編號(hào)：XN/WI022-ZG-2009第1頁共3頁生效日期：2009.08版本/修改:A/01目的1.1臺(tái)階儀可用于測(cè)量輪廓、臺(tái)階高度、膜厚，用于控制各種薄膜的生長(zhǎng)工藝，是物理、表面、材料、光電子器件、半導(dǎo)體器件、薄膜工藝、厚膜工藝、光盤溝槽的必備表征方法。1.2功能：臺(tái)階高度測(cè)試，表面粗糙度計(jì)算，應(yīng)用：各種符合尺寸的薄膜樣品均可測(cè)試。范圍新能研發(fā)中心實(shí)驗(yàn)室責(zé)任實(shí)驗(yàn)室設(shè)備負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)設(shè)備的使用及日常維護(hù)與點(diǎn)檢并填寫設(shè)備使用記錄。4?操作流程4.1打開電腦，開臺(tái)階儀電源，等待10秒后打開操作軟件。4.2打開臺(tái)階儀保護(hù)蓋，小心放入樣品。4.3點(diǎn)擊Engage,觀察樣品與探針?biāo)谖恢谩?.4點(diǎn)擊Z+將探針升起，將樣品調(diào)到適當(dāng)位置。4.5點(diǎn)擊Scan，進(jìn)行掃描。4.6分析數(shù)據(jù)。4.7點(diǎn)擊Z+將探針升到頂端。4.8取出樣品，關(guān)閉保護(hù)蓋。4.9關(guān)閉操作軟件，關(guān)閉臺(tái)階儀電源，關(guān)閉電腦。5.注意事項(xiàng)5.1待測(cè)樣品要經(jīng)過嚴(yán)格的送樣登記、測(cè)試、記錄程序，不明樣品不得測(cè)試。5.2測(cè)試前，用洗耳球吹掃樣品表面，把灰塵等東西從樣品表面吹掃干凈，保證樣品的潔凈度；吹掃時(shí)，洗耳球的尖端不能接觸樣品表面，防止破壞樣品。5.3接通電源，依次打開電腦開機(jī)按鈕，顯示器按鈕，臺(tái)階儀電源按鈕，要等待一定時(shí)間（約10秒）后，待數(shù)據(jù)信息接通后，將電腦桌面上的操作軟件XP打開，不應(yīng)馬上打開軟件進(jìn)行測(cè)試。汕南觀能光伏胃眼云司NEMANG￡hlSOLARFAB.rLTD編號(hào)：XN/WI022-ZG-2009第2頁共3頁臺(tái)階儀操作規(guī)程5.4樣品放置時(shí)，要保證樣品在樣品臺(tái)上平穩(wěn)放置，放置時(shí)要橫平豎直，所要測(cè)試的臺(tái)階的位置靠近探針針尖的垂直位置。5.5在探針降落到樣品表面的過程中，先使用Engage按鈕落針，此過程盡量不使用Z-。如探針距離樣品很遠(yuǎn)，Engage使用彈出警告的情況下才使用Z-按鈕；具體操作時(shí)，點(diǎn)擊1-2下Z-鍵，再使用Engage按鈕讓探針下落。如果再次出現(xiàn)警告，則再點(diǎn)擊Z-按鈕，再使用Engage按鈕落針，確保針尖安全。5.6測(cè)試時(shí)，顯示屏幕如果發(fā)現(xiàn)針尖位置的表面比較臟，如表面有很多不明的顆粒存在于樣品表面，停止測(cè)試，待送樣者把樣品處理干凈后再作測(cè)試。5.7斷電時(shí)，UPS自動(dòng)啟動(dòng)，此時(shí)將探針升到頂端，取出樣品，關(guān)上保護(hù)蓋，關(guān)閉臺(tái)階儀電源，關(guān)閉電腦。5.8臺(tái)階儀在使用的過程中，需作定期校準(zhǔn)，為保證測(cè)試的準(zhǔn)確性，暫時(shí)定為一周校準(zhǔn)一次。5.9清潔樣品臺(tái)無異物、贓物。5.10擦拭臺(tái)階儀外殼表面無灰塵，用洗耳球?qū)μ结樳M(jìn)行吹掃。5.11探針針頭是否完整，有無歪斜、探針脫落。5.12臺(tái)階儀主機(jī)與電腦連接是否完好，各連接線是否處在連接位置。5.13樣品臺(tái)是否整潔，有無明顯異物。5.14臺(tái)階儀的校準(zhǔn)。5.14.1正常開機(jī)打開臺(tái)階儀拿出校樣標(biāo)準(zhǔn)件。5.14.2對(duì)做出的數(shù)據(jù)對(duì)照標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)是否一致。6?設(shè)備日常維護(hù)點(diǎn)檢按照《實(shí)驗(yàn)室設(shè)備周點(diǎn)檢表》中的項(xiàng)目進(jìn)行檢查。7相關(guān)記錄《實(shí)驗(yàn)室設(shè)備周點(diǎn)