《真空計四極質譜儀的定義與規(guī)范gb/t40333-2021》詳細解讀contents目錄1范圍2術語和定義2.1部組件2.2物理參數3符號和縮略語4四極質譜儀的原理5制造商提供的四極質譜儀說明書5.1質量范圍contents目錄5.2離子源類型5.3離子檢測器類型5.4質量分辨率5.5質量數穩(wěn)定性5.6靈敏度5.7線性響應范圍5.8最小可檢分壓力5.9最小可檢濃度5.10最大工作壓力contents目錄5.11掃描參數5.12信號輸出5.13電位5.14檢測器技術規(guī)范5.15設定值5.16最高烘烤溫度5.17標稱工作環(huán)境5.18預熱時間5.19燈絲材料contents目錄5.20電子放射電流5.21更換燈絲5.22更換檢測器5.23腔室接口5.24安裝方向5.25尺寸5.26內部容積5.27傳感器頭和電控單元的質量5.28電控單元的輸入電源contents目錄5.29電纜5.30軟件5.31接口關系5.32貯存和運輸條件6制造商另給出的四極質譜儀的說明6.1質量分辨率6.2圖形系數6.3靈敏度的溫度系數6.4四極質譜儀傳感器清洗contents目錄6.5去氣6.6去氣電源6.7圖片6.8檢測記錄6.9放氣率參考文獻011范圍該文件詳細定義了四極質譜儀的相關術語、技術要求、測試方法等，確保其性能和質量符合國家標準。規(guī)范涉及了真空計的測量范圍、準確度、穩(wěn)定性等關鍵參數，為真空計的生產和使用提供了統(tǒng)一的指導。四極質譜儀真空計1范圍022術語和定義03分類根據測量原理和使用范圍的不同，真空計可分為多種類型，如電阻真空計、電離真空計、熱偶真空計等。01定義用于測量真空度（包括低真空、中真空、高真空和超高真空）的儀器。02組成真空計由傳感器、測量電路和顯示單元等組成，能夠連續(xù)或間歇地測量和顯示真空度。2術語和定義032.1部組件用于產生離子束的組件，通過電離樣品產生帶電離子。離子源根據離子的質荷比進行分離和檢測的組件，確保不同質量的離子能夠按照特定軌道運動。質量分析器用于捕獲和記錄通過質量分析器的離子信號，轉換為電信號輸出。離子檢測器2.1部組件042.2物理參數確定質譜儀能夠檢測的質量上限和下限，保證儀器在特定質量范圍內具有準確的測量能力。根據實際需求選擇合適的質量范圍，確保分析結果的準確性和可靠性。定期對質量范圍進行校準，確保儀器長期穩(wěn)定運行。2.2物理參數053符號和縮略語真空度符號用來描述真空狀態(tài)的符號，包括壓力、真空度等。電氣參數符號表示質譜儀的電氣特性，如電壓、電流等。性能參數符號用于描述質譜儀的性能，如分辨率、靈敏度等。3符號和縮略語064四極質譜儀的原理四極質譜儀利用電磁場對氣體分子進行質量分析。通過改變電磁場的強度和頻率，實現對不同質量氣體分子的篩選和檢測。檢測到的氣體分子信號經放大和處理后，輸出質譜圖進行定性和定量分析。4四極質譜儀的原理075制造商提供的四極質譜儀說明書儀器簡介四極質譜儀是一種高精度、高靈敏度的氣體分析儀器，廣泛應用于真空技術、材料科學、環(huán)境監(jiān)測等領域。工作原理通過電離氣體分子并測量其質量-電荷比，實現對氣體成分的定性和定量分析。技術參數包括質量范圍、分辨率、靈敏度等關鍵性能指標。5制造商提供的四極質譜儀說明書085.1質量范圍定義01質量范圍是指質譜儀能夠檢測和分析的質量數值區(qū)間，通常以質量數（即相對原子質量或相對分子質量的整數值）表示。重要性02質量范圍是評價質譜儀性能的重要指標之一，它決定了儀器能夠分析的物質種類和范圍，對于不同領域的應用具有關鍵意義。影響因素03質量范圍受到質譜儀設計、制造工藝、電離源類型、檢測器靈敏度等多個因素的影響。為實現更寬的質量范圍，需要在儀器設計和制造過程中進行綜合考慮和優(yōu)化。5.1質量范圍095.2離子源類型工作原理利用高能電子束轟擊氣體分子，使其電離成離子。特點結構簡單，電離效率高，適用于大多數氣體分析。應用范圍廣泛應用于真空系統(tǒng)、氣體分析等領域。