JJF××××—202×1激光準直測量儀校準規(guī)范本規(guī)范適用于激光對中儀、激光幾何測量儀、激JJF1915傾角儀校準規(guī)范凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)激光準直測量儀通常由激光發(fā)射單元、測量單元和數(shù)單元按激光在空間的形態(tài)可以分為固定式和旋轉(zhuǎn)式，旋轉(zhuǎn)式激光發(fā)射單元可以配置90°轉(zhuǎn)角棱鏡將水平激光折轉(zhuǎn)90°。測量單元通過位置傳感器或圖像傳感器，給出相對于激光光激光準直測量儀典型結(jié)構示意圖和測量單元示意圖見圖1、圖2。JJF××××—202×2265434.1測量單元線位移示值誤差激光準直測量儀計量特性可參照表1。表1激光準直測量儀計量特性表±1.0oL—測量單元位移示值JJF××××—202×31位移臺：位移方向偏擺角/俯仰角最大允許誤差10″23456應商提供或用戶規(guī)定。調(diào)整激光發(fā)射單元、測量光干涉儀和測量單元同時置零。示意圖見圖JJF××××—202×44325167?li=li?Li(1)量10次，按公式(2)計算重復性s。JJF××××—202×5按JJF1915傾角儀校準規(guī)范中5.3條款執(zhí)行。按JJF1915傾角儀校準規(guī)范中5.4條款執(zhí)行。儀器安置點S1、S2和S3，在測量點A、B分別放置測量單元。S2AS1BS36按公式(3)分別計算在第j角度位置測得的A、B位置高度e=DD14J220AB3JJF××××—202×7見圖5。?β—天頂方向激光光軸(J2)與水平方向激光光軸(J1)的夾角與90°的偏差值；2)在A點處測量單元的示值；按90°間隔單方向轉(zhuǎn)動被校激光發(fā)射單元，在4個不同方向上按上述方法測量，取最激光光軸垂直度誤差亦可采用測量不確定度校準證書至少應包括JJF1071—2010《國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則》5.12條款中的信JJF××××—202×8A.1測量單元線位移示值誤差的測量不確定度?li=li?Li(1)——環(huán)境溫度20.0±0.5）℃?l=l?L依據(jù)公式u(y)=ci(L)=?1JJF××××—202×91——激光干涉儀分辨力引入的不確定度分量，本例中2——A.1.7.1激光干涉儀引入的不確定度分量u1A.1.7.1.1激光干涉儀示值誤差引入的不確定度分量u11不確定度分量的區(qū)間半寬α11，服從均勻分布，則u11==0.0173μm+0.866×10-6L。A.1.7.1.2激光干涉儀示值誤差引入的不確定度分量u12間半寬為0.00005mm，服從均勻分布，取k=√,則u12==0.0289μm。A.1.7.1.3實驗室溫度偏離及波動對激光干涉儀示值引入的不確定度分量u13于激光干涉儀自帶補償單元，溫度補償單元對JJF××××—202×對干涉儀示值的影響為1×10-6L，則：u13==0.289×10-6L。A.1.7.2測量單元引入的不確定度分量u2A.1.7.2.1測量單元測量重復性引入的不確定度分量u21u21=Sp=√(4)=0.316μmA.1.7.2.2測量單元測量分辨力引入的不確定度分量u22A.1.7.2.3由于安裝誤差對測量單元線位移引入的不確定度分量u23的高度差和左右間距不大于2mm，夾角不大于0.5°。此時位移臺位俯仰角：?l(θ)=sinθ×?(5)偏擺角：?l(β)=sinβ×w(6)θ—位移方向的俯仰角最大變化值；β—位移方向的偏擺角最大變化值；w—激光干涉儀測量軸與測量單元測量軸的左右間距；仰角和偏擺角的最大變化量為10″，服從均勻分布k=√3。將上述信息代入公式(3)(4)，則?l(β)=sin3×w===0.0577μmJJF××××—202×估計，對于60mm的邊長，夾角約為0.5°,設兩個方向均為0.5°,位移量為L時，?l(α)=√(1?cosα)2L2+(1?cosω)2L2=√2(1?cos0.5°)L=5.38×10-5L。A.1.7.2.4由于實驗室溫度偏離及波動對測量單元線位移引服從均勻分布k=√3，則由于溫度偏離引入的不確定度分量為：==6.93×10-6L；由于溫度波動引入的不確定度分量為：= 源k標準不確定度分量ui1示值誤差u11B√32分辨力u12B√33波動u13B√30.289×10-6L4u21A//15顯示分辨力u22B√36u23B位移俯仰/偏擺角各10″√3√2×(0.0577μm)2+0.289×10-8L2不平行0.5°7偏離及波動u24B溫度偏離20±5）℃√3×10-8L2+(6.96×10-6L)2——環(huán)境溫度20.0±0.5）℃JJF××××—202×依據(jù)公式u(y)=c2(s)u2(s)+c2(δ(α))u2(δ(α))c(s)=1；c(δ(α))=1。u(?β)=4×u2(H)+u2(δ0)+u2(s)+u2(δ(α))(10)1測量標準u1——2——JJF××××—202×測量單元示值誤差u21測量單元顯示分辨力u22溫度偏離及波動u233測量重復性u34安裝誤差u4A.2.7.1多齒分度臺引入的不確定度分量u1k=√3，則多齒分度臺引入的不確定度分量=0.0866″=0.420μm/m。A.2.7.2測量單元引入的不確定度分量u2A.2.7.2.1測量單元的示值誤差引入的不確定度分量u21分布，則u21==0.58μm+0.58%L。A.2.7.2.2測量單元分辨力引入的不確定度分量u22,則u22==0.289μm。A.2.7.2.3實驗室溫度偏離及波動對位移示值引入的不確定度分量u23α=?t2=0.5℃,服從均勻分布k=√3，則由于溫度偏離引入的不確定度分量為：=6.93×10-6L；由于溫度波動引入的不確定度分量為：因此，u23==√(6.93×10-6L)2+(0.693×10-6L)2=6.96×10-6LA.2.7.3測量重復性引入的不確定度分量u3JJF××××—202×用極差法計算，u3==0.00178mm/m誤差引入的不確定度分量u4=90°(1?cos?α)=0.00020″≈0μm/m，忽略不計。子k1分度間隔誤差u1B√312u21B√30.577μm+0.577%L3力u22B√34溫度偏離及波動u23B√36.96×10-6L5A///16B90°×(1?cos?α)/1+(90°×(1?cosα))2(11)JJF××××—202×=2+[(0.577μm+0.577%L)2+0.2892+(6.96×10-6L)2]={(0.420)2+[(0.577)2+0.2892]+(1.78)2}(μm/m)2——環(huán)境溫度20.0±0.5）℃(13)JJF××××—202×A.3.5合成標準不確定度計算公式表A.5不確定度來源及說明11.11.223A.3.7標準不確定度評定A.3.7.1測量單元引入的不確定度分量u1A.3.7.1.1測量單元線位移示值誤差引入的不確定度分量u11JJF××××—202×A.3.7.1.2測量單元測量面不鉛垂引入的不確定度分量u12測量單元測量面不鉛垂主要與測量單元的夾具和30′的圓水準器評估測量單元測量面的鉛垂性，經(jīng)估測在A、B位置測量單元的測量面與鉛垂面的夾角θ不大于1°,服從投影分布k=（1?cosθ),?v由兩次讀數(shù)得到，因此u12=√L=2.16×10-4LA.3.7.2測量重復性引入的不確定度分量u2極差法計算單次測量標準差，u2=S==0.00237mm/m。區(qū)間α為0.1