微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率試驗方法:閃光法_第1頁
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1微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率試驗方法閃光法本文件規(guī)定了第三代半導(dǎo)體器件封裝用微納米金屬燒結(jié)體熱導(dǎo)率的測封裝燒結(jié)材料在不含被連接件、連接基體的情況下,單熱擴(kuò)散系數(shù)thermaldiffusioncoe差示掃描量熱法differentialscanningcalo24.1熱導(dǎo)率值的計算 λ——導(dǎo)熱系數(shù),單位為瓦每米開爾文W/(mkρ——體積密度,單位為千克每立方米kg/m3。4.2熱擴(kuò)散系統(tǒng)的測量測試樣品的熱擴(kuò)散系數(shù)使用閃光法測量,如圖1所示,測試樣品在測試設(shè)備中受高強(qiáng)度短時能量脈和背面溫度達(dá)到最大值的一半所需時間(t1/2)計算出試樣的熱擴(kuò)散系數(shù),具體計算公式a=k1/2×H2/t1/2 H——樣品厚度;t1/2——樣品背面溫度達(dá)到最大值的一k1/2——樣品背面溫度達(dá)到最大值的一半條件下對應(yīng)的經(jīng)驗常數(shù),取值0.13879。3主要成分為α-Al2O3)在相同測試條件下進(jìn)行升溫掃描,與此同時還需進(jìn)行一次相同條件的空白測試。cpsample=Dle×d×cstandard······································(3)Dscstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)DSC曲線特征值;Dscbase——空白DSC曲線特征值;msample——待測樣品質(zhì)量(差示掃描量熱儀可軟件直接讀數(shù));mstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)質(zhì)量(差示掃描量熱儀可軟件直接讀數(shù));cstandard——標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)比熱容(查文獻(xiàn)或咨詢標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)提供供應(yīng)商)。4.4體積密度的測量(p0?pair)+pair p——待測固體密度;A——待測固體在空氣中的質(zhì)量;B——待測固體在液體中的質(zhì)量;p0——測試用液體密度;pair——空氣密度,取值0.0012g/cm3。45.2熱擴(kuò)撒系數(shù)測試儀器、信號采集處理器、數(shù)據(jù)記錄系統(tǒng)、計算機(jī)等構(gòu)成。閃光源可以是激光脈沖、閃光燈,或者其他可宜的價格和更低的維護(hù)費(fèi)用。根據(jù)GB/T22588-2008在激光與試樣之間使用光纖可以很好的勻性(高達(dá)95。因為這種方法幾乎不產(chǎn)生邊緣效應(yīng),可比自然激光束有更環(huán)境控制腔室是用于樣品在不同溫度、不同氣氛條件下測試。環(huán)境控制腔室還應(yīng)設(shè)置特定位置窗樣品背面溫度的測量和采集可以使用接觸式熱電偶,推薦使用非接觸式紅外探測器。根據(jù)行業(yè)經(jīng)5.3尺寸測量儀器5.4差式掃描量熱儀5密度組件一般應(yīng)包括固定支架、液體盛裝燒杯、固體掛籃、所有的窗材表面不能覆蓋有會吸收能量的沉積物以避免信號強(qiáng)度的損失和光源對試樣的不均勻加熱。更多關(guān)于避免測試過程中干擾的信息,可參考GB/T22588熱擴(kuò)散系數(shù)、比熱容、體積密度測量需使用體積密度測量對測試樣品外形無要求,而比熱容測量使用的試樣體積和質(zhì)量很?。ㄍǔ?0mg左~6mm。此處推薦使用直徑為12.7mm,試樣的厚度應(yīng)不小于1mm的樣品尺寸。其中直徑的選值原因如下1)首先,主要參考了現(xiàn)有通用閃光法熱擴(kuò)散系數(shù)測試設(shè)備對尺寸的大于10mm,因此采用12.7mm及以上直徑樣品,可以使得測試樣品能同時滿足兩個參數(shù)測試的目的;6使用樣品制備模具將微納米金屬膏體通過燒結(jié)工9.2體積密度測試9.2.2空氣內(nèi)測量:測量待測樣品在空氣的質(zhì)量,記錄稱量結(jié)果A。9.2.3液體內(nèi)測量:在燒杯內(nèi)盛裝適量已知密度的參考液體(通常是水或無水乙醇b)放置盛9.3熱擴(kuò)散系數(shù)測試軸、樣品背面與溫度探測器同軸b)確保遮光圈、探測器、激光脈沖等位置正確c)確保腔外安全鎖正常鎖閉,以避免激光外漏d)如需要,通入惰性氣體或抽真空e)確保溫度穩(wěn)定性,出,樣品收到脈沖照射升溫,監(jiān)控樣品背面溫升曲線e)測定樣品環(huán)境溫度f)采集基線和瞬79.3.3計算a)確定基線和最高溫升,得出溫度變化ΔTmaxb)再確定從起始脈沖開始到

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