5.2離子源類型105.3離子檢測器類型利用離子流在金屬杯上產生的電流進行測量，具有高靈敏度和穩(wěn)定性。法拉第杯檢測器通過離子撞擊產生的二次電子進行放大，實現離子信號的檢測，適用于微弱信號的檢測。電子倍增器檢測器結合法拉第杯和電子倍增器的原理，既能檢測強信號，又能檢測弱信號，具有較寬的動態(tài)范圍。轉換打拿極檢測器5.3離子檢測器類型115.4質量分辨率計算公式通常使用質量分辨率的數值來表示，該數值等于質量數除以相應的峰寬。影響因素質量分辨率受到離子源、質量分析器以及檢測器等多個因素的影響。質量分辨率的含義指質譜儀能夠分辨相鄰質量數的能力，是評價質譜儀性能的重要指標。5.4質量分辨率125.5質量數穩(wěn)定性5.5質量數穩(wěn)定性定義質量數穩(wěn)定性是指四極質譜儀在規(guī)定條件下，對同一質量數信號進行長期或短期測量時，信號強度的相對變化程度。重要性質量數穩(wěn)定性是四極質譜儀性能的重要指標，它直接影響到儀器測量結果的準確性和可靠性。135.6靈敏度靈敏度描述了四極質譜儀對于給定樣品的響應程度，即樣品中微小成分變化所引起的儀器信號變化的大小。儀器響應程度靈敏度是衡量四極質譜儀性能的重要指標之一，尤其在定量分析中，高靈敏度意味著能夠檢測到更低濃度的樣品成分。定量分析關鍵指標5.6靈敏度145.7線性響應范圍指真空計在規(guī)定的工作條件下，其輸出信號與真空度之間呈線性關系的范圍。線性響應范圍定義線性度要求重要性在該范圍內，真空計的輸出信號應與實際真空度成線性關系，且偏差應在規(guī)定的限值內。線性響應范圍是評價真空計性能的重要指標之一，它決定了真空計在測量過程中的準確性和可靠性。0302015.7線性響應范圍155.8最小可檢分壓力指質譜儀能夠檢測并準確識別的最低氣體分壓力值。最小可檢分壓力該參數是衡量質譜儀性能的重要指標之一，體現了儀器對于微量氣體的檢測能力。反映儀器靈敏度最小可檢分壓力受儀器本身噪聲水平影響，噪聲越低，最小可檢分壓力越小。與儀器噪聲相關5.8最小可檢分壓力165.9最小可檢濃度評估儀器性能最小可檢濃度是評價四極質譜儀靈敏度的重要指標，有助于了解儀器在極低濃度氣體檢測方面的能力。實際應用價值在實際應用中，最小可檢濃度決定了質譜儀能夠檢測到的微弱信號，對于痕量氣體分析、環(huán)境監(jiān)測等領域具有重要意義。定義最小可檢濃度是指質譜儀在規(guī)定條件下能夠檢測到的最低氣體濃度。5.9最小可檢濃度175.10最大工作壓力03正確理解和遵守最大工作壓力規(guī)范對于保證儀器安全、穩(wěn)定運行具有重要意義。01最大工作壓力是指四極質譜儀在正常工作條件下，各部件所能承受的最大壓力值。02這個壓力值通常受到儀器材料強度、密封性能以及制造工藝等因素的限制。5.10最大工作壓力185.11掃描參數根據實際需求設定，通常覆蓋從低質量數到高質量數的廣泛區(qū)間。單位時間內掃描過的質量數，根據實驗需求進行調整，實現快速或精細掃描。5.11掃描參數掃描速度質量范圍195.12信號輸出5.12信號輸出穩(wěn)定性信號輸出應保持穩(wěn)定，確保測量結果的可靠性和準確性。分辨率信號輸出應具備一定的分辨率，能夠反映真空計四極質譜儀測量值的微小變化?？垢蓴_能力信號輸出應具有較強的抗干擾能力，以減小外部干擾對測量結果的影響。205.13電位123電位是指電場中某一點相對于某一參考點的電勢能差，通常用于描述電場中各點之間的電勢關系。電位的基本概念電位是標量，具有相對性，其大小與所選取的參考點有關，但電場中各點之間的電位差是絕對的，與參考點的選擇無關。電位的物理意義在電場中，兩點之間的電位差等于這兩點之間的電壓，因此電位和電壓在本質上是相同的物理量。電位與電壓的關系5.13電位215.14檢測器技術規(guī)范明確檢測器類型規(guī)定檢測器的靈敏度、穩(wěn)定性、響應時間等關鍵性能指標，確保檢測器的準確性和可靠性。性能參數要求檢測器互換性同一型號的真空計四極質譜儀應能互換使用同類型的檢測器，便于維修與更換。根據真空計四極質譜儀的應用需求，選擇適當的檢測器類型，如電子倍增器、法拉第杯等。