真空低溫技術(shù)與設(shè)備主講人：徐成?！墩婵占夹g(shù)》一.真空技術(shù)概況（巴德純）二.真空工程理論基礎(chǔ)（孫麗娜）三.干式真空泵原理與技術(shù)基礎(chǔ)（巴德純）四.真空系統(tǒng)組成與設(shè)計基礎(chǔ)（岳向吉）五.真空獲得設(shè)備原理與技術(shù)基礎(chǔ)（張以忱）六.真空測量技術(shù)基礎(chǔ)（劉玉岱）七.真空鍍膜技術(shù)基礎(chǔ)（張以忱）八.質(zhì)譜原理與真空檢漏（劉玉岱）九.真空冶金技術(shù)基礎(chǔ)（王曉冬）十.真空與低溫技術(shù)及設(shè)備（徐成海）東北大學(xué)第九期培訓(xùn)系列之

1.緒論

1.1真空技術(shù)與低溫技術(shù)的關(guān)系

真空技術(shù)和低溫技術(shù)都誕生于17世紀，完善于19世紀，應(yīng)用發(fā)展于20世紀。到目前為止，真空技術(shù)已成為一門通用性很強的科學(xué)，在空間科學(xué)、原子能工業(yè)、電子科學(xué)、半導(dǎo)體、計算機、光學(xué)、食品、醫(yī)藥、冶金、化工、農(nóng)業(yè)和輕工業(yè)等國民經(jīng)濟的各個領(lǐng)域都有相當(dāng)程度的應(yīng)用。真空技術(shù)在改造著世界。人類社會需要真空技術(shù)。低溫技術(shù)也是一樣，在空間科學(xué)、化工、農(nóng)牧以及醫(yī)藥衛(wèi)生等方面都有其獨特的作用，在其他領(lǐng)域也有日益廣泛的影響。沒有真空技術(shù)就不可能獲得超低溫；沒有低溫技術(shù)就不能產(chǎn)生清潔的極高真空。低溫技術(shù)的發(fā)展促進了真空科學(xué)；而真空技術(shù)的前進又帶動著低溫技術(shù)。已經(jīng)形成了真空需要低溫，低溫離不開真空的局面。真閃空魯科崖學(xué)舍按有照剃傳羽統(tǒng)姨的依說熟法嫂可己包帳括繡真謝空成物伸理亭、帶真林空奶獲逝得幸、爹真凈空釀測叉量丘、泄真煌空光應(yīng)訂用爸四俊大壓方眠面宇的款內(nèi)叨容掙。伐而膽這五四消方搭面累內(nèi)鈴容局哪犧一械方南面能都桌需選要知低前溫泉技叫術(shù)激。批極貿(mào)低發(fā)壓回和貴極脾低暑溫餓是惜兩墾個郵極撤端種的織物上理沖條唉件陡，屑而蓬真掘空紐奉物做理虹中崖好拼多輕公柳式遙都夾離啊不務(wù)開漢溫森度T。壟獲忽得墓清涂潔泛的祖真鏈空前需玩要辭低某溫劈燕。低調(diào)溫頌技沿術(shù)責(zé)離恩不機開聯(lián)真彼空案技破術(shù)錄也學(xué)是隊顯倡而慌易遣見餃的爪。用用加各戲種誰方勇法在獲羽得紹的逮低僚溫談液行體預(yù)，殃必炊須沉在畜真體空化絕漲熱夠的內(nèi)條兔件胸下裝保婆存餃和倚應(yīng)介用潮。徒杜紡?fù)咂髌勘K、霞大證型仁貯士運厲冷況液發(fā)的朵各供種隙槽略車侮，聚既題是亡低喜溫贈容真器憤，塘也責(zé)是辦真假空捎設(shè)割備銳。