專用

人人文庫

中華人民共和國國家標準

真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝技術(shù)標準

Technicalstandardforequipmentinstallationof

vacuumelectronicdeviceproductionline

GB51343-2018

主編部門中華人民共和國工業(yè)和信息化部

：

批準部門中華人民共和國住房和城專用鄉(xiāng)建設部

：

施行日期年月日

：201981

人人文庫

中國計劃出版社

2018北京

中華人民共和國國家標準

真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝技術(shù)專用標準

GB51343-2018

☆

中國計劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址

：

地址北京市西城區(qū)木樨地北里甲號國宏大廈座層

：11C3

郵政編碼電話發(fā)行部

：100038：（010）63906433（）

北京市科星印刷有限責任公司印刷

印張千字

850mm×1168mm1/322.2554

年月第版年月第次印刷

201951201951

☆

統(tǒng)一書號

人人文庫：155182·0470

定價元

：14.00

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報電話

：（010）63906404

如有印裝質(zhì)量問題請寄本社出版部調(diào)換

，

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告

2018年第346號

住房和城鄉(xiāng)建設部關(guān)于發(fā)布國家標準

真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝技術(shù)標準的公告

《》

現(xiàn)批準真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝技術(shù)標準為國家標

《專用》

準編號為自年月日起實施其中

，GB51343—2018，201981。，

第條為強制性條文必須嚴格執(zhí)行

5.1.4、5.2.5、5.4.3，。

本標準在住房和城鄉(xiāng)建設部門戶網(wǎng)站

（.

公開并由住房和城鄉(xiāng)建設部標準定額研究所組織中國計劃出

cn），

版社出版發(fā)行

。

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部

2018年12月26日

人人文庫

前言

本標準是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設部關(guān)于印發(fā)年工程建設標

《2014

準規(guī)范制訂修訂計劃的通知建標號的要求由工業(yè)

》（〔2013〕169），

和信息化部電子工業(yè)標準化研究院和中國真空電子行業(yè)協(xié)會會同

有關(guān)單位共同編制完成

。

本標準在編寫過程中編制組進行了廣泛的調(diào)查研究認真總

，，

結(jié)實踐經(jīng)驗并參考國內(nèi)外有關(guān)標準廣泛吸取了全國有關(guān)單位和

，

專家的意見經(jīng)過廣泛征求意見反復修改最后經(jīng)審查定稿

。、，。

本標準共分章和個附錄主要內(nèi)容為總則術(shù)語基本規(guī)

