卸設(shè)備。操作過(guò)程中，如發(fā)現(xiàn)設(shè)備異常，應(yīng)立即斷電報(bào)修，禁止私自修理。操作人員應(yīng)嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，如因操作不當(dāng)或者不遵守安全操作規(guī)程造成設(shè)備損壞或者人員傷害，由操作人員自行承擔(dān)責(zé)任。總結(jié)以上就是半導(dǎo)體專用檢測(cè)儀器設(shè)備設(shè)備的安全操作規(guī)程。只有在嚴(yán)格遵循規(guī)程的前提下，才能確保設(shè)備順利運(yùn)行，