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1《多晶硅生產(chǎn)用石墨制品表面雜質(zhì)含量的測定電感多晶硅是光伏產(chǎn)業(yè)鏈中的基礎(chǔ)原材料,直接影響著后續(xù)產(chǎn)品的成本、質(zhì)量,主流生產(chǎn)到大量石墨制品,比如石墨底座、石墨帽、卡瓣等,其中石墨底座、石就消耗2個石墨底座、2組石墨卡瓣。我國根據(jù)《工業(yè)和信息化部辦公廳關(guān)于印發(fā)2022年第一批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂和外文版項目計劃的通知》(工信廳科函[20XX]XX號)的文件精神,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅生產(chǎn)用石墨制品表面雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體光譜法》由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會、標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會具體組織編制賽夫特半導(dǎo)體材料檢測技術(shù)有限公司、洛陽中硅高科技有限公司......等單位共同提出并起2全資控股的子公司。中能硅業(yè)研發(fā)團隊獨創(chuàng)了國際領(lǐng)先、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的GCL法多檢測技術(shù)中心擁有一座綜合性實驗大樓,建筑面積約3500m2,分為普通實驗室、潔凈實隨著江蘇中能硅業(yè)多晶硅產(chǎn)業(yè)的壯大,GCL位成立了標(biāo)準(zhǔn)編制組,確定了編制組成員的任務(wù)分工和計劃。標(biāo)準(zhǔn)編制組開展了查詢相關(guān)國內(nèi)外資料、標(biāo)準(zhǔn)的整理和研討工作,發(fā)現(xiàn)沒有相關(guān)的SEMI標(biāo)準(zhǔn),同時標(biāo)準(zhǔn)編制組也充分調(diào)研了本公司和同行業(yè)其他單位的石墨制品表面雜質(zhì)的檢測方法,并組織相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行了石墨制品表面雜質(zhì)含量檢測的試驗工作,結(jié)合實際情況和具體的試驗結(jié)果,對擬制定標(biāo)準(zhǔn)所涉及的內(nèi)容、范圍、適用性、可操作性、科學(xué)性等內(nèi)容進(jìn)行了認(rèn)真研討、論證和改進(jìn),通過試驗,初步確立了方法標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容。最終形成了《多晶硅生產(chǎn)用石墨制品表面雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體光譜法》的討論稿,并在編制組成員單位內(nèi)進(jìn)行了充分的討論。討論會,與會專家對標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行充分的討論。根據(jù)專家意見,結(jié)合實驗情況和實驗結(jié)果進(jìn)行改進(jìn),又對標(biāo)準(zhǔn)文本內(nèi)容做了進(jìn)一步完善,形成標(biāo)準(zhǔn)預(yù)審稿。3),選擇獨立包裝的若干組卡瓣作為實驗樣品,將樣品分別浸泡于超純水、1%硝酸溶液BPK161161112113141 165181113113132-176191111113132-164181112113131水20min-115311111113132 水20min-2211111113161-水20min-319811112113261-1871111111315147水30min-116411112124121 14311113124142-17411111124152-16411112124142451313111113722-111411242213333-111511251113192-41214112311134528620min-1111645111216163 111546111326313 11154511411226133 11164511122623330min-11416112114233-1114111214133 111511202214423 121511221423396162111213352-134112213352-1923112113162-1331122132528520min-11734135113241-1453136203132-116440135113152-145413521314230min-1124311272124342-1634011282314282-167311281224162-1763112712242625石墨制品是固體樣品,所以引用文件GB/T6678《化工產(chǎn)品采樣總則》、GB/T6679確度,應(yīng)避免操作過程的各種沾污,發(fā)現(xiàn)沾污應(yīng)及時進(jìn)行清洗表3待測元素的譜線元素譜線元素譜線元素譜線B249.677Na589.592Mg285.213Al396.153K766.490Ca396.847P177.434As188.979Cr267.716Mn257.610Fe238.204Pb220.353Ni231.604Cu327.393Zn213.85762.7
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