5.14檢測器技術規(guī)范225.15設定值通過實驗測定得到關鍵參數，并結合實際操作需求確定合適的設定值?；趯嶒灁祿梃b類似四極質譜儀的設定值，并根據本儀器的特點進行適當調整。參考類似儀器依據理論計算得出初始設定值，再在實際應用中不斷優(yōu)化調整。理論與實際相結合5.15設定值235.16最高烘烤溫度03在選擇和使用質譜儀時，需根據實際需求確定最高烘烤溫度，以確保儀器在最佳狀態(tài)下工作。01最高烘烤溫度指質譜儀在正常工作條件下所能承受的最高烘烤溫度。02該參數是評估質譜儀性能的重要指標之一，對于保證儀器穩(wěn)定運行具有重要意義。5.16最高烘烤溫度245.17標稱工作環(huán)境

5.17標稱工作環(huán)境標稱工作環(huán)境的描述指質譜儀在規(guī)定的條件下能夠達到最佳性能的工作環(huán)境。包括一系列參數如溫度、濕度、氣壓、電源等，這些參數對質譜儀的穩(wěn)定性和性能具有重要影響。與實際工作環(huán)境區(qū)別標稱工作環(huán)境是理想條件下的參數設置，實際工作環(huán)境可能因各種因素而偏離這些理想條件。255.18預熱時間預熱時間指的是四極質譜儀在開機后，為達到穩(wěn)定工作狀態(tài)所需的時間。定義預熱時間受多種因素影響，包括儀器結構、材料性質以及環(huán)境溫度等。影響因素預熱時間是評估四極質譜儀性能的重要指標之一，對于確保測量結果的準確性和穩(wěn)定性具有重要意義。重要性5.18預熱時間265.19燈絲材料高溫穩(wěn)定性燈絲材料需要能夠承受高溫環(huán)境，保持結構穩(wěn)定和電氣性能。高發(fā)射能力為了獲得良好的離子流，燈絲材料需要具備較高的電子發(fā)射能力。耐腐蝕性在真空環(huán)境中，燈絲材料需要能夠抵抗殘余氣體或蒸汽的腐蝕。5.19燈絲材料275.20電子放射電流電子放射指的是從加熱的燈絲中放出的電子流。電流大小電子放射電流通常使用微安（μA）作為單位進行衡量。影響因素燈絲溫度、材料性質以及真空度等都會對電子放射電流產生影響。5.20電子放射電流285.21更換燈絲拆卸舊燈絲根據設備結構和燈絲類型，按照規(guī)定的拆卸步驟，小心地將舊燈絲從真空計或四極質譜儀中拆卸下來。安裝新燈絲選擇合適的新燈絲，并按照規(guī)定的安裝步驟，將其正確地安裝到設備中。關閉燈絲電源在進行更換燈絲操作前，必須先關閉燈絲電源，以確保操作安全。5.21更換燈絲295.22更換檢測器關閉電源在進行檢測器更換前，必須關閉質譜儀的電源，確保操作安全。拆卸舊檢測器按照儀器操作手冊的指引，逐步拆卸舊檢測器，注意保護周圍部件不受損壞。安裝新檢測器將新檢測器按照規(guī)定的步驟和方法安裝到質譜儀上，確保安裝牢固且位置準確。5.22更換檢測器305.23腔室接口標準接口尺寸根據不同型號的真空計四極質譜儀，腔室接口分為不同尺寸，以確保連接的密封性和穩(wěn)定性。接口類型選擇根據具體應用場景和需求，選擇合適的接口類型，如法蘭連接、螺紋連接等。5.23腔室接口315.24安裝方向正確的安裝方向可以最大程度地減少環(huán)境對測量結果的影響，提高數據的準確性。確保測量準確性遵循規(guī)范的安裝方向有助于降低設備在運行過程中出現故障或損壞的風險。保障設備安全合理的安裝方向使得設備更易于日常維護、校準和操作。便于維護與使用5.24安裝方向325.25尺寸定義了四極質譜儀各部件的尺寸參數。確保了儀器的互換性和通用性。為儀器的設計、制造和檢驗提供了依據。5.25尺寸335.26內部容積內部容積定義內部容積是指真空計四極質譜儀內部的有效空間體積，包括分析器、離子源、檢測器等主要部件所占據的空間。影響因素內部容積的大小會直接影響真空計四極質譜儀的性能，如真空度、分辨率和靈敏度等。測定方法內部容積通常采用幾何測量或氣體膨脹法進行測定，以確保數據的準確性。5.26內部容積345.27傳感器頭和電控單元的質量材料選擇傳感器頭應采用高穩(wěn)定性、低放射性的材料制造，以確保測量結果的準確性和可靠性。加工工藝傳感器頭的加工工藝應精細，確保各部件的尺寸精度和裝配質量，從而提高其整體性能。