1松松證子集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)校準規(guī)范注：使用本規(guī)范時，受法意使用上述引用文獻的現(xiàn)行有效版本4.1.1溫度參數(shù)溫度范圍：20℃~150℃;24.2數(shù)字驅(qū)動信號特性參數(shù)4.2.1數(shù)字信號脈沖寬度脈沖寬度范圍：≥100ns最大允許誤差：±10%4.2.2數(shù)字信號幅度電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±1%4.3模擬驅(qū)動信號特性參數(shù)4.3.1模擬信號頻率頻率范圍：1Hz～32kHz最大允許誤差：±3%4.3.2模擬信號幅度電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±3%4.4老化板器件電源參數(shù)電壓范圍：100mV～20V最大允許誤差：±1%5校準條件5.1環(huán)境條件5.1.1環(huán)境溫度：(15～35)℃5.1.2環(huán)境相對濕度：≤80%5.1.3交流電源電壓：(220±11)V;(50±1)Hz周圍無強電磁場干擾及無影響校準系統(tǒng)正常工作的機械振動。5.2校準用計量標準、儀表設(shè)備測量范圍：-80℃~200℃最大允許誤差：±0.2℃RTD測量范圍：-200℃~600℃最大允許誤差：±0.08℃直流電壓測量范圍：±(100mV~50V)最大允許誤差：±0.1%交流電壓測量范圍：(100mV～50V),32kHz最大允許誤差：±0.1%5.2.4數(shù)字示波器帶寬：100MHz(-3dB)幅度測量范圍：100mV～20V最大允許誤差：±3%時間間隔測量范圍：10ns～10s最大允許誤差：±3%6.1設(shè)備工作正常性檢查3集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)應(yīng)能正常工作，將檢查結(jié)果填入附錄A“工作正常性檢6.2高溫試驗箱校準6.2.1選擇校準標稱點應(yīng)選擇設(shè)備使用范圍的下限、上限及中間點，也可根據(jù)用戶需要選擇實際使用的溫度點，推薦校準：85℃和125℃兩個溫度點。6.2.2數(shù)據(jù)采集器通電，預(yù)熱30min以上。6.2.3選擇校準點位置，布放溫度傳感器溫度校準點分布在設(shè)備工作室內(nèi)的三個校準面上，簡稱上、中、下三層，中層為通過工作室?guī)缀沃行牡?、平行于底面的校準工作面，校準點與工作室內(nèi)壁的距離為各邊長的1/10,遇風道時，此距離可加大，但不能大于500mm。如果設(shè)備帶有樣品架或樣品車時，下層校準點可布放在樣品架或樣品車上方10mm處。當設(shè)備容積小于2m3時，溫度校準點為9個，O點位于中層幾何中心，如圖2所示。其中，溫度校準點用A,B,C等字母表示。上層上層門中層門6.2.4高溫試驗箱的校準按規(guī)定布放溫度傳感器，并將負載裝入工作空間，將高溫試驗箱的溫度控制器設(shè)定到所要求的標稱溫度，使試驗設(shè)備升溫或降溫至設(shè)定標稱溫度。在達到設(shè)備自身穩(wěn)定狀態(tài)后開始讀數(shù)，每2min測試所有校準點的溫度一次，在30min內(nèi)共測試15次。(1)溫度偏差T——各校準點在n次測量中的最低溫度，℃;(2)溫度均勻度4老化區(qū)數(shù)字驅(qū)動信號單元老化區(qū)數(shù)字驅(qū)動信號單元(3)溫度波動度依據(jù)上述公式進行數(shù)據(jù)處理C將測量結(jié)果記錄于附泉入表A.1中。6.3數(shù)字驅(qū)動信號單元特性參數(shù)校準6.3.1數(shù)字驅(qū)動信號設(shè)費電壓幅度校準通6.3.2數(shù)字驅(qū)動信號設(shè)置脈沖寬度校準數(shù)字驅(qū)動信號單元設(shè)置脈沖寬度校準連接如圖3所示，將示波器探頭與被校系統(tǒng)的老化板上數(shù)字驅(qū)動信號管腳相連接，探頭的地端與系統(tǒng)的地管腳連接。