2YS/T××××—××××氧化銦鎵鋅靶材1范圍本文件規(guī)定了氧化銦鎵鋅靶材（以下簡稱“IGZO”）的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內容。本文件適用于以氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鋅粉末為原料，以常壓燒結工藝生產的氧化銦鎵鋅靶材，主要應用于新型顯示TFT-LCD、OLED等產業(yè)，用來制備透明非晶態(tài)氧化物半導體薄膜晶體管溝道層半導體材料。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件的必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T351GB/T3850GB/T8170GB/T13298GB/T38389金屬材料電阻率測量方法致密燒結金屬材料與硬質合金密度測定方法數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定金屬顯微組織檢驗方法ITO化學分析方法YS/T1158銅銦鎵硒靶材化學分析方法3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1表觀密度density每單位體積物質的質量。3.2相對密度relativedensityIGZO表觀密度與理論密度的比值。IGZO摩爾比為銦：鎵：鋅=1:1:1時，IGZO的理論密度以6.379g/cm3計算。4分類產品分為平面靶及管狀靶55技術要求5.1化學成分5.1.1主要成分產品的摩爾比銦：鎵：鋅=1:1:1，銦、鎵、鋅偏差為±0.05%。5.1.2雜質成分產品雜質成分應符合表1的規(guī)定。設置格式[韓知為]:字體:（默認）設置格式[韓知為]:字體:（默認）設置格式[韓知為]:字體:（默認）3YS/T××××—××××表1產品主要雜質成分5555555.1.3其它需方如對產品銦、鎵、鋅摩爾比或化學成分有特殊要求時，由供需雙方商定。5.2物理性能5.2.1產品物理性能應符合表2的規(guī)定。表2產品物理性能產品相對密度晶粒尺寸抗折強度IGZO111 ≥98.5% ≥600Mpa5.3形狀和尺寸產品可分為平面型或管狀型，其尺寸及偏差由供需雙方商定。5.4外觀質量5.4.1產品表面呈藍色、淺藍色或灰色，色澤均勻。5.4.2產品表面應平整，無裂紋，無明顯崩邊，不應有外來夾雜物、缺陷和污染物。5.4.3產品表面粗糙度Ra不大于1.6μm。5.5內部質量產品應無裂紋，氣孔直徑不大于0.5mm，單位面積氣孔數(shù)量≦5個/cm3。6試驗方法與要求的條款設置一一對應。與要求的條款設置一一對應。6.1化學成分6.1.1產品摩爾比分析方法按照YS/T1158銅銦鎵硒靶材化學分析方法。6.1.2產品雜質成分分析方法按GB/T38389的規(guī)定進行。6.2物理性能6.2.1產品密度的檢測方法按GB/T3850的規(guī)定進行。6.2.2產品電阻率用四探針法進行檢測，可參考GB/T351金屬材料電阻系數(shù)測量參照是放在參考文獻中的。方法。6.2.3產品晶粒尺寸測定方法按ASTME112-2012的規(guī)定進行。建議選擇國內的相關標準進行。參照是放在參考文獻中的。建議選擇國內的相關標準進行。6.2.4產品抗折強度檢驗方法按GB/T6569標準檢測。6.2.5產品尺寸用相應精度的計量器具進行測量。6.2.6產品外觀質量用目視法或相應儀器檢查。7檢驗規(guī)則7.1檢查和驗收7.1.1產品應由供方或第三方質量檢驗部門進行檢驗，產品質量應符合本文件或訂貨單的規(guī)定。設置格式[韓知為]:字體:（默認）::刪除[韓知為]:份4YS/T××××—××××7.1.2需方可對收到的產品按本文件的規(guī)定進行檢驗。如檢驗結果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時，應在收到產品之日起30天內向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，仲裁取樣在需方由供需雙方共同進行。7.2組批產品應成批提交檢驗，每批應由同一爐次生產的產品組成。7.3取樣質量一致性檢驗的項目、產品的取樣和制樣應符合表3的規(guī)定。表3表3檢驗項目及取樣7.4檢驗結果判定7.4.1產品檢驗結果的數(shù)值修約和修約后數(shù)值的判定按GB/T8170中的有關規(guī)定進行。7.4.2密度、電阻率、晶粒尺寸檢測結果與本文件規(guī)定不符時，應從同一批產品中另取雙倍數(shù)量的試樣進行重復試驗。若重復試驗結果中仍有試樣不合格，則判該批產品不合格。7.4.3產品的尺寸、表面質量檢驗結果與本文件的規(guī)定不符時，按片（件）判不合格。8標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件8.1包裝每片（件）產品應在潔凈環(huán)境下采用真空包裝，并采用相應的防震措施。8.2標志每片（件）產品的包裝上應標注注冊商標（或企業(yè)標志產品名稱、批號及產品合格標志。8.3運輸與貯存產品應存放在干燥陰涼的庫房。運輸及貯存過程中應注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。8.4其它需方如對產品的標示、包裝及貯存過程中有特殊要求時，由供需雙方商定。8.5隨行文件每批產品應附有隨行文件，其中除應包括供方信息、產品信息、文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)質量保證書：主要技術參數(shù)；5YS/T××××—××××產品特點（包括制造工藝及原材料的特點）；對產品質量所負的責任；產品獲得的質量認證及供方技術監(jiān)督部門檢驗的各項分析檢驗結果b)產品合格證檢驗項目及其結果或檢驗結論；批量或批號檢驗日期檢驗員