值任株何兔一惑個妖真咐空軍技出術(shù)雖研尼究吹室旁都忙有綢低冠溫結(jié)容朗器宮，磁任茂何港一絨個圓低卵溫警技斤術(shù)冒研動究告室籮都鹽有戰(zhàn)真份空伴抽害氣剃設(shè)朝備株，語這齒就納是黑真界空滾技聞術(shù)莖與廟低卡溫青技謀術(shù)廟相閉互濤聯(lián)獄系默的辦見膨證幼。1克.遭2真辱空煙低月溫飼技誕術(shù)裙概傻況真督空災(zāi)的街概技念鉛可粘以團理緞解掏為查低程于使一鄉(xiāng)豐個秤標喝準擁大酸氣頑壓外的還氣美體脾狀堡態(tài)列，懲其圣法捆定皇測左量付單圾位瞇為P輔a（兔帕寇）搏。印低化溫口是檢描安述祝一豎個嘴系掩統(tǒng)貴冷西熱拿程嘉度男的棉狀皆態(tài)葡，污低滋溫猛泛壯指睡低攜于百周漢圍優(yōu)環(huán)兵境垂溫肚度元的斑狀燙態(tài)停，尊其社法標定偽測撞量夏單六位概為K（繩絕駕對蝕溫互標焰）創(chuàng)，猛可仗以肌與菌℃約（落攝塔氏乓溫癥標帝）厲通氏用珠。掠就平真殲空駐和劇低拆溫稈的麥成僚因跟而雙言衛(wèi)，趴可水分藝為寧“秘人宇造央真翻空鵲”透和臣“梅自框然椒真犧空枕”冠，將“院人她造時低雄溫愚”著和送“爆自富然唱低牽溫躺”喉兩壞種司。通“脫人混造淋真火空藝”枝是穗指計由懸于厲和熊產(chǎn)突和緞科鼠研崖的互需窄要怪，招用蒙各握種教真仰空杯獲耽得倒設(shè)轟備側(cè)對炮容廉器程進榨行索抽群氣心而樓獲轎得選的秒低墳壓找空忙間嘆。喉“漸人避造吃低醋溫蠢”奏也陸是魚指稠根員據(jù)濾人介們桃的泥要星求泄，螺用筆各類種鵝制作冷太劑題對嫩需道要強低型溫危的弊地訓(xùn)方煙制栗冷鴨而忠造配成頓的顯低變溫佩環(huán)樂境烈。屈兩中者畫共口同門的棄特污點飛都禾要村消桌耗宵能飲量語。償“匹自紅然鞏真先空嚼”在和戰(zhàn)“葛自緊然玩低指溫芬”街都蜂是敲天頓然時造織成拋的。根困據(jù)沾使塔用號習(xí)嚼慣漏，尸人漢們朝通超常提按戰(zhàn)壓彼力鞭劃挽分淹出鴉幾獲個雖不墳同摔的夜真設(shè)空薦區(qū)言域砍：低抽真鋪空染：1哪×使1結(jié)0授5窗—戚—釀1巧×公1喇0梯2乘P衫a中達真圓空徑：1刑×慕1家0壁2朋—據(jù)—訊1耗×輩1猴0命-菜1躍P疲a高淚真波空龍：1屑×尊1蒸0架-舍1叛—威—箭1明×例1民0曉-失6精P照a超您高抵真地空芹：1皆×渠1舌0六-域6逐P移a以球下當(dāng)顛前巨，衡“丹人藏造眉真損空樣”科可例獲獸得1撥×槍1粘0此-銜1涌3甜P俯a，務(wù)絕港對舞真擁空格（撕既0井P殖a）噸是甩永牲遠攻無斬法樸實捏現(xiàn)涉的克。1煉.板3真漫空憐低錫溫目技季術(shù)根的撇應(yīng)禾用目艷前要真?zhèn)z空建技灰術(shù)鐘與未低漫溫利技躺術(shù)背已誘不掃僅已是煮分窮別法應(yīng)億用奇，榴而憐是珍進婆入遷了蔑兩蛾者毯結(jié)扯合覆應(yīng)庸用掃效掏果擾更世好黑的樸時房誠代被。擺宇你宙鐘研到究慌缺徒了礙真版空喉和負低施溫痕這鉗兩銳個肺條密件監(jiān)就臣不崇可礦能待完私成能，編而趟原瘋子富能棒物構(gòu)理認、技原瓶子歇能族工丟業(yè)央及駛核正聚慮變耳研沒究襖等業(yè)領(lǐng)疾域蘿的但進臣展責(zé)若張說相是削靠預(yù)真定空東和向低曉溫格的席進卷展拍來棋支叨持午也婆決箱不照過藍分雷。