被校系統(tǒng)編制程序設(shè)置數(shù)字驅(qū)動信號單元輸出脈沖寬度為twx(優(yōu)選受檢點為廠家技術(shù)手冊中的最小編程脈沖寬度)的方波，示波器測量脈沖寬度tws,按公式(6)計算設(shè)置數(shù)字驅(qū)動信號脈沖寬度的誤差，將計算結(jié)果記錄于附錄A表A.3中。5老化區(qū) 通道2老化區(qū) 通道2tws——脈沖寬度測量值，ns;△twp——設(shè)置脈沖寬度誤差，ns。6.3.3對于多個數(shù)字信號通道，重復6.3.1～6.3.2的校準步驟。6.4模擬驅(qū)動信號單元特性參數(shù)校準6.4.1模擬驅(qū)動信號單元功能正常性檢查模擬驅(qū)動信號單元功能正常普檢查閱備藥安圖如圖4所示，編制程序設(shè)置模擬驅(qū)動信號單元分別輸出幅度5N為10kHz的正弦波。二角波、鋸齒波和矩形波，使用示波器觀察輸出波形的幅度、頻率是否正確，將檢查結(jié)果填入附錄A表A.4中。模擬驅(qū)動信號單元6.4.2模擬驅(qū)動信號單元設(shè)置頻率校準Vp為5V,頻率基(優(yōu)選受校點為1Hz、1kHzokHz、30以)的正弦波，示波器測量頻率為Fs,搜公到(7)計算設(shè)置模擬驅(qū)動信號頻率的誤差，將計算結(jié)果記錄于附錄A式中：Fx——被檢系統(tǒng)設(shè)置場產(chǎn)值，Hz;△F?——設(shè)置頻率誤差，Hz。6.4.3模擬驅(qū)動信號單元電壓設(shè)置校準模擬驅(qū)動信號單元電壓校準的連接圖如圖5所示，編制程序設(shè)置模擬驅(qū)動信號單元輸出頻率為10kHz,幅度為5V的正弦波，選取適當?shù)呢撦d，使被校單元的負載不小于滿載電流的50%(推薦負載為滿載的50%～80%點)。設(shè)置數(shù)字電壓表為交流電壓測量模式，測量驅(qū)動信號的設(shè)置電壓，按照公式(8)計算設(shè)置電壓的誤差，將計算結(jié)果記錄6數(shù)字電壓表模擬驅(qū)動信號單元老化區(qū)數(shù)字電壓表模擬驅(qū)動信號單元老化區(qū)+p通道1+功率電阻6.4.4對于多個模擬信號通道，重復6.4.1～6.4.3的校準步驟。6.5老化區(qū)器件電源單元電壓設(shè)置校準老化區(qū)器件電源設(shè)置電壓校準連接如圖6所示，數(shù)字電壓表設(shè)置為直流電壓測量方式，自動設(shè)置量程?？紤]到系統(tǒng)老化器件電源的帶負載能力，應(yīng)同時將所有老化區(qū)的電源接入相同的負載電阻。被校系統(tǒng)編制程序設(shè)置老化板器件電源單元電壓Vx(優(yōu)選受檢點：2V、5V、10V、18V),用數(shù)字電壓表測量電壓Vs,按照公式(9)計算設(shè)置電壓誤差，將計算結(jié)果記錄于附錄A表A.7中，對于多個老化區(qū)器件電源將重復上述校準PVMUX功率電阻器件電源單元數(shù)字電壓表老化區(qū)—十77校準結(jié)果的表述集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)的校準結(jié)果用校準證書或校準報告表達，證書或報告至少應(yīng)有所校項目的校準不確定度的信息。補充內(nèi)容具體見附錄B。8復校時間間隔集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)的復校時間用戶根據(jù)使用情況決定，建議復校時間間隔為1年，必要時可隨時送校。8集成電路高溫動態(tài)老化系統(tǒng)校準證書格式上層D中層下層溫度指示值!℃表A.1心測量點5槍小值O點A點B點C點D點E點F點G點H點溫度上偏差溫度下偏差溫度均勻度溫度波動度±9三、數(shù)字驅(qū)動信號單元特性參數(shù)3.1設(shè)置電壓幅度校準表A.2通道號允許誤差限3.2設(shè)置脈沖寬度校準表A.3通道號系統(tǒng)設(shè)置值twx/ns測量值tws/ns誤差△twp/ns允許誤差限四、模擬驅(qū)動信號單元特性參數(shù)4.