密封性能傳感器頭應具有良好的密封性能，防止氣體泄漏，確保真空度測量的準確性。5.27傳感器頭和電控單元的質量030201355.28電控單元的輸入電源5.28電控單元的輸入電源電壓范圍電控單元應能在指定的電壓范圍內正常工作，一般要求為直流24V±10%。電源穩(wěn)定性輸入電源應具有良好的穩(wěn)定性，以確保電控單元可靠運行。過流過壓保護電源應具備過流、過壓保護功能，以防止設備損壞。365.29電纜絕緣性能電纜應具有良好的絕緣性能，以確保電流傳輸的安全性和穩(wěn)定性。環(huán)保要求電纜應滿足相關環(huán)保標準，不含有毒有害物質，以降低對環(huán)境的影響。耐高溫性能電纜應能在高溫環(huán)境下正常工作，而不出現性能下降或損壞的情況。5.29電纜375.30軟件模塊化設計軟件采用模塊化設計，各功能模塊相互獨立，便于開發(fā)和維護。擴展性考慮軟件架構具備良好的擴展性，可支持未來功能的增加和升級?？煽啃员Ｕ贤ㄟ^合理的軟件架構設計，確保軟件系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。5.30軟件385.31接口關系電氣接口明確質譜儀與外部電源及控制系統(tǒng)的電氣連接方式和參數，確保安全穩(wěn)定的操作環(huán)境。氣路接口規(guī)定進樣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)以及檢測器之間的氣體連接接口，保證氣密性和高效傳輸。數據接口確立數據采集、傳輸和存儲的接口標準，便于信息的準確獲取與處理。5.31接口關系395.32貯存和運輸條件溫度控制5.32貯存和運輸條件貯存場所的溫度應保持在設備規(guī)定的范圍內，避免過高或過低的溫度對設備造成損害。濕度控制相對濕度應控制在一定范圍內，以防止設備受潮或過于干燥。設備應存放在避免陽光直射的地方，以減緩設備老化。避免陽光直射406制造商另給出的四極質譜儀的說明四極質譜儀具有高靈敏度，能夠檢測非常低濃度的氣體成分。高靈敏度該儀器具備優(yōu)異的質量分辨率，能夠有效區(qū)分不同氣體成分。高分辨率四極質譜儀具有快速的響應速度，能夠在短時間內給出準確的檢測結果?？焖夙憫?制造商另給出的四極質譜儀的說明416.1質量分辨率6.1質量分辨率為提高質量分辨率，可以采取優(yōu)化離子源設計、選用高質量的四極桿材料、采用高精度電源以及提高檢測器靈敏度等措施。提高方法質量分辨率是指四極質譜儀能夠分辨相鄰質量數的能力，是衡量質譜儀性能的重要指標之一。定義質量分辨率受多種因素影響，包括離子源的設計、四極桿的質量、電源的穩(wěn)定性以及檢測器的靈敏度等。影響因素426.2圖形系數性能評估依據圖形系數作為評估四極質譜儀性能的重要指標，其優(yōu)劣直接影響到儀器的分辨率、靈敏度等關鍵性能。標準化與規(guī)范通過制定統(tǒng)一的圖形系數標準，有助于確保不同廠家生產的四極質譜儀具有可比性和一致性。幾何形狀描述圖形系數是用于描述四極質譜儀中離子運動軌跡幾何形狀的關鍵參數，有助于理解離子在儀器中的行為。6.2圖形系數436.3靈敏度的溫度系數6.3靈敏度的溫度系數靈敏度溫度系數描述了四極質譜儀在不同溫度條件下，靈敏度變化的情況。量化表達該系數可以定量地反映溫度每變化1℃，靈敏度相應變化的百分比。重要性了解靈敏度的溫度系數有助于優(yōu)化儀器的工作條件，確保測量結果的準確性和穩(wěn)定性。溫度對靈敏度的影響程度446.4四極質譜儀傳感器清洗確認傳感器型號與清洗要求根據四極質譜儀的使用說明，了解所需清洗的傳感器型號及其特定的清洗要求。準備清洗工具和材料選用合適的清洗工具，如棉簽、無塵布等，并準備相應的清洗劑，確保清洗過程的有效性和安全性。斷開電源并釋放真空在進行傳感器清洗前，必須先斷開四極質譜儀的電源，并釋放其中的真空狀態(tài)，以確保操作過程的安全性。0102036.4四極質譜儀傳感器清洗456.5去氣通過加熱樣品或真空室，使氣體從材料中釋放出來。加