浸此陸外拉，洗在濁電速子戶工蝴業(yè)決和升化傷學(xué)著工忽業(yè)逆的咱部置分校領(lǐng)活域杠中蜓，哲真姥空促和晴低朗溫庫已礦成紅為狹極取其能重筒要育的伶因悟素魔。存對歉極同限蠻狀王態(tài)弄下肅的說事界物嶄進貌行秀所啊謂乒基自礎(chǔ)線研粉究孔時識，漢超賭高炮真碌空亂和郵極攝低巷溫緣瑞條幟件歐非牢常在有零用咬。梁如烘果周詳炊細葵敘和述頁其蔬具抽體橡應(yīng)到用失，曬篇味幅舟就吵太傘長雨了僻，怒這異里喚僅節(jié)簡腰單框地合介謎紹捕幾江種百常錄用踐的脹、執(zhí)本沿書將準仇備圍較狀詳穩(wěn)細額研填究擾的暮例福子任。1廉.拘3稠.附1真蹈空替冷峰凍扣干南燥目廉前微，掠真聚空筋冷多凍草干連燥鴨技疤術(shù)日（汁簡銹稱頸凍菌干舉技去術(shù)煎）儉主帥要劣應(yīng)臺用協(xié)在否醫(yī)傳藥頓、坑食鍋品皺和推新纏材啦料訓(xùn)研霜制苦等元領(lǐng)際域緩。(糟1字)醫(yī)蹦藥帖工銀業(yè)(戀2稠)食蘿品候工邪業(yè)(武3開)生鐘物廉體請的唐保衛(wèi)存(龜4淚)實戶驗疾動鞭物躍的擋處聚理(蹲5系)研葛制秒新喜材喂料1境.座3澤.宇2真販空肥壓竄力測浸務(wù)漬1動.巡壽3巖.糊3真杏空集保斑鮮(尾1料)真詳空脹冷鵝卻(余2掛)真毫空涉儲掙藏董（箭減騎壓環(huán)儲預(yù)藏默）1壞.油3爆.示4空濕間松真榨空懇低頓溫居技寺術(shù)(辨1藝)宇吐宙影空扇間遙模供擬(你2搭)發(fā)濤射撞航申天揀器德的佳火慚箭(敵3脫)低飼溫石真纖空養(yǎng)光煤學(xué)推試剩驗冤系建統(tǒng)1驕.屋3好.熊5真堆空條絕春熱絨與材低立溫廈容殃器(竹1毯)石鼠油悉化呼工際方端面末的捧應(yīng)地用(歸2宋)冶垂金累工呈業(yè)碧方市面即的懼應(yīng)薪用(藍3裁)機利械促工剝業(yè)蛛方驢面做的邁應(yīng)尚用(呈4送)電辣子界工危業(yè)尊方撒面真的剃應(yīng)洽用(厲5那)衛(wèi)行生乓部雪門茄的糞應(yīng)容用(破6糾)農(nóng)閑業(yè)絕、充畜葉牧胖業(yè)汽、溉林協(xié)業(yè)羽方腰面濟的儲應(yīng)懷用1停.雁3無.歐6低附溫說真慎空氏泵(使1躲)紅晉外水天梁文只衛(wèi)兄星嬌上免的裕氦蜓制荷冷(湊2球)超毯導(dǎo)航磁朗境炒裝鮮置刷的尋低忽溫勾真端空慎系漠統(tǒng)(執(zhí)3四)重葵離瘋子啄加恨速幣器晚的屢真輕空土系肚統(tǒng)(徹4罷)低友溫導(dǎo)泵帳在蛇真慚空懷鍍賓膜怨中弦的前應(yīng)黃用1抬.裙3膽.晝7低繪溫鄰真己空螺技趙術(shù)灰的愿其柔他僑應(yīng)靈用(咸1驚)大律型酷超拒導(dǎo)況線醋圈L森C扛T(束2摘)磁杯懸里浮越高篇速屋列魚車1爪.什4真辱空攻低拳溫奧技振術(shù)痛與穴設(shè)俯備寬研鋤究煩的頓內(nèi)粱容由叮淺臨入亦深中地獎介僅紹總了服真妨空斜低勇溫此技宴術(shù)梁的孤基古本位理帥論憂，述真阻空另獲別得個備末和思低量溫寸獲振得惑設(shè)研備鄭，案真駐空旨系蹄統(tǒng)以元岔件吉和漫低芬溫煌系魯統(tǒng)懇元秀件牧，基真驕空盡系云統(tǒng)隆設(shè)奶計殿和濱低旁溫瓣系均統(tǒng)爺設(shè)慰計毛等男內(nèi)送容焦，庭便佛于伍自界學(xué)桿。熱真草空久冷警凍踩干叔燥奶技淺術(shù)伯與荷設(shè)寄備梳和雁真辰空銹壓祝力友浸齒漬重技頸術(shù)硬與亦設(shè)屠備遙是靈低史真菠空雪和電普純冷泡系包統(tǒng)微聯(lián)咸合避應(yīng)淹用尸的替典舌范柔，輩屬步于盜本病書定編飲著員的及重第點島。怎真誓空宰冷笛凍赴工鬧藝菊是扛值檢得暗研浪究沸、攔不櫻太旨容浮易鏈掌茂握針的打技洞術(shù)身，陰它端受遵凍晝干政物吉品趴，藝凍濕干堆機繳性鋤能傅及竿其玻它爭多鄉(xiāng)豐種株因文素新的術(shù)影床響滔，受至聚今棵仍輕有頸凍點干榨工隨藝浩的粗手嚴藝笛，領(lǐng)是梁藝遙術(shù)鎮(zhèn)而都不旁是屑科仍學(xué)融的姑觀亮點灰。絹低抗溫留容紙器調(diào)和門低座溫那真釀空水泵樣是漿真浪空海和犁深賀冷暮系鍬統(tǒng)英聯(lián)扔合唇應(yīng)葛用蛇的限晶過華徐。蟻真針空凈保辰鮮鼻和瞎空放間煙真硬空憲低渴溫鐵技們術(shù)唐是穴本貝書晶第菜二伙版兵新附增磁加鼻的幼兩芒部氏分匆內(nèi)繭容扁。2簽.真雞空耳技麗術(shù)余基鄰礎(chǔ)2菊.漁1蒸謎發(fā)晴與動凝肚結(jié)蒸誘發(fā)(或轉(zhuǎn)升申華)與她凝偷結(jié)斧的杯物矮理昨現(xiàn)推象用在疲真趕空朗技蛛術(shù)員中欺是樂很捎?；\見批的初，學(xué)其峽實側(cè)質(zhì)忙是標液(固)屑-氣亂界爬面造所膠發(fā)良生材的敲一滅種乒相白變偶過粥程過。辨單漢位呀時繡間槳從眠單覆位揭面狗積取上鋸由捏液島體位（趨或世固辟體喘）丸轉(zhuǎn)挨化蔽成碗氣鈔體冤的躺質(zhì)拴量激稱解為咸蒸喜發(fā)釀率籍。足單您位廣時載間蜓在甜單喇位滋面膝積天上想由烏氣領(lǐng)態(tài)以轉(zhuǎn)王化潛為行液巾態(tài)吩（沉或略固龜態(tài)址）加的值質(zhì)挽量甜定設(shè)義值為務(wù)凝紙結(jié)候率注?；I當(dāng)坡蒸院發(fā)吼率好大坐于迅凝小結(jié)多率秤時醬，上表毒現(xiàn)蜜為譽蒸承發(fā)之；夠當(dāng)藥凝閥結(jié)狼率宋大默于胖蒸漠發(fā)櫻率花時虧，賊表抖現(xiàn)碑為崖凝曠結(jié)站；割當(dāng)麻凝背結(jié)悠率膛等著于戶蒸判發(fā)濟率悟時抽，議表閉現(xiàn)餓為銳飽超和啊狀委態(tài)搖。2牲.胃2氣椅體投的紋熱農(nóng)傳貍導(dǎo)氣躲體怒空府間自的土傳淋熱雄現(xiàn)半象太可牙由氧許女多偶機移理歡造襯成煩。粱高枝壓巖力躍下始氣心體另內(nèi)躺部會如補有幫區(qū)寬域捕性芽溫擾差悔，覆會港引壞起妖密糠度蓬差誰，鐮并絲式由汪重仰力專影播響泉而檢發(fā)出生緞熱皮對柱流撒傳查熱貝。厚高俗溫紋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