82，：專用、、

定生產(chǎn)線工藝設計配套設施要求設備安裝設備調(diào)試與試運

、、、、

行工程驗收等

、。

本標準中以黑體字標志的條文為強制性條文必須嚴格執(zhí)行

，。

本標準由住房城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋

，

由工業(yè)和信息化部負責日常管理由中國真空電子行業(yè)協(xié)會負責

，

具體技術(shù)內(nèi)容的解釋在執(zhí)行過程中如有意見和建議請寄送中

。，

國真空電子行業(yè)協(xié)會地址北京市信箱郵政編碼

（：749；：100015，

以便今后修訂時參考

E-mail：cavei.bj@163.com）。

本標準主編單位參編單位主要起草人和主要審查人

、、：

主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院

人人文庫中國真空電子行業(yè)協(xié)會

參編單位：中國電子科技集團公司第十二研究所

陜西寶光真空電器股份有限公司

東芝白云真空開關(guān)管錦州有限公司

（）

錦州華光電子管有限公司

甘肅虹光電子有限責任公司

·1·

南京三樂集團有限公司

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司

世源科技工程有限公司

七七七電氣科技有限公司

黃石上方檢測設備有限公司

主要起草人：沈先鋒薛長立王雷波常玉斌羅橋

劉興儀項興奎劉曉平劉國鳳李小琴

尹泉閆詩源應文娟楊衛(wèi)平李慶和

主要審查人：晁宇晴張素偉鄭秉孝何中偉陸吟泉

楊鋼劉繼君張志然李新益

專用

人人文庫

·2·

目次

總則…………………

1（1）

術(shù)語…………………

2（2）

基本規(guī)定…………………

3（3）

生產(chǎn)線工藝設計…………

4（5）

工藝流程………………

4.1（5）

設備配置………………

4.2（6）

工藝布局………………

4.3（8）

配套設施要求……………

5專用（10）

表面處理工藝……………

5.1（10）

裝配焊接工藝…………

5.2、（11）

排氣工藝………………

5.3（12）

老煉及測試工藝…………

5.4（12）

設備安裝…………………

6（14）

安裝條件………………

6.1（14）

設備開箱………………

6.2（14）

設備搬運………………

6.3（15）

設備安裝………………

6.4（15）

二次配管配線……………

6.5（20）

設備調(diào)人人文庫試與試運行………

7（22）

一般規(guī)定………………

7.1（22）

清洗鍍覆設備調(diào)試與試運行……………

7.2、（22）

裝配焊接和排氣設備調(diào)試與試運行……

7.3、（24）

老煉設備調(diào)試與試運行…………………

7.4（27）

測試設備調(diào)試與試運行…………………

7.5（28）

·1·

自動化生產(chǎn)線聯(lián)線調(diào)試與試運行…………

7.6（30）

工程驗收…………………

8（32）

一般規(guī)定………………

8.1（32）

交接驗收………………

8.2（32）

竣工驗收………………

8.3（33）

驗收不合格的處置………

8.4（33）

附錄真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝工程施工

A

工藝條件……………

（34）

附錄真空電子器件生產(chǎn)線設備安裝工程質(zhì)量

B

驗收記錄用表………

（37）

本標準用詞說明………………

（45）

引用標準名錄…………………

（46）

附條文說明…………………

：專用（47）

人人文庫

·2·

Contents

………

1Generalprovisions（1）

……………………

2Terms（2）

………

3Basicrequirements（3）

………

4Processdesignofproductionline（5）

………

4.1Processflowchart（5）

…………………

4.2Equipmentconfiguration（6）

…………

4.3Processlayout（8）

5Requirementsofproductionlinesupporting專用

……………………

facilities（10）

……………

5.1Processofsurfacetreatment（10）

……

5.2Processofassembling（11）

……

5.3Processofexhausting（12）

………………

5.4Processofageingandtest（12）

……………

6Equipmentinstallationofproductionline（14）

……

6.1Installationconditions（14）

……

6.2Equipmentunpacking（14）

………

6.3Equipmentmovein（15）

…………………

6.4Equ人人文庫ipmentinstallation（15）

………

6.5Utilitieshook-up（20）

………………

7Equipmentdebuggingandtestrunning（22）

……

7.1Generalrequirements（22）

7.2Cleaningelectroplatingequipmentadjustand

……………

testrunning（22）

7.3Assemblingweldingandexhaustingequipmentadjust

·3·

…………

andtestrunning（24）

………………

7.4Ageingequipmentadjustandtestrunning（27）

…

7.5Testequipmentadjustandtestrunning（28）

………

7.6Automaticproductionlineadjustandtestrunning（30）

………

8Projectacceptance（32）

……

8.1Generalrequirements（32）

…………………

8.2Handingoveracceptance（32）

…………………

8.3Completionacceptance（33）

……………

8.4Disposalmeasuresforunqualifiedacceptance（33）

AppendixAVacuumelectronicdeviceproduction

lineforinstallationengineering

……

constructionconditions（34）

AppendixBVacuumelectronicdeviceproduc專用tion

lineforinstallationengineeringquality

…

acceptancerecordingforms（37）

…

Explanationofwordinginthisstandard（45）

……

Listofquotedstandards（46）

………

Addition：Explanationofprovisions（47）

人人文庫

·4·

1總則

1.0.1為規(guī)范真空電子器件生產(chǎn)線工藝設計設備安裝及驗收

、，

保證工程質(zhì)量制定本標準

，。

1.0.2本標準適用于真空電子器件生產(chǎn)線工藝設計設備安裝及

、

驗收

。

1.0.3真空電子器件生產(chǎn)線工藝設計設備安裝及驗收除應符合

、

本標準外尚應符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定

，。

專用

人人文庫

·1·

2術(shù)語

2.0.1真空電子器件

vacuumelectronicdevice

以一個器件中真空部分的電現(xiàn)象作為其運用基礎(chǔ)的器件

。

2.0.2高頻電子管

high-frequencyvacuumtube

工作波長在百米波段至分米波段以自由電子為載體進行能量

交換的真空電子器件

。

2.0.3微波電子管

microwavetube

工作波長在分米波段至亞毫米波段以帶電粒子為媒介進行能

量交換的真空電子器件

。專用

2.0.4射線管

XX-raytube

利用高速電子撞擊金屬靶面產(chǎn)生射線的真空電子器件

X。

2.0.5真空開關(guān)管

vacuumswitchtube

利用管內(nèi)高真空優(yōu)良的絕緣性能制作的電力開關(guān)器件

。

2.0.6冷測

cooltest

用微波測量儀器對微波電子管的高頻組件如諧振腔慢波

，、

線輸入輸出組件以及整管高頻系統(tǒng)等的測量和調(diào)整

、。

2.0.7封口

sealing

將器件的各大部件按照設計圖紙要求封焊起來的工藝過程

。

2.0.8排氣

exhaust

將總裝人人文庫封焊好的真空電子器件內(nèi)部抽真空并對管殼電極

，、、

吸氣劑等進行處理的工藝

。

2.0.9一次封排

exhaustingandsealinginline

將真空電子器件制造過程中的排氣封離采用真空釬焊工藝

、

一次完成的工藝處理過程

。

·2·

3基本規(guī)定

3.0.1真空電子器件生產(chǎn)線工藝設備主要應包括高頻電子管微

、

波電子管射線管真空開關(guān)管的制造工藝設備和檢測設備

、X、。

3.0.2真空電子器件生產(chǎn)線應根據(jù)真空電子器件產(chǎn)品的性能指

標與質(zhì)量要求合理選用成熟先進的工藝技術(shù)科學制定生產(chǎn)線工

，，

藝流程

。

3.0.3真空電子器件生產(chǎn)線應經(jīng)濟適用安全可靠節(jié)約資源降

、、、

低能耗

。

3.0.4生產(chǎn)廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)

。專用

3.0.5真空電子器件生產(chǎn)廠房宜分別設置人員物料和設備出入

、

口設備出入口應處于常閉狀態(tài)

，。

3.0.6真空電子器件潔凈生產(chǎn)環(huán)境應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定相

應的空氣潔凈度等級

。

3.0.7真空電子器件生產(chǎn)線宜采用雙路供電

。

3.0.8真空電子器件生產(chǎn)線給排水系統(tǒng)應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設

置并應符合下列規(guī)定

，：

1給水管道應根據(jù)生產(chǎn)線空間空氣的露點溫度對給水管道

，

采取防結(jié)露措施并應在相應位置設置露水收集器

；

2生產(chǎn)線區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生異味的排水應采取接管方式宜采用具

，

有防涸功能人人文庫的地漏

；

3生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的純水供應設施應符合現(xiàn)行國家標準電子工

《

業(yè)純水系統(tǒng)設計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

》GB50685；

4生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的冷卻水供應設施應符合現(xiàn)行國家標準工業(yè)

《

循環(huán)冷卻水處理設計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定工藝冷卻循環(huán)

》GB50050。

水系統(tǒng)供水水溫不宜大于使用點壓力不宜小于補

30℃，0.3MPa，

·3·

充水宜為軟化水

。

3.0.9真空電子器件生產(chǎn)線使用的氫氣和氧氣的制備儲存配

、、

氣系統(tǒng)應符合現(xiàn)行國家標準氫氣站設計規(guī)范氧氣

《》GB50177、《

站設計規(guī)范和大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)

》GB50030《

范的有關(guān)規(guī)定

》GB50724。

3.0.10真空電子器件生產(chǎn)線用壓縮空氣應符合壓縮空氣第

《

部分污染物凈化等級的有關(guān)規(guī)定氣體過濾器

1：》GB/T13277.1，

應根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置終端

。

氣體過濾器應設置在靠近用氣點處

。

3.0.11真空電子器件生產(chǎn)線超高壓操作現(xiàn)場宜設置視頻監(jiān)視系

統(tǒng)劇毒品存放和使用現(xiàn)場應安裝視頻安防監(jiān)控系統(tǒng)

。。

3.0.12真空電子器件生產(chǎn)線使用有油真空系統(tǒng)應設置除油裝

置除油后的尾氣應接入尾氣排放系統(tǒng)

，。專用

3.0.13真空電子器件生產(chǎn)線產(chǎn)生廢氣的場所應設置廢氣處理設

施廢氣處理排放應符合現(xiàn)行國家標準大氣污染物綜合排放標

，《

準的有關(guān)規(guī)定

》GB16297。

3.0.14真空電子器件生產(chǎn)線產(chǎn)生污水的工序應設置污水處理設

施廢水處理排放應符合現(xiàn)行國家標準污水綜合排放標準

，《》GB

的有關(guān)規(guī)定

8978。

3.0.15真空電子器件生產(chǎn)線應設置火災自動報警及消防聯(lián)動控

制系統(tǒng)系統(tǒng)的設計應符合現(xiàn)行國家標準火災自動報警系統(tǒng)設計

，《

規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

》GB5人人文庫0116。

·4·

4生產(chǎn)線工藝設計

4.1工藝流程

4.1.1高頻電子管主要制造工藝宜按下列流程構(gòu)成圖

（4.1.1）。

芯柱制造

陰極裝配管入庫

芯

零陰極制造

零組

件

件裝成品測試

預

制焊

處

造柵極制造接

理專用封口烘裝

管殼

帶管殼的陽極排氣老煉檢測

陽極

圖高頻電子管工藝流程圖

4.1.1

4.1.2微波電子管主要制造工藝宜按下列流程構(gòu)成圖

（4.1.2）。

陰極組件陰極預處理

裝配焊接

入庫

管

高頻組件

零冷測芯檢漏

零裝配焊接成品測試

件組

件預人人文庫

裝

制處

其他組件焊排氣

造理包裝

裝配焊接接

裝配整管

老煉檢測

輔助件外部零件

裝配焊接

圖微波電子管工藝流程圖

4.1.2

·5·

4.1.3射線管主要制造工藝宜按下列流程構(gòu)成圖

X（4.1.3）。

電子槍

裝配焊接入庫

管

零

零芯

件成品測試

件管體組件組

預

制裝配焊接裝

處

造焊

理檢漏包裝

接

輸出窗排氣老煉檢測

裝配焊接

圖射線管工藝流程圖

4.1.3X專用

4.1.4真空開關(guān)管主要制造工藝宜按下列流程構(gòu)成圖

（4.1.4）。

入庫

部整成品測試

零真真

零件管

件空空

件組一儲

預度度

制裝次存烘裝

處測測

造焊封

理量量

接排耐壓測試

老煉

圖真空開關(guān)管工藝流程圖

人人文庫4.1.4

4.2設備配置

4.2.1真空電子器件生產(chǎn)線的主要設備宜包括表面處理設備裝

，

配焊接及排氣設備老煉設備及檢測設備

、，。

4.2.2表面處理工藝主要設備宜包括清洗設備鍍覆設備等工

、，

·6·

藝名稱與主要設備可與表對應

4.2.2。

表4.2.2表面處理工藝主要設備

設備名稱產(chǎn)品

高頻電子管微波電子管射線管真空開關(guān)管

X

工藝名稱

去油堿液去油設備堿液去油設備堿液去油設備堿液去油設備

酸洗酸洗設備酸洗設備酸洗設備酸洗設備

鍍銀設備鍍銀設備鍍銀設備鍍銀設備

電鍍

鍍鎳設備鍍鎳設備鍍鎳設備鍍鎳設備

等離子體

表面涂敷電泳設備

鍍覆設備——

4.2.3裝配焊接及排氣工藝主要設備宜包括各類熱處理設備

、專用、

多種焊接設備各類排氣臺等其工藝名稱與主要設備可與表

、，

對應

4.2.3。

表4.2.3裝配、焊接及排氣工藝主要設備

設備名稱產(chǎn)品

高頻電子管微波電子管射線管真空開關(guān)管

X

工藝名稱

激光焊接機激光焊接機激光焊接機

氬弧焊機氬弧焊機氬弧焊機真空釬焊爐

真空爐真空爐真空爐

裝配焊接氫爐氫爐氫爐氦質(zhì)譜檢漏設備

、

人人文庫高頻感應高頻感應高頻感應

加熱設備加熱設備加熱設備

氦質(zhì)譜檢漏設備氦質(zhì)譜檢漏設備氦質(zhì)譜檢漏設備

排氣高真空排氣臺高真空排氣臺高真空排氣臺一次封排爐

4.2.4老煉工藝主要設備宜包括工頻高壓老煉設備和直流電流

老煉設備其工藝名稱和主要設備可與表對應

，4.2.4。

·7·

表4.2.4老煉工藝主要設備

設備名稱產(chǎn)品

高頻電子管微波電子管射線管真空開關(guān)管

X

工藝名稱

老煉老煉專用設備老煉專用設備老煉專用設備老煉專用設備

4.2.5測試工藝主要設備宜包括真空度測試設備射線檢測設

、X

備工頻耐壓測試設備等其工藝名稱和主要設備可與表

、，4.2.5

對應

。

表4.2.5測試工藝主要設備

設備名稱產(chǎn)品

高頻電子管微波電子管射線管真空開關(guān)管

X

工藝名稱

測試專用測試系統(tǒng)專用測試系統(tǒng)專用測專用試系統(tǒng)專用測試設備

4.3工藝布局

4.3.1真空電子器件生產(chǎn)線的工藝區(qū)劃應符合產(chǎn)品的工藝流程

，

并應符合下列規(guī)定

：

1滿足生產(chǎn)工藝流向的要求相同工序的設備宜集中布置

，；

2設備的操作面應與通道布置在同一側(cè)

；

3真空電子器件生產(chǎn)線設備搬運通道應滿足設備順利進出

生產(chǎn)廠房的要求并應滿足安全生產(chǎn)和消防疏散的要求

，；

4生產(chǎn)廠房的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)應合理分隔按照真空電子

；

器件對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈度等級的要求工藝布局應符合由外向

，

里空氣潔凈人人文庫度等級逐級提高

；

5潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)物料的傳遞應設置風淋通道和傳遞窗

；

6真空電子器件生產(chǎn)線清洗工序的區(qū)劃應遠離高壓老煉檢

測工序

。

4.3.2設備工藝布局應符合下列規(guī)定

：

1設備布局應滿足生產(chǎn)人員操作多臺設備的需要

；

·8·

2生產(chǎn)設備配套的輔助設備應與生產(chǎn)設備就近布置

；

3設備布局應避開建筑物的沉降縫或伸縮縫

；

4真空電子器件生產(chǎn)線的工藝設備布局應考慮設備安裝檢

、

測所需的空間和面積需要檢修的設備距墻不宜小于

；600mm；

5重型設備或運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生很大振動的設備應布置在生產(chǎn)

廠房的一層有劇烈振動的設備應采取減振措施

，；

6真空電子器件生產(chǎn)線氫爐宜布局在生產(chǎn)廠房的邊跨或生

產(chǎn)廠房的頂層對于尾氣燃燒后直接排入大氣的氫爐宜設置在生

；

產(chǎn)廠房頂層對于采用明火燃燒尾氣方式的氫爐宜設置在生產(chǎn)廠

，

房的邊跨

；

7粉塵處理設備污水處理設備廢氣處理設備應遠離有潔

、、

凈度要求的設備區(qū)域宜布置在室外或生產(chǎn)廠房的邊跨

，專用。

人人文庫

·9·

5配套設施要求

5.1表面處理工藝

5.1.1表面處理工藝環(huán)境應符合下列規(guī)定

：

1工作間地面墻面柱面及頂面應采取防腐蝕措施

、、；

2設備地面及工作區(qū)應設有廢水收集槽并應通過排放管道

，

排入廢水處理設施

；

3排放有害氣體的表面處理設備應設置局部排風裝置

；

4表面處理的清洗間電鍍間和噴涂間應設置通風裝置

、；

5可設置潔凈零件貯存柜

；專用

6可設置單獨隔離的設備控制電源操作間

。

5.1.2表面處理工藝動能條件應符合下列規(guī)定

：

1電源應采用三相四線系統(tǒng)供電

，TN-S；

2壓縮空氣壓力應滿足固體顆粒粒徑

0.4MPa～0.6MPa，

應滿足壓力露點應滿足最大

0.01μm～0.1μm，-40℃～-20℃，

含油量應滿足33

0.01mg/m～0.1mg/m；

3純水供應系統(tǒng)供應的純水電阻率不宜低于

12MΩ·cm

（25℃）；

4表面處理完成后的零件采用氮氣氣體保護時氮氣壓力應

，

滿足純度不宜低于

0.2M人人文庫Pa～0.3MPa，99.99%。

5.1.3表面處理工藝產(chǎn)生的廢水廢氣的處理應符合下列規(guī)定

、：

1表面處理工藝產(chǎn)生的廢水應主要包含堿性廢水酸性廢

、

水電鍍廢水廢水的排放應符合現(xiàn)行國家標準污水綜合排放標

、；《

準的有關(guān)規(guī)定電鍍廢水的處理應符合現(xiàn)行國家標準

》GB8978；

電鍍廢水治理設計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定

《》GB50136；

2表面處理工藝產(chǎn)生的廢氣主要應包含堿性廢氣酸性廢

、

·10·

氣有機溶劑廢氣廢氣的排放應符合現(xiàn)行國家標準大氣污染綜

、；《

合排放標準的有關(guān)規(guī)定

》GB16297。

5.1.4表面處理工藝使用腐蝕性化學品區(qū)域應設置緊急沖身洗

眼器。

5.2裝配、焊接工藝

5.2.1裝配焊接工藝環(huán)境應符合下列規(guī)定

、：

1應根據(jù)工藝要求設置制作減振溝槽地下水